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公开(公告)号：KR100542892B1
公开(公告)日：2006-01-11
申请号：KR1020030074242
申请日：2003-10-23
Applicant: 재단법인 포항산업과학연구원
Inventor： 정우철
IPC: G01C9/00
Abstract: 본 발명은 초소형전자정밀기계(MEMS) 구조의 경사각 측정 센서 및 이를 이용한 경사각 검출 장치에 관한 것이다. 본 발명의 초소형전자정밀기계(MEMS) 구조의 경사각 측정 센서는, 실리콘 온 인슐레이터(SOI) 웨이퍼의 하부를 소정의 농도의 테트라메칠암모늄 하이드록사이드(TMAH)용액을 사용하여 에칭하고, 상기 SOI 웨이퍼의 상부를 리액티브-이온 에칭(RIE) 기법으로 에칭하여 제작된 컨틸레버부; 상기 컨틸레버부의 일측의 면적을 크게 하여 형성되며, 바이몰프 구동부로부터 전달되는 진동을 수신하기 위한 매스부; 상기 컨틸레버부의 힌지 부분에 이온주입을 통하여 형성되며, 상기 매스부의 진동에 의한 상기 컨틸레버부의 왜곡을 저항의 변화로 나타내기 위한 저항부; 및 인가되는 정현파를 상기 매스부에 인가하기 위한 상기 바이몰프 구동부를 포함한다.
경사각, 측정, 센서, MEMS, 무선(RF) 송신, 컨틸레버, 매스, 저항-
公开(公告)号：KR100542891B1
公开(公告)日：2006-01-11
申请号：KR1020030074241
申请日：2003-10-23
Applicant: 재단법인 포항산업과학연구원
Inventor： 정우철
IPC: H04B1/40
Abstract: 본 발명은 폴리플루오르화비닐리덴(PVDF) 발진자를 이용한 통신용 송/수신 장치에 관한 것이다. 본 발명의 PVDF 발진자를 이용한 통신용 수신 장치는, 가청 주파수대역의 신호를 수신하여, 이를 증폭하기 위한 제 1증폭 수단; 상기 제 1앰프로부터 수신한 신호를, 상기 PVDF 발진자의 구동을 위하여 고출력의 구동전압으로 증폭하기 위한 제 2증폭 수단; 상기 제 2앰프로부터 수신한 신호를 증폭하고, 상기 제 2앰프와 상기 PVDF 발진자의 임피던스를 매칭하기 위한 변환 수단; 및 필름 형태의 압전체로서, 상기 변환 수단으로부터 수신한 신호를 발진하기 위한 상기 PVDF 발진자를 포함한다.
PVDF, 발진자, 이어폰, 마이크, 압전체-
公开(公告)号：KR1020050064683A
公开(公告)日：2005-06-29
申请号：KR1020030096259
申请日：2003-12-24
Applicant: 주식회사 포스코 , 재단법인 포항산업과학연구원
IPC: G01B11/28
Abstract: 본 발명은 영상처리기법을 이용한 DWTT 시편의 연성 및 취성 정량화 방법에 관한 것으로서,
DWTT 시험의 연성 및 취성 정량화 방법에 있어서, A 채널 조명(11)에 전원을 인가하여 ON으로 하여 시편(14)의 영상을 촬영하여 영상데이터를 파일(FILE A)로 저장하는 단계와; B 채널 조명(12)에 전원을 인가하여 ON으로 하여 시편(14)의 영상을 촬영하여 영상데이터를 파일(FILE B)로 저장하는 단계와; 두 개의 영상의 차영상을 구하고 데이터 파일을 처리하여 합성 영상 데이터 파일(FILE C)을 생성하여 합성 영상 데이터 파일(FILE C)에서 연성면 및 취성면의 면적을 산출하는 단계를 포함하여 이루어진 것을 특징으로 하며,
작업자의 주관적 판단에 의존하던 DWTT 시험의 결과를 자동화하고 이를 정량화 하는 것을 가능하게 하여, 시험과정 및 결과의 신뢰성을 향상시키고 충분한 재현성을 제공하여 하나의 효과적인 시험방법을 제공하며 이를 통한 고청정강 제품의 생산과정, 인증과정 및 판매과정에서 보다 유효한 시험분석결과를 나타내는 효과를 제공한다.-
公开(公告)号：KR1020050063461A
公开(公告)日：2005-06-28
申请号：KR1020030094868
申请日：2003-12-22
Applicant: 재단법인 포항산업과학연구원
Inventor： 정우철
IPC: G05D1/02
Abstract: 본 발명은 RFID(Radio Frequency Identification)를 이용한 실내 이동로봇의 위치 검출방법 및 검출시스템에 관한 것으로서,
이동제어부와 고정제어부를 이용하여 이동로봇(20)의 위치를 검출하는 방법으로서, 이동로봇(20)에서 송출된 RFID신호를 RFID수신장치(9)에서 검출하는 단계와; 상기 이동로봇(20)의 위치를 연산하여 위치데이터를 이동로봇(20)으로 전송하는 단계와; 상기 위치로봇(20)이 위치데이터를 수신하여 위치를 확인한 후 동작하는 단계를 포함하여 이루어지는 것을 특징으로 하며,
위치에 대한 연산 및 맵핑(mapping)과정이 이동 로봇이 아닌 제어 컴퓨터에 의해 수행되므로 로봇의 구조 및 장치의 간략화가 이루어 질 수 있으므로 로봇의 가격이 저렴해짐으로서 보다 다양한 분야에서의 적용성이 높아 질 수 있고, 로봇에 탑재되는 장비가 적어짐으로 인하여 모터 및 트랜스미션 등의 구동계가 작아지고 이를 구동하기 위한 내부전원(battery)이 소형화되므로 장치의 무게가 가벼워지고 내부골격이 경량재로 대체 될 수 있는 효과를 제공한다.-
公开(公告)号：KR100489303B1
公开(公告)日：2005-05-17
申请号：KR1020020082791
申请日：2002-12-23
Applicant: 재단법인 포항산업과학연구원
IPC: G01N27/407
Abstract: 본 발명은 다이아몬드 필름 가스 센서 및 이 센서의 제조방법에 관한 것으로서, 상·하부 Si 웨이퍼, SiO
2 박막, 폴리실리콘 박막과 다이아몬드 필름 감지막을 상하로 관통하는 관통구를 포함하고, 다이아몬드 필름 감지막의 관통구의 가장자리를 머리빗 형태(comb style)로 성형함으로써, 가스의 흐름을 원활하게 하기 위한 별도의 추가 장치를 설치하지 않더라도 가스 검출을 위한 다이아몬드 필름 감지막에 도달되는 가스의 흐름을 원활하게 함과 아울러 가스와 반응하는 박막의 표면적을 증가시킴으로써 검출대상가스를 보다 높은 감도로 검출할 수 있다.-
Patent Agency Ranking
公开(公告)号：KR100489299B1
公开(公告)日：2005-05-17
申请号：KR1020020082780
申请日：2002-12-23
Applicant: 재단법인 포항산업과학연구원
IPC: C23C14/35
Abstract: 본 발명은 증발되는 물질인 타겟, 상기 타겟을 지지하는 타겟홀더 및 상기 타겟 표면에 자력선을 형성시키는 다수개의 영구자석을 포함하는 마그네트론 스퍼터링 증발원에 있어서, 상기 자력선을 평활한 형태로 만들면서 자력선의 세기를 크게하는 자성체 디스크, 및 타겟홀더를 냉각시키기 위해 타겟홀더의 내주면에 접촉하여 설치되는 냉각수 라인을 포함하는 것을 특징으로 하는 마그네트론 스퍼터링 증발원을 제공한다. 상기 자성체 디스크는 순철이 바람직하며, 상기 영구자석 사이 또는 타겟홀더 내에 삽입되는 것이 바람직하다.
본 발명은 자성체 디스크를 삽입하여 플라즈마 영역을 확대하므로써 다량으로 발생된 이온을 스퍼터링에 이용하고, 냉각방식의 변화로 냉각효율을 향상시켜 증발율을 대폭 향상시켰으며, 타겟 위의 자기력선 수평성분을 확대하여 타겟 효율을 향상시킨 것을 특징으로 하는 고속 증발용 스퍼터링 증발원을 제공하는 것이다.
본 발명에 따른 마그네트론 스퍼터링 증발원은 타겟에 인가되는 전력이 30W/㎠이상이고, 4×10
-5 토르 이하의 진공도에서도 스퍼터링 할 수 있다.-
公开(公告)号：KR100473685B1
公开(公告)日：2005-03-07
申请号：KR1020000080020
申请日：2000-12-22
Applicant: 재단법인 포항산업과학연구원 , 주식회사 포스코
IPC: B21C51/00
Abstract: 본 발명은 전체적인 시험공정이 평면에서 진행될 수 있도록 팽팽한 상태로 양측이 고정된 시편을 따라 이동하면서 시편이 인발되도록 힘을 가하는 스퀴즈를 이용함으로써, 검사장치의 자동화 및 무인화를 가능하게 하는 시험재 인발장치를 제공하는 데 그 목적이 있다.
본 발명의 시험재 인발장치는, 시편(20)이 팽팽한 상태를 유지하도록 그 양 단부를 각각 고정하는 2개의 텐션 롤러(21, 22)와, 텐션 롤러(21, 22)의 사이에 위치하며 상하로 이동할 수 있도록 구성된 베드(23)와, 베드(23)를 따라 좌우로 이동할 수 있도록 베드(23)에 결합되어 있는 스퀴즈(24 ; squeeze)를 포함하며, 베드(23)를 상부로 이동시켜 스퀴즈(24)와 닿는 시편(20)의 일부분을 인발하고, 스퀴즈(24)가 시편에 닿은 상태에서 스퀴즈(24)를 베드(23)를 따라 이동시켜 시편(20)을 순차적으로 인발함으로써, 시편표면에서 개재물을 탈락시켜 그 부분에 표면결함이 형성되게 하는 것을 특징으로 한다.-
公开(公告)号：KR100441663B1
公开(公告)日：2004-07-27
申请号：KR1020010048565
申请日：2001-08-11
Applicant: 재단법인 포항산업과학연구원
IPC: G01N27/333
Abstract: PURPOSE: A sensor for measuring hydrogen ion concentration having a temperature sensor and an apparatus for measuring hydrogen ion concentration having the sensor are provided to easily use the sensor and reduce the size of the sensor by detecting temperature as well as hydrogen ion concentration. CONSTITUTION: An apparatus for measuring hydrogen ion concentration includes a sensor measuring hydrogen ion concentration having a temperature sensor(28); an amplifier(34) amplifying the hydrogen ion concentration measured by the sensor; a collective amplifier(36) collecting the amplified hydrogen ion concentration value for amplifying; a differential amplifier(42) directly connected to the temperature sensor for receiving an actual temperature value detected by the temperature sensor and receiving the temperature value through a detecting circuit(32), so that the differential amplifier differentiates and amplifies each temperature value; a CPU(38) calculating and outputting the corrected hydrogen ion concentration value and the temperature value by using the amplified hydrogen ion concentration value and the temperature value; and a display(40) visually providing the output value output from the CPU.
Abstract translation: 目的：提供一种具有温度传感器的用于测量氢离子浓度的传感器和用于测量具有传感器的氢离子浓度的装置，以易于使用传感器并通过检测温度以及氢离子浓度来减小传感器的尺寸。 一种测量氢离子浓度的装置，包括一个具有温度传感器（28）的测量氢离子浓度的传感器; 放大器（34），放大由传感器测量的氢离子浓度; 集合放大器（36），其收集放大的氢离子浓度值用于放大; 与温度传感器直接连接的差分放大器（42），用于接收由温度传感器检测的实际温度值，并通过检测电路（32）接收温度值，以便差分放大器对每个温度值进行差分和放大; CPU（38），通过使用放大后的氢离子浓度值和温度值来计算并输出校正后的氢离子浓度值和温度值; 和可视地提供从CPU输出的输出值的显示器（40）。
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公开(公告)号：KR1020040056212A
公开(公告)日：2004-06-30
申请号：KR1020020082783
申请日：2002-12-23
Applicant: 재단법인 포항산업과학연구원
IPC: B81B7/00
CPC classification number: B81B7/02 , B81B2201/02 , B81B2203/04 , B81C1/00015
Abstract: PURPOSE: An MEMS pH sensor having an Ag/AgCl electrode structure and a method for manufacturing the same are provided to expand life span of the MEMS pH sensor by minimizing loss of an Ag/AgCl electrode in KCl solution. CONSTITUTION: A pair of Ag layers including solvent and powder are obtained by silk printing Ag paste on a silicon wafer(22). After removing a solvent component from the Ag layers, a powder component of the Ag layers is cured, thereby obtaining a pair of cured Ag layers. Then, the cured Ag layers are subject to an electrolysis process in such a manner that an AgCl layer is formed on an upper surface of the Ag electrode, thereby forming a pair of Ag/AgCl electrodes. The Ag/AgCl electrodes are formed on a reference electrode(14) and a detection electrode(16) of the MEMS pH sensor.
Abstract translation: 目的：提供具有Ag / AgCl电极结构的MEMS pH传感器及其制造方法，以通过最小化KCl溶液中Ag / AgCl电极的损失来延长MEMS pH传感器的使用寿命。 构成：通过在硅晶片（22）上印刷Ag膏来获得包括溶剂和粉末的一对Ag层。 从Ag层除去溶剂成分后，使Ag层的粉末成分固化，得到一对固化的Ag层。 然后，将固化的Ag层进行电解处理，使得在Ag电极的上表面上形成AgCl层，由此形成一对Ag / AgCl电极。 Ag / AgCl电极形成在MEMS pH传感器的参考电极（14）和检测电极（16）上。
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公开(公告)号：KR1020040020352A
公开(公告)日：2004-03-09
申请号：KR1020020051946
申请日：2002-08-30
Applicant: 재단법인 포항산업과학연구원
IPC: F21V8/00
Abstract: PURPOSE: A parallel light generating device is provided to achieve improved stability and uniformity of light, while reducing influences of ambient light. CONSTITUTION: A parallel light generating device comprises a light control film(4) spaced apart from a high luminance LED array(2) connected to an LED source driving unit(1), wherein the light control film is designed to have light transmitting characteristics of a predetermined angle; and a diffuser(3) spaced apart from the light control film.
Abstract translation: 目的：提供平行光产生装置以实现改善的光稳定性和均匀性，同时减少环境光的影响。 构成：平行光产生装置包括与连接到LED源驱动单元（1）的高亮度LED阵列（2）间隔开的光控膜（4），其中光控膜被设计成具有 预定角度; 以及与光控制膜间隔开的漫射器（3）。
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