公开(公告)号：KR1020130068453A

公开(公告)日：2013-06-26

申请号：KR1020110135627

申请日：2011-12-15

Applicant: 한국전자통신연구원

Inventor： 김진식

IPC: G03F7/20

CPC classification number: G03F7/70708 ,  G03F7/0002 ,  G03F7/0005 ,  G03F7/70808 ,  H01L21/6838

Abstract: PURPOSE: A vacuum chuck for imprinting is provided to form the even thickness of a photosensitive layer on the center and edge of a substrate by using multiple height adjustable sealing rings. CONSTITUTION: A vacuum chuck(200) for imprinting comprises a support(100), multiple sealing rings(104), and a micro adjuster(400). The multiple sealing rings are located on the support. The micro adjuster adjusts the height of the sealing rings by being connected to each sealing ring. The sealing rings comprise a first sealing ring(104a), a second sealing ring(104b), a third sealing ring(104c), and a fourth sealing ring(104d). The first sealing ring is connected to a first micro adjuster(40), the second sealing ring is connected to a second adjuster(42), the third sealing ring is connected to a third adjuster(44), and the fourth sealing ring is connected to a fourth adjuster(46). When each sealing ring is adhered and sealed with a substrate(107), an empty space(500) is formed between the substrate and the support. By using the first and third sealing rings, the same height from the center to edge of the substrate is maintained to evenly adhere the substrate and a mold or a mask.

Abstract translation: 目的：提供用于压印的真空吸盘，通过使用多个高度可调的密封环，在基板的中心和边缘上形成感光层的均匀厚度。 构成：用于压印的真空卡盘（200）包括支撑件（100），多个密封环（104）和微调节器（400）。 多个密封圈位于支架上。 微调节器通过连接到每个密封环来调节密封环的高度。 密封环包括第一密封环（104a），第二密封环（104b），第三密封环（104c）和第四密封环（104d）。 第一密封环连接到第一微调节器（40），第二密封环连接到第二调节器（42），第三密封环连接到第三调节器（44），第四密封环连接 到第四调节器（46）。 当每个密封环用基板（107）粘合和密封时，在基板和支撑件之间形成空的空间（500）。 通过使用第一和第三密封环，保持与基板的中心到边缘相同的高度，以均匀地粘附基底和模具或掩模。

公开(公告)号：KR1020120061424A

公开(公告)日：2012-06-13

申请号：KR1020100122740

申请日：2010-12-03

Applicant: 한국전자통신연구원

Inventor： 정예슬 ,  백규하 ,  도이미 ,  박지만 ,  박건식 ,  김동표 ,  김진식 ,  김주연

IPC: H01L21/027 ,  B41N1/06 ,  B41M1/10

CPC classification number: B41N1/00 ,  B41M1/10 ,  B41N1/06 ,  H01L21/0274 ,  G03F7/0002 ,  G03F7/12

Abstract: PURPOSE: An intaglio printing plate which includes an auxiliary pattern and a manufacturing method thereof are provided to improve accuracy of a pattern by uniformly filling ink on the edge of the pattern. CONSTITUTION: A pattern to be printed is located on a pattern part(100). A non-pattern part is arranged on a region which excludes the pattern part. An auxiliary pattern part(210) includes a repetition pattern of a predetermined shape formed within the pattern part. A part of the pattern part is divided by a pattern structure formed by the auxiliary pattern part. A cross sectional surface of a repetition pattern part has a mesh structure.

Abstract translation: 目的：提供一种包括辅助图案的凹版印刷版及其制造方法，以通过在图案的边缘均匀地填充墨来提高图案的精度。 构成：要打印的图案位于图案部分（100）上。 非图案部分布置在排除图案部分的区域上。 辅助图案部分（210）包括形成在图案部分内的预定形状的重复图案。 图案部分的一部分被由辅助图案部分形成的图案结构划分。 重复图案部分的横截面具有网格结构。

公开(公告)号：KR101004735B1

公开(公告)日：2011-01-04

申请号：KR1020080071203

申请日：2008-07-22

Applicant: 한국전자통신연구원

Inventor： 임상철 ,  김성현 ,  양용석 ,  윤두협 ,  김진식

IPC: H01L29/786

Abstract: 본 발명은 유기 박막 트랜지스터, 이의 제조방법 및 이를 이용한 바이오센서에 관한 것으로, 본 발명에 따른 유기 박막 트랜지스터는 기판 상에, 게이트 전극, 게이트 절연막, 소스·드레인 전극 및 유기 반도체층을 포함하되, 상기 게이트 절연막과 유기 반도체층 사이에 졸-겔법을 통해 형성된 계면층을 더 포함하고, 상기 게이트 절연막은 유기 폴리머를 포함하며, 상기 계면층은 무기물을 포함한다. 본 발명에 따른 유기 박막 트랜지스터는 게이트 절연막과 유기 반도체층 사이에 계면층을 도입함으로써, 유기 절연막을 외부 환경으로부터 보호하며 유기 절연막과 유기 반도체층과의 접합 특성을 향상시켜 소자의 안정성을 확보할 수 있다. 또한, 본 발명에 따른 유기 박막 트랜지스터는 플라스틱 기판의 사용이 가능하기 때문에, 제조 비용이 저렴하여 일회용으로 주로 사용되는 바이오 센서에 적용되기 바람직하다.
유기 박막 트랜지스터, 계면층, 졸-겔법, 바이오센서