公开(公告)号：CN1871693A

公开(公告)日：2006-11-29

申请号：CN200480030834.1

申请日：2004-10-15

Applicant: 大日本油墨化学工业株式会社 ,  株式会社启梓SCT

Inventor： 菅沼俊和 ,  富田康司 ,  酒井一成 ,  羽田尚树 ,  风间胜彦

IPC: H01L21/304 ,  B01J4/02 ,  B08B3/08

CPC classification number: B01F5/0495 ,  B01J4/02 ,  B01L3/0293 ,  Y10T137/0329 ,  Y10T137/2076 ,  Y10T137/87676

Abstract: 本发明提供一种液体供给方法，其中，当通过将微量的化学品等供应至超纯水中来制备能用作洗涤水等的溶液时，所供应的供给液的量可以精确地测定。在该液体供给方法中，通过将供给液供应至在主流体流通管(2)中流通的主流体中来制备溶液。该液体供给方法使用的液体供应装置(1)包括：输送供给液的供给部(3)；和使供给液从供给部(3)流到主流体流通管(2)的供给液流通管(4)，供给液流通管(4)的内直径在0.01和1mm之间。当通过供给液流通管(4)将供给液从供给部(3)供应至主流体流通管(2)时，供给部(3)的供给液压强P1和主流体流通管中的主流体压强P2满足式P1－P2＞0。

公开(公告)号：CN100477102C

公开(公告)日：2009-04-08

申请号：CN200480030834.1

申请日：2004-10-15

Applicant: 大日本油墨化学工业株式会社 ,  株式会社启梓SCT

Inventor： 菅沼俊和 ,  富田康司 ,  酒井一成 ,  羽田尚树 ,  风间胜彦

IPC: H01L21/304 ,  B01J4/02 ,  B08B3/08

CPC classification number: B01F5/0495 ,  B01J4/02 ,  B01L3/0293 ,  Y10T137/0329 ,  Y10T137/2076 ,  Y10T137/87676

Abstract: 本发明提供一种液体供给方法，其中，当通过将微量的化学品等供应至超纯水中来制备能用作洗涤水等的溶液时，所供应的供给液的量可以精确地测定。在该液体供给方法中，通过将供给液供应至在主流体流通管(2)中流通的主流体中来制备溶液。该液体供给方法使用的液体供应装置(1)包括：输送供给液的供给部(3)；和使供给液从供给部(3)流到主流体流通管(2)的供给液流通管(4)，供给液流通管(4)的内直径在0.01和1mm之间。当通过供给液流通管(4)将供给液从供给部(3)供应至主流体流通管(2)时，供给部(3)的供给液压强P1和主流体流通管中的主流体压强P2满足式P1-P2＞0。