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公开(公告)号：KR100945251B1
公开(公告)日：2010-03-03
申请号：KR1020070098242
申请日：2007-09-28
Applicant: 한국과학기술원
CPC classification number: C30B29/60 , C30B23/00 , C30B29/52 , Y10T117/10
Abstract: 본 발명은 다양한 형태의 물질을 진공 시스템 내부에서 그 타겟부재의 온도, 상기 타겟부재에 가해지는 인가 전압, 펄스 폭, 타겟부재의 기화 후 전구체의 종류 등의 변수에 따라서 원하는 형태의 나노 구조로 변화가능한 형태 조절이 가능한 단결정 나노구조체 제작방법 및 단결정 나노구조체 제작장치에 관한 것이다.
본 발명의 나노 구조는 각각이 저장 매체의 단위로 사용될 수 있어, 고밀도의 저장 매체를 생산할 수 있고, 금속이나 반도체의 나노 사이즈에서 나타나는 특정한 전기적, 물리적 특성을 이용하여 다양한 디바이스의 소형화가 가능하다.
펄스 인가 증발 방법(Pulse induced evaporation method), 형태조절(morphology control), 단결정, 나노구조, 나노와이어, 나노튜브, 나노로드, 상변화 메모리, 칼코게나이드, 하니컴구조(honey-comb structure), 상하부 기판 근접방식-
公开(公告)号：KR100892367B1
公开(公告)日：2009-04-10
申请号：KR1020070067616
申请日：2007-07-05
Applicant: 한국과학기술원
Abstract: 본 발명에 따른 디지털 탁본 장치는, 전자연필의 위치를 파악하여 내장하고 있는 2차원 디지털 그래픽 이미지의 좌표에 따라 각 픽셀에 상응하는 출력신호를 전자연필로 송신하는 그림판과; 그림판으로부터 출력신호를 수신하여 2차원 디지털 그래픽 이미지와 XY 평면상의 절대좌표가 일치되도록 종이에 그래픽 이미지를 인쇄하는 전자연필로 구성된다. 본 발명에 의하면, 탁본이나 문지르기 화법(rubbing technique)처럼 물리적 요철패턴 위에 종이를 올려놓고 잉크나 연필로 문지르면 패턴이 종이에 전사되듯이, 전자연필을 이용해 그림판에 내장된 2차원 디지털 그래픽 이미지를 XY 평면상의 절대좌표가 일치되도록 인쇄하고자 하는 종이에 직접 출력할 수 있다.
디지털 탁본, 핸드헬드 프린터-
公开(公告)号：KR100888469B1
公开(公告)日：2009-03-12
申请号：KR1020070027335
申请日：2007-03-20
Applicant: 한국과학기술원
IPC: H01L21/66 , H01L27/115 , H01L21/8247
Abstract: 본 발명은 상변화 메모리(Phase-change Random Access Memory, PRAM)의 on/off(set/reset) 반복 동작에 의한 칼코게나이드(chalcogenide)계 PRAM 물질의 피로측정과 원인을 자동 규명하고 제어하는 상변화 메모리의 피로(fatigue) 측정 시스템, 그 제어방법 및 제어 프로그램이 기록된 기록매체에 관한 것으로서, 반복 펄스를 발생하는 펄스 발생기(pulse generator)와, 자체 제작된 텅스텐 히터 팁을 구비하고, 상기 펄스를 입력받아 PRAM의 칼코게나이드계 게르마늄(Ge)-안티몬(Sb)-텔룰라이드(Te) 금속합금셀(GST cell)에 상변화를 일으키는 원자 힘 현미경(AFM)과, 상기 Ge
2 Sb
2 Te
5 (GST) 셀에서의 상변화에 따른 파라미터를 측정하는 매개변수 분석기(parameter analyzer)를 포함한다.
본 발명에 따르면, 상변화 메모리의 피로측정을 자동화할 수 있고, 셋/리셋 사이클에 따른 전기적, 기계적, 구조적 분석이 가능하여 피로원인의 규명과 피로영역의 2차적 분석을 용이하게 할 수 있는 효과가 있다.
상변화 메모리, 칼코게나이드, 피로, Ge2Sb2Te5(GST), 원자 힘 현미경, 텅스텐 히터 팁
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