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公开(公告)号：KR100207369B1
公开(公告)日：1999-07-15
申请号：KR1019940004519
申请日：1994-03-09
Applicant: 대우전자주식회사
Inventor： 민용기
IPC: G02F1/015
Abstract: 본 발명은 광로조절장치 및 그 제조방법에 관한 것으로서, 트랜지스터가 매트릭스 형태로 내장되고 표면에 상기 트랜지스터 각각에 전기적으로 연결된 접속단자를 2개씩 갖는 구동기판과, 상기 구동기판에 상기 접속단자를 각각 에워싸여 분리되게 형성된 지지부와, 상기 지지부의 상부에 일측이 접촉되도록 실장되며 상기 지지부의 대향하는 면과 일치하도록 타측으로 연장된 멤브레인과, 상기 멤브레인과 지지부를 관통하여 상기 접속단자와 전기적으로 연결되는 플러그와, 상기 플러그에 전기적으로 연결되고, 상기 플러그를 포함하는 지지부의 상측 일부에 형성된 신호 전극과, 상기 신호 전극의 상부에 형성된 변형부와, 상기 변형부 및 상기 멤브레인의 상부에 형성된 반사막으로 이루어진 액츄에이터를 구비한다. 따라서, 변형부가 신호 전극의 상부에만 형성되므로 변형부와 멤브레인의 열팽창계수차에 의한 스트레스와 상호작용에 의한 힐록을 방지하여 반사막이 평탄하고 크랙의 발생을 억제할 수 있다.
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公开(公告)号：KR100179618B1
公开(公告)日：1999-05-01
申请号：KR1019940034973
申请日：1994-12-19
Applicant: 대우전자주식회사
Inventor： 민용기
IPC: G02F1/015
Abstract: 본 발명은 투사형 화상표시장치에 채용되는 광로조절장치로서의 AMA를 제조하는 방법에서 변형부의 손상을 최소화할 수 있는 광로조절장치의 제조방법을 제공한다. 본 발명의 제조방법은, 트랜지스터가 매트릭스 형태로 내장되고 상기 트랜지스터와 전기적으로 접속된 패드(33)가 표면에 형성된 구동기판(31)의 상부에 상기 패드와 접촉되지 않도록 희생막(35)을 형성하고, 상기 기판(31)상의 희생막(35)이 형성되지 않은 부분에 상기 패드(33)를 에워싸는 지지부(37)를 형성하는 제1공정과, 상기 희생막(35)과 상기 지지부(37)의 상부에 멤브레인(39)을 퇴적하고 상기 멤브레인(39)과 상기 지지부(37)의 소정부분에 상기 패드(33)가 노출되도록 접촉홈을 형성하는 제2공정, 상기 접촉홈의 내부에 상기 패드(33)와 접촉되도록 플러그(41)를 형성하고 상기 멤브레인(39)의 상부에 신호전극(43)을 상기 플러그(41)와 접촉되도록 도포하는 제3공정, 상기 신호전극(43)의 표면에 변형부(45)를 퇴적하고 상기 신호전극(43)과 변형부(45)를 지지부(37)� �� 대응하는 부분만이 잔존하도록 패터닝하는 제4공정, 전표면에 절연막(47)을 퇴적형성하고 상기 절연막(47)과 상기 멤브레인(39)을 패터닝하여 상기 희생막(35)이 노출되도록 하여 액츄에이터를 분리하는 제5공정 및, 상기 절연막(47)을 마스크로 이용하여 상기 희생막(35)을 제거한 후 상기 희생막(35)이 제거된 공간에 폴리머층(49)을 채우고, 상기 변형부(45)상의 절연막(47)을 제거한 다음에 전표면에 반사막(51)을 형성하고 나서 상기 폴리머층(49)을 제거하는 제6공정을 포함하여 이루어진다.
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公开(公告)号：KR100159401B1
公开(公告)日：1999-01-15
申请号：KR1019950013360
申请日：1995-05-26
Applicant: 대우전자주식회사
Inventor： 민용기
IPC: H04N5/74
Abstract: 본 발명은 광로 조절 장치에 관한 것으로서, 구동기판위에 희생막, 멤브레인, 플러그 및 하부전극을 순차적으로 형성한 후 하부전극의 소정 부분을 식각하여 스트라이프를 형성한다. 그리고, 하부전극의 상부와 스트라이프를 채우도록 변형부를 형성하고 이 변형부의 상부에 상부전극을 형성한다. 계속해서, 상부전극, 변형부, 하부전극 및 멤브레인 들을 희생막이 노출되도록 식각하여 액츄에이터을 이웃하는 액츄에이터들(도시되지 않음)이 분리되도록 한다. 그리고, 상부전극의 표면 및 액츄에이터들와 분리에 의한 측면들에 보호막을 형성한 후 희생막을 불산용액(HF) 등의 식각용액으로 제거한다. 그 다음, 보호막을 제거하여 에어 갭을 형성한다.
따라서, 본 발명은 하부전극에 스트라이프를 형성하여 상부전극을 균일하게 작동시키고 상부전극에 입사되는 광이 난반사되는 것을 방지하여 광효율이 향상된다.-
公开(公告)号：KR100151453B1
公开(公告)日：1998-12-15
申请号：KR1019940009505
申请日：1994-04-30
Applicant: 대우전자주식회사
Inventor： 민용기
IPC: G02B26/08
CPC classification number: G02B26/0858
Abstract: 본 발명은 광로 조절 장치 및 그 제조 방법에 관한 것으로서, 트랜지스터가 매트릭스 형태로 내장되고 표면에 각각의 트랜지스터에 전기적으로 연결된 접속단자를 갖는 구동기판과, 상기 구동기판에 상기 접속단자를 각각 에워싸며 열방향으로 길게 형성된 지지부와, 상기 지지부의 상부에 형성되되, 그 일측의 상기 지지부에 접촉되고, 그 타측이 상기 구동 기판과 이격되어 형성된 멤브레인과, 상기 멤브레인의 상부에 형성된 신호전극과, 상기 접속단자와 신호전극을 전기적으로 연결하기 위해 상기 지지부와 멤브레인을 관통하여 형성된 플러그와, 상기 신호전극의 상부에 형성된 변형부와, 상기 변형부의 상부에 일측부분과 타측부분이 전기적 및 물리적으로 분리되게 형성되며 일측부분이 인접하는 액츄에이터들의 일측부분과 전기적으로 공통으� �� 연결된 거울로 이루어진 액츄에이터를 구비한다. 따라서, 변형부의 상부의 일측부분에 형성된 거울이 바이어스 전극으로 사용되어 이와 중첩되는 일측 부분의 변형부에서만 휘어짐이 발생되고 나머지 타측부분은 평탄하게 경사지므로 광특성을 향상시킬 수 있으며, 또한, 거울의 일측부분과 중첩되는 부분의 변형부만이 휘어짐이 발생되므로 응력이 감소되어 크랙 발생 및 박리현상을 방지할 수 있다.
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公开(公告)号：KR100154923B1
公开(公告)日：1998-11-16
申请号：KR1019950009394
申请日：1995-04-21
Applicant: 대우전자주식회사
Inventor： 민용기
IPC: H04N5/74
Abstract: 본 발명은 광로 조절 장치의 제조방법에 관한 것으로서, 멤브레인, 하부전극, 변형부, 상부전극 및 보호막을 순차적으로 형성한 후 각각의 식각 마스크를 사용하여 액츄에이터를 분리하는 과정과 동시에 상기 각각의 식각 마스크 상부에 소정의 형태(예를 들면, ㅁ, +, X)를 형성하여 상부전극에서 희생막의 상부의 소정 부분(예를 들면, 중앙)까지 연직방향으로 개구를 내어 희생막을 제거함으로써 희생막 제거공정시 액츄에이터의 외측에서 내측으로 점진적으로 식각할 뿐만 아니라 희생막의 중앙에서 양측방향으로 식각이 이루어진다. 따라서, 본 발명은 희생막 제거공정시 식각용액이 액츄에이터의 외측에서 내측으로 작용할 뿐만 아니라, 희생막의 중앙에서 작용하여 양측방향으로 희생막이 식각됨으로써 희생막을 용이하게 제거할 수 있다.
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Patent Agency Ranking
公开(公告)号：KR1019980023292A
公开(公告)日：1998-07-06
申请号：KR1019960042748
申请日：1996-09-25
Applicant: 대우전자주식회사
IPC: G02F1/015
Abstract: 본 발명은 향상된 광 효율을 갖을 뿐만 아니라 제조 공정시 요구되는 고온에 의한 악영향을 줄일 수 있는 박막형 광로 조절 장치의 어레이 및 그 제조 방법에 관한 것으로서, 본 발명에 따른 박막형 광로 조절 장치의 어레이는 다수의 스위칭 소자를 갖는 구동기판, 액츄에이터의 어레이 및 거울의 어레이를 포함한다. 상기 각 액츄에이터는 관련 스위칭 소자와 중첩되지 않고 관련 스위칭 소자의 옆에 형성되어져 있다. 상기 각 거울은 액츄에이터의 상부 끝단에 붙여진 오목한 부분을 통해 액츄에이터와 이격되어 2층 구조로 별도로 형성되어져 있으므로, 박막형 광로 조절 장치의 구동에 의해 액츄에이터가 휘어지더라도 거울은 평형을 유지할 수 있게 되고, 거울에 입사되는 광속을 더 정확하고 효과적으로 반사할 수 있게 되어 박막형 광로 조절 장치의 어레이의 전반적인 광효율을 증가시킬 수 있다. 게다가, 상기 각 액츄에이터가 관련 스위칭 소자와 중첩되지 않고 관련 스위칭 소자의 옆에 위치하기 때문에, 액츄에이터의 형성시 요구되는 고온 공정이 모두 끝난 후에 구동기판과 액츄에이터 사이의 전기적인 연결 공정을 함으로서 고온에 의해 발생되는 스파킹 (spiking) 등의 단락 현상을 줄일 수 있다.
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