Abstract:
PURPOSE: A curve grinding device and method using magneto-rheological fluid are provided to form a curved surface on a work piece regardless of the length and material of the work piece. CONSTITUTION: A grinder(1) for grinding a curved surface on a work piece comprises a cylindrical grinder body(10) and a housing(30). The grinder body is made of a magnet and rotates around a central axis. The housing accommodates the grinder body inside. A curved surface(31) receiving magneto-rheological fluid(40) is formed on the exterior of the housing.
Abstract:
본 발명은 초미세 바늘 전극 제조 방법 및 장치에 대한 것으로서, 더욱 상세하게는 텅스텐 와이어에 인가되는 전류를 실시간으로 측정하여 그 전류치를 전기화학적 모델에 대입함으로써 현재 텅스텐 와이어의 에칭량을 예측하고 상기 에칭량을 기준으로 텅스텐 와이어의 담금깊이를 조절함으로써, 원하는 형상의 초미세 바늘 전극의 제조가 가능한 초미세 바늘 전극 제조 방법 및 장치에 관한 것이다. 이를 위해, (a) 텅스텐 와이어를 전해질 용액에 입수시키는 단계; (b) 상기 텅스텐 와이어에 (+) 전극을, 전해질 용액에 (-) 전극을 연결하여 전압을 인가하는 단계; (c) 상기 전해질 용액에 흐르는 전류값을 측정하는 단계; (d) 텅스텐 와이어의 반경을 예측하는 단계; (e) 텅스텐 와이어의 추출 길이를 계산하는 단계; (f) 상기 계산된 추출 길이만큼 텅스텐 와이어를 이동시키는 단계; (g) 상기 (c) 단계에서 측정된 전류값이 설정값보다 크거나 같아질 때까지 (c) 단계부터 (f) 단계까지 반복하는 단계를 포함하여 구성되는 것을 특징으로 하는 초미세 바늘 전극 제조 방법 및 장치를 제공한다. 초미세 바늘 전극, 형상 정밀제어, 실시간, 텅스텐 와이어, 에칭, 전기화학적 모델.
Abstract:
PURPOSE: A collection ion beam machining apparatus using a shaped opening and a machining method using the same are provided to rapidly machine the specific shape by applying the specific shape to an energy beam. CONSTITUTION: A connecting ion beam machining apparatus using a shaped opening comprises an ion source unit(10), a shape opening section(20), and an ion beam collection unit(30). The shaped opening comprises a through hole(21) with the specified shape. The specific shape is applied to the ion beam formed in the ion source section by the through hole. The shaped opening is installed in the way that the ion beam passes. The ion beam collection unit collects the ion beam so that the ion beam passing the shaped opening keeps the specific shape and is reached to the machining surface of the object to be machined. Gas like argon gas, hydrogen gas, and helium gas is used in the ion source unit.
Abstract:
본 발명은 마이크로 영역의 가공기술인 멤스(MEMS) 공정과 나노 영역의 가공기술인 집속이온빔 가공법을 조합하여 나노 트위저를 제조하는 방법에 관한 것으로, 정전기력을 이용하여 구동되는 나노 트위저를 제조하는 방법으로서, (a) 서로 전기적으로 절연되고, 기판 상에 소정의 간격을 두고 배치되는 제1 및 제2 전극을 형성하는 단계; (b) 집속이온빔-기상증착법을 이용하여 각각 상기 제1 전극 및 제2 전극 상에 서로 평행하게 연장되는 제1 및 제2 아암을 형성하는 단계; (c) 집속이온빔-기상증착법을 이용하여 각각 상기 제1 전극 및 제2 전극 상으로부터 소정의 각도로 연장되는 필라부를 형성하는 단계; (d) 집속이온빔-기상증착법을 이용하여 각각 상기 필라부의 상기 전극으로부터 먼 쪽의 단부로부터 서로 평행하게 연장되는 아암부를 형성하는 단계; 및 (e) 상기 제1 전극 및 제2 전극을 각각 와이어 본딩하는 단계를 포함한다. 나노 트위저, MEMS, 집속이온빔-기상증착법, 정전기력
Abstract:
A method for manufacturing a nano structure using a focused ion beam and an MRF(Magneto-Rheological Fluid) is provided to reduce a manufacturing process procedure by performing two stage nano structure manufacturing processes. A focused ion beam is irradiated on a part of the surface of a test piece(2) to implant ion into an ion implantation portion(4) of the test piece during a first stage nano structure manufacturing structure. Mechanical and physical properties of the ion implantation portion increases than those of an ion non-implantation portion(6) where the ion implantation is not performed. A fine structure of the test piece is processed by using an MRF during a second stage nano structure manufacturing process.
Abstract:
본 발명은 고경도, 취성 재료의 가공장치 및 방법에 관한 것으로서, 고경도, 취성을 갖는 전도성 재료의 표면을 전기분해에 의한 전기화학적 산화작용에 의해 산화 및 유화시키고, 유화된 표면을 기계적으로 가공하도록 함으로써, 3차원 형상의 고경도, 취성 재료의 표면을 높은 정밀도로 효과적으로 가공할 수 있고, 또한 전기화학적 산화작용에 의한 재료의 가공 과정에서, 실시간으로 재료에 가해지는 가공력을 측정하여 임계 가공력을 넘지 않도록 툴의 Z축 방향 위치를 실시간으로 제어하면서 가공되도록 함으로써, 재료의 표면 형상에 관계없이 항상 일정한 깊이로 가공이 가능하고, 가공품질을 향상시킬 수 있는 전기화학적 산화를 이용한 고경도 전도성 재료의 기계적 가공장치 및 방법을 제공한다.