用于制造集成电路的装置中的流体供应系统

    公开(公告)号:CN100452313C

    公开(公告)日:2009-01-14

    申请号:CN200480044602.1

    申请日:2004-12-31

    Inventor: 安斗根 朴平宰

    CPC classification number: B01J4/02 B01J4/002 B01J2219/00164

    Abstract: 本发明涉及一种用于将化学物质供应到多个喷嘴以制造集成电路的系统。该系统包括供应管线、返回管线以及用于将恒定量的化学物质供应到返回管线或一个喷嘴的选择部件。根据本发明,恒定量的化学物质从化学物质存储器供应,而不管需要供应化学物质的喷嘴的数目。这使得泵避免过度工作并且抑制了需要预定的时间来使得化学物质达到固定温度的常规问题。

    不溶性偶氮颜料的制备方法及体系

    公开(公告)号:CN1763136A

    公开(公告)日:2006-04-26

    申请号:CN200510118132.5

    申请日:2005-10-20

    CPC classification number: C09B41/008 B01J4/02 B01J19/18 B01J2219/00164

    Abstract: 通过将重氮溶液和基础溶液连续喷入喷射器中,以使所述重氮溶液和基础溶液在所述喷射器中相互混合并发生偶联反应,从而制备不溶性偶氮颜料。制备不溶性偶氮颜料的体系包括以下单元(1)-(4):(1)用于选自重氮溶液或基础溶液的第一流体的第一进料罐(2),用于将第一流体输送至喷射器(1)的喷嘴的第一流径(a),以及用于经第一流径输送第一流体的泵(d);(2)喷射器(1),设置有喷嘴、吸入室、扩散体和温控装置(g);(3)用于第二流体的第二进料罐(3),用于引导第二流体进入吸入室的第二流径(b),以及用于控制经第二流径(b)的第二流体的流速的流量控制装置(e);以及(4)用于对通过第一流体和第二流体之间的反应形成的不溶性偶氮颜料的悬浮液进行热处理的热处理罐(5),以及用于引导悬浮液从喷射器的扩散体进入热处理罐的第三流径(a’)。

    用于在聚合反应器系统中使烯烃聚合的方法

    公开(公告)号:CN105829358B

    公开(公告)日:2019-07-23

    申请号:CN201480070683.6

    申请日:2014-12-15

    Abstract: 本发明涉及一种用于在聚合反应器系统中使烯烃聚合的方法,并且具体地提供一种用于在聚合反应器系统中使烯烃聚合的方法,该聚合反应器系统包括至少第一和第二引入部位,通过该部位,相同的反应组分可直接在反应器系统上的不同位置处引入,其中i)在第一时间,反应组分经由至少第一引入部位引入并且使得经由所述第一引入部位和第二引入部位引入的反应组分的比例X是经由第一引入部位引入的,以及ii)在随后的第二时间,相同的反应组分经由至少第二引入部位引入并且使得经由所述第一引入部位和第二引入部位引入的反应组分的比例Y是经由第一引入部位引入的,其中Y小于X,并且进一步地其中,第一和第二引入部位中的至少一个在反应器系统上定位在并非反应器上的位置处。

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