公开(公告)号：CN103328372A

公开(公告)日：2013-09-25

申请号：CN201180061504.9

申请日：2011-11-04

Applicant: 数位光学MEMS有限公司

Inventor： 罗曼·C·古铁雷斯 ,  安克·贾殷

IPC: B81B7/00

CPC classification number: H02N2/005 ,  B81B7/0006 ,  B81B2201/033 ,  B81B2203/0154 ,  B81B2207/07

Abstract: 本发明涉及一种装置，其可包括由第一半导体材料形成的挠曲。第一沟槽可形成在所述挠曲中。所述第一沟槽可将所述第一半导体材料分离成其第一部分及第二部分。氧化物层可形成在所述第一沟槽中。所述氧化物层可在所述第一半导体材料的顶部部分上延伸。第二半导体材料可形成在所述氧化物层上。所述第一沟槽及所述氧化物层可协作以将所述第一部分及所述第二部分彼此电隔离。

公开(公告)号：CN102712460A

公开(公告)日：2012-10-03

申请号：CN201080023341.0

申请日：2010-05-18

Applicant: 罗伯特·博世有限公司

Inventor： F·恩吉卡姆恩吉蒙齐 ,  W·朔克 ,  J·穆霍 ,  Z·莱什詹

IPC: B81B3/00

CPC classification number: G02B26/0841 ,  B81B3/0021 ,  B81B2201/033 ,  B81B2201/042 ,  Y10T29/49002

Abstract: 本发明涉及一种微机械构件，包括一外部定子电极组件(28)和一通过至少一个外弹簧(81)与支架(55)相连的外部执行器电极组件(24)，通过在外部执行器电极组件(24)和外部定子电极组件(28)之间施加第一电压可绕第一旋转轴线(12)调整一可调元件(10)；该微机械构件还包括一内部定子电极组件(30)和一内部执行器电极组件(26)，该内部执行器电极组件带有第一梁(50)，该梁上布置有至少一个电极指(26a，26b)，通过在内部执行器电极组件(26)的至少一个电极指(26a，26b)与内部定子电极组件(30)之间施加第二电压可绕第二旋转轴线(14)调整该可调元件(10)，所述内部执行器电极组件(26)通过沿第二旋转轴线(14)定向的中间弹簧(52)与外部执行器电极组件(24)相连。本发明还涉及一种微机械构件制造方法。

公开(公告)号：CN101827781B

公开(公告)日：2012-05-30

申请号：CN200780101155.2

申请日：2007-10-31

Applicant: 富士通株式会社

Inventor： 壶井修 ,  高马悟觉 ,  水野义博 ,  奥田久雄 ,  曾根田弘光 ,  松本刚

IPC: B81B3/00

CPC classification number: B81B3/0086 ,  B81B2201/033 ,  B81B2201/042 ,  B81B2203/0136 ,  B81B2203/058 ,  G02B26/0841

Abstract: 提供一种适于抑制驱动特性的劣化的微型可动元件以及包括这种微型可动元件的微型可动元件阵列。本发明的微型可动元件(X1)包括：具有第一驱动电极的可动部；第二驱动电极，用于在与第一驱动电极之间产生静电引力；第一导体部(22c)，其与第一驱动电极电连接；第二导体部(22b)，其与第二驱动电极电连接；以及第三导体部(21a)，其不与第一和第二驱动电极电连接，并且经由绝缘膜(23)与第一导体部(22c)接合且经由绝缘膜(23)与第二导体部(22b)接合。

公开(公告)号：CN102119118A

公开(公告)日：2011-07-06

申请号：CN200980131329.9

申请日：2009-07-06

Applicant: 罗伯特·博世有限公司

Inventor： S·芬克拜纳 ,  T·皮尔克 ,  C·弗里泽

IPC: B81C1/00

CPC classification number: B81C1/00166 ,  B81B2201/033 ,  B81C2201/014

Abstract: 本发明涉及一种用于微机械部件(100)的制造方法，包括以下步骤：在基本衬底上形成第一蚀刻停止层，第一蚀刻停止层被这样地构造，使得它具有穿透的留空的第一图案；在第一蚀刻停止层上形成第一电极材料层；在第一电极材料层上形成第二蚀刻停止层，第二蚀刻停止层被这样地构造，使得它具有穿透的留空的与第一图案不同的第二图案；在第二蚀刻停止层上形成第二电极材料层；在第二电极材料层上形成结构化的掩膜；和在第一方向上执行第一蚀刻步骤并且在与第一方向相反指向的第二方向上执行第二蚀刻步骤，以便由第一电极材料层蚀刻出至少一个第一电极单元及由第二电极材料层蚀刻出至少一个第二电极单元。本发明还涉及微机械部件(100)。

公开(公告)号：CN102003972A

公开(公告)日：2011-04-06

申请号：CN201010264988.4

申请日：2010-08-26

Applicant: 罗伯特.博世有限公司

Inventor： A·弗兰克 ,  A·布曼 ,  M·凯克

IPC: G01D5/24 ,  G01P15/125 ,  G01B7/14

CPC classification number: G01P15/125 ,  B81B3/0094 ,  B81B2201/0221 ,  B81B2201/0235 ,  B81B2201/033 ,  G01D5/2412 ,  H02N1/008

Abstract: 本发明涉及容性传感器和执行器，其具有至少一个可偏移地固定在基底上的振荡质量。在此，如此在该振荡质量上固定了带有梳齿(2)的梳状电极(1)并且在该基底上固定了带有梳齿(2′)的梳状电极(1′)，以使得梳齿(2)和(2′)被布置成平行于该振荡质量的偏移方向(3)并且梳状地啮入彼此之中。通过优化至少一个梳状电极(1，1′)的几何形状尤其至少一个梳齿(2，2′)的几何形状来调节传感器的特征曲线或执行器的特征曲线。

公开(公告)号：CN101334526A

公开(公告)日：2008-12-31

申请号：CN200810127305.3

申请日：2008-06-27

Applicant: 富士通株式会社

Inventor： 壶井修 ,  高马悟觉 ,  曾根田弘光 ,  奥田久雄 ,  水野义博 ,  松本刚 ,  佐胁一平

IPC: G02B26/08 ,  B81B3/00 ,  G01P9/04

CPC classification number: B81B3/0078 ,  B81B2201/033 ,  B81B2201/042 ,  B81B2203/0136 ,  B81B2203/0181 ,  B81B2203/058 ,  G02B26/0841

Abstract: 一种微振荡元件，包括基座框架、振荡部和使基座框架与振荡部彼此连接的连接部。振荡部具有可动功能部、连接至可动功能部的第一驱动电极以及连接至第一驱动电极的配重部。连接部限定振荡部的振荡运动的轴线。固定至基座框架的第二驱动电极与第一驱动电极配合工作产生用于振荡运动的驱动力。

公开(公告)号：CN101056072A

公开(公告)日：2007-10-17

申请号：CN200710090110.1

申请日：2007-04-12

Applicant: JDS尤尼弗思公司

Inventor： 斯蒂芬·H.·莫法特 ,  约翰·M.·米勒

IPC: H02N1/00 ,  H05K3/02 ,  B81C1/00 ,  B81B5/00

CPC classification number: B81C1/00174 ,  B81B2201/033 ,  B81B2201/042 ,  B81B2203/058 ,  H02N1/008

Abstract: 本发明涉及一种对横向对准公差要求较宽松的错列垂直梳状驱动器执行器的加工方法。首先使用自对准双层掩模从正面蚀刻晶片的器件层，以确定移动和固定梳齿的交叉齿爪。第二次蚀刻步骤是有选择地去除两组齿爪之一的顶部，以此对其进行垂直方向的减薄。此时将晶片的正面与一承载晶片结合。之后再从器件层背面对晶片进行有选择的蚀刻，以去除第二组齿爪的下部，从而形成齿爪具备纵向偏移且相互交叉的移动和固定梳齿。

公开(公告)号：CN1831579A

公开(公告)日：2006-09-13

申请号：CN200610059745.0

申请日：2006-03-06

Applicant: 富士通株式会社

Inventor： 高马悟觉 ,  壶井修 ,  曾根田弘光 ,  上田知史

IPC: G02B26/08 ,  H01L29/84 ,  G01P15/125 ,  G03F7/20 ,  H01L21/027

CPC classification number: B81C1/00547 ,  B81B2201/033

Abstract: 本发明提供梳齿电极对的制造方法。该方法由材料衬底制造一对梳齿电极，该材料衬底包括第一导电层、第二导电层以及位于第一导电层与第二导电层之间的绝缘层。该对梳齿电极包括第一梳齿电极和第二梳齿电极。第一梳齿电极包括由第一导电层得到的第一导体、由第二导电层得到的第二导体以及由绝缘层得到的绝缘体。第二梳齿电极由第二导电层得到。

公开(公告)号：CN1690764A

公开(公告)日：2005-11-02

申请号：CN200510067674.4

申请日：2005-04-25

Applicant: 松下电器产业株式会社

Inventor： 黑塚章 ,  虫鹿由浩 ,  梶野修

IPC: G02B26/02

CPC classification number: G02B26/0841 ,  B81B3/0062 ,  B81B2201/033 ,  B81B2201/042 ,  B81B2203/053 ,  B81B2203/058 ,  H02N1/008

Abstract: 一种微驱动器，在可动部的刚性和重量之间、以及可动部的刚性和静电力之间的双方综合调整。该微驱动器(100)，具备基台(1)、由基台(1)支撑着的第1梳型电极(2)、具有与第1梳型电极(2)相对的第2梳型电极(8)和向基台(1)的方向突出的至少1个加强筋(9)的可动部(6)、以及以能够进行可动部(6)相对于基台(1)的变位的方式支撑可动部(6)的弹性支撑部(3)。第2梳型电极(8)的高度和至少1个加强筋(9)的高度相互不同。

公开(公告)号：CN1650214A

公开(公告)日：2005-08-03

申请号：CN02829427.0

申请日：2002-08-14

Applicant: 富士通株式会社

Inventor： 宓晓宇 ,  壶井修 ,  上田知史 ,  佐胁一平

IPC: G02B26/10 ,  G02B26/08 ,  B81B3/00

CPC classification number: G02B26/0841 ,  B81B3/007 ,  B81B2201/0235 ,  B81B2201/033 ,  B81B2201/042 ,  B81B2203/0109 ,  B81B2203/0154 ,  B81B2203/058

Abstract: 一种微型摇动元件，具有框架(113)和通过连结部(112)与该框架(113)连结的摇动部件(111)。各连结部(112)包含2个扭杆(112a)，各扭杆(112a)形成多个孔(112b)，由此，按照朝向框架(113)刚性相对高、且朝向摇动部件(111)刚性相对低的方式构成。