一种将液体制备为气体标准物质的系统及方法

    公开(公告)号:CN104324669A

    公开(公告)日:2015-02-04

    申请号:CN201410104377.1

    申请日:2014-03-20

    Inventor: 胡树国

    CPC classification number: B01J7/00

    Abstract: 本发明涉及一种将液体制备为气体标准物质的系统及方法。将液体通过注射器注入一个由两端密封阀封闭的具有一定体积的不锈钢管中,然后将不锈钢管连接在制备系统中,将不锈钢管中的液体转移到目标气瓶中,再加入稀释气混合。通过称量不锈钢管加入液体前后的质量损失来确定液体加入量,通过称量目标气瓶加气前后的质量增加来确定稀释气加入量,从而得到混合气体的摩尔分数。通过制备系统可以“无损失”的快速将液体转移至目标气瓶,达到将常温常压下为液体的化合物制备成混合气体的目的。

    用于从固体源递送试剂的系统

    公开(公告)号:CN101495190B

    公开(公告)日:2013-05-01

    申请号:CN200680016777.0

    申请日:2006-03-09

    Abstract: 一种用于从其固体源递送试剂的系统(10),包括:一结构(16、22、24),被设置成通过所述结构的至少一部分将固体源材料(30)保持封闭,用于加热固体源材料并通过蒸发固体源材料从固体源材料中产生蒸气;热源(82),被设置成加热固体源材料,以实现所述蒸发;以及蒸气分配组件(52、54),被设置成从所述系统中排出蒸气。还描述了高传导性阀(1510),其适于用作用于试剂存储的分配控制阀以及分配容器,例如,容纳以低压分配的半导体制造试剂的容器。该高传导性阀包括阀体(1512),其中,进口和出口通道彼此基本垂直,它们的内部末端于阀室(1536)连通,该阀室包含有可选择性定位的阀元件,该阀元件可在完全打开位置与完全闭合位置之间移动。通过这种高传导性阀可以获得大约2.7至2.9的阀流量系数(Cv)值,这使得即使在极低压力的情况下(如20托以下),该阀也可获得优异的分配操作。

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