公开(公告)号：CN1817782A

公开(公告)日：2006-08-16

申请号：CN200510127725.8

申请日：2005-12-02

Applicant: 台湾积体电路制造股份有限公司

Inventor： 陈斐筠 ,  朱翁驹 ,  张毓华 ,  何大椿

IPC: B81C1/00 ,  H01L21/00

CPC classification number: B81C1/00 ,  B81B2201/047

Abstract: 本发明提供一种微机电透明基底与其制程，其具有微机电系统位于其第一侧上，包括：形成不透明层于透明基底的与第一侧相反的第二侧上，不透明层包括第一材料，第一材料可由微机电系统释放制程移除；以及形成第二层于不透明层上，第二层包括第二材料，以防止在前端制造线时前端机械线因第一材料所造成的污染。本发明所述的微机电透明基底与其制程，可使得不透明层与第二层在前段线处理时保护基底背面，且避免因不透明层的第一材料在制程设备中产生污染，增加在预防性的维护操作间的生产片数，再者，可减少在现有前段线处理中的额外的Ti/OX移除步骤，且可减少因Ti/OX移除对循环时间与生产力所造成的负面影响，从而减少成本。

公开(公告)号：CN1768003A

公开(公告)日：2006-05-03

申请号：CN200480009096.2

申请日：2004-04-07

Applicant: 布克哈姆技术公共有限公司

Inventor： 瑞安·默里·希基

IPC: B82B3/00

CPC classification number: B81B3/004 ,  B81B3/0024 ,  B81B2201/047 ,  B81B2203/0118 ,  B81B2203/033 ,  B81B2203/058 ,  G02B26/0866 ,  H01H2061/008

Abstract: 本发明涉及一种非对称MEMS热致动器装置，其包括一个基板部，一般是一对连接垫板，和一个致动器单元，它通过一个挠曲单元与基板部连接。致动器单元有第一臂和第二臂，第一臂与第二臂并排间隔地设置。第二臂比第一臂宽，这样当电流通过其中时，由于两臂所受加热程度的不同，致动器单元就会绕所述挠曲单元弯曲。在第二臂上邻近第一臂处设有一个切口区，以增加至少在切口部位两臂的间距。最好，在邻近第二臂的侧面处再设一散热部。

公开(公告)号：CN1729086A

公开(公告)日：2006-02-01

申请号：CN200380106855.2

申请日：2003-11-20

Applicant: 皇家飞利浦电子股份有限公司

Inventor： D·J·布罗尔 ,  G·N·莫尔 ,  C·M·R·德维茨

IPC: B29C39/00 ,  C08J5/18 ,  B81C1/00 ,  B81B3/00

CPC classification number: B29C37/0053 ,  B29C33/42 ,  B29C43/021 ,  B29C2035/0827 ,  B29L2011/0016 ,  B29L2031/756 ,  B81B3/0035 ,  B81B2201/047 ,  B81C2201/034

Abstract: 本发明涉及一种用于调制光束的微机械热结构和制造该结构的方法。该微机械结构包括两层在第一方向和第二方向上分别具有不同热膨胀系数的材料，第一方向横向于第二方向，并且所述两层包含取向聚合物，所述第一层的取向聚合物的分子指向矢横向于所述第二层的取向聚合物的分子指向矢。这种微机械结构的阵列可以形成用于调制光的热光调制器。该方法包括提供具有定向诱导层的模的步骤，以便在液晶单体的单体状态中获得分子取向，还包括用光致聚合作用固定该分子取向的步骤。

公开(公告)号：CN106019578A

公开(公告)日：2016-10-12

申请号：CN201610162102.2

申请日：2016-03-21

Applicant: 精工爱普生株式会社

Inventor： 近藤学

IPC: G02B26/08 ,  G02B7/00 ,  B81B7/00 ,  B81B3/00 ,  H01L21/56 ,  H01L23/13 ,  H01L23/24 ,  H01L23/31

CPC classification number: G02B7/1815 ,  B81B7/008 ,  B81B2201/042 ,  B81B2207/012 ,  B81C1/00317 ,  B81C2203/0118 ,  B81C2203/0785 ,  G02B5/208 ,  G02B26/0841 ,  G03B21/008 ,  H01L2224/48227 ,  H01L2224/73265 ,  H01L2924/15174 ,  H01L2924/16195 ,  G02B26/0833 ,  B81B3/0081 ,  B81B7/0077 ,  B81B2201/047 ,  G02B7/008 ,  H01L21/56 ,  H01L23/13 ,  H01L23/24 ,  H01L23/3121 ,  H01L2924/0002

Abstract: 本发明提供了光电装置、光电装置的制造方法以及电子设备。光电装置具有设置有反射镜的元件基板以及密封反射镜的密封部件，密封部件包括在元件基板的相反侧与反射镜相对的透光性盖。透光性盖上层叠有红外线截止滤波器。因此，透过了透光性盖的光中由于可以降低由于散热的原因引起的红外区域的成分，所以可以抑制元件基板等的温度上升。

公开(公告)号：CN105579894A

公开(公告)日：2016-05-11

申请号：CN201480053054.2

申请日：2014-09-26

Applicant: 法雷奥照明公司

Inventor： 大卫·休

IPC: G02C7/10

CPC classification number: G02C7/101 ,  B81B7/02 ,  B81B2201/047 ,  G02C7/105 ,  G02C2202/18

Abstract: 本发明涉及一种用于眼镜镜片的自适应光学滤波器(10)，包括至少两个不同的区域(10_M，10_S)，每个区域被至少一个光学特性的瞬时值限定。根据本发明，自适应光学滤波器(10)的区域(10_M，10_S)中的至少一个区域的光学特性(CT)能够随时间在最大值(CTMAX)和最小值(CTmin)之间变化。

公开(公告)号：CN105453408A

公开(公告)日：2016-03-30

申请号：CN201480044811.X

申请日：2014-07-30

Applicant: 国立大学法人静冈大学 ,  欧姆龙株式会社 ,  株式会社鹭宫制作所

Inventor： 铃木雅人 ,  森昭登 ,  桥口原 ,  杉山达彦 ,  今本浩史 ,  大场正利 ,  三屋裕幸 ,  芦泽久幸 ,  石桥和德

IPC: H02N1/00

CPC classification number: H02N1/008 ,  B81B3/0054 ,  B81B2201/018 ,  B81B2201/0292 ,  B81B2201/033 ,  B81B2201/036 ,  B81B2201/047 ,  B81B2203/0109 ,  B81B2203/0163 ,  B81B2203/051 ,  F16K31/02 ,  G02B26/02 ,  H01H59/00

Abstract: 驱动器具备：具备固定电极及可动电极的静电驱动机构；由静电驱动机构驱动的第一可动部；弹性支撑第一可动部的第一弹性支撑部；形成于固定电极及可动电极的至少一方的驻极体；以及控制向静电驱动机构的电压施加的驱动控制部。在驱动器上，在由驻极体引起的静电力与第一弹性支撑部的弹性力平衡的稳定位置或设于其附近的稳定位置设定多个对第一可动部进行定位的稳定状态。通过对静电驱动机构施加电压，能够使第一可动部从任意的稳定位置向其他稳定位置移动。

公开(公告)号：CN104718152A

公开(公告)日：2015-06-17

申请号：CN201380053069.4

申请日：2013-10-08

Applicant: 高通MEMS科技公司

Inventor： 詹姆斯·C·米多尔 ,  伊戈尔·切尔特夫

IPC: B81B7/02 ,  G01D5/241

CPC classification number: B81B7/02 ,  B81B2201/047 ,  G01D5/2417 ,  G01G7/06 ,  G01L1/146 ,  G01L5/0052 ,  G01L9/0072 ,  G01P15/0891 ,  G01P15/125 ,  G02B26/001 ,  G06F3/017 ,  G06F3/0412 ,  G06F3/044 ,  G06F3/0488 ,  G09G3/3466 ,  Y10T29/49117

Abstract: 本发明提供用于具有集成式传感器的机电系统EMS装置封装的系统、方法及设备。在一个方面中，可使用经封装EMS装置内的电极结合安置在所述EMS装置封装内的另一衬底上的电极来形成一或多个电容性传感器。所述电容性传感器可用以确定所述EMS装置封装内的衬底的相对变形，其又可用作压力、触摸、质量或撞击测量系统的部分。

公开(公告)号：CN104536131A

公开(公告)日：2015-04-22

申请号：CN201510025937.9

申请日：2012-06-01

Applicant: 皮克斯特隆尼斯有限公司

Inventor： 冈本正高 ,  新田秀和 ,  藤吉纯

IPC: G02B26/02 ,  G02B26/08

CPC classification number: G02B26/02 ,  B81B3/0016 ,  B81B7/0029 ,  B81B2201/047 ,  B81B2203/06 ,  B81B2207/053 ,  B81C1/00 ,  B81C3/008 ,  G02B26/023 ,  G02B26/0841 ,  Y10T29/49117

Abstract: 本发明涉及显示装置及其制造方法。本发明以当注入使配置有机械式光闸的容器充满的油时，减少对光闸造成的损伤为目的。本发明的显示装置具有：具有断缝(46)且将空间包围的密封材料(44)；将密封材料(44)的断缝(46)封堵而形成密封空间的端部密封材料(50)；将密封空间装满的油(52)；保持一对光透过性基板(10、12)的间隔的间隔体(54)；光闸(14)；用于机械性地驱动光闸(14)且配置在油(52)内的驱动部(38)；和在一对光透过性基板(10、12)的相对的面的至少一方上形成的壁部(60)。壁部(60)具有配置在将密封材料(44)的断缝(46)和显示区域(48)之间的最短路径遮断的位置上的部分，并由构成间隔体(54)、光闸(14)以及驱动部(38)的材料形成。

公开(公告)号：CN102809816B

公开(公告)日：2014-12-31

申请号：CN201210182666.4

申请日：2012-06-01

Applicant: 皮克斯特隆尼斯有限公司

Inventor： 木村泰一 ,  藤吉纯 ,  栗谷川武 ,  园田大介

IPC: G02B26/02 ,  G09G3/34

CPC classification number: G02B26/02 ,  B32B3/00 ,  B81B3/0062 ,  B81B7/02 ,  B81B2201/047 ,  B81B2203/0307 ,  B81B2203/0376 ,  B81C1/00103 ,  G02B26/04 ,  G02F2203/12 ,  G09G3/34 ,  G09G5/10 ,  G09G2300/08 ,  H02N1/006

Abstract: 本发明提供一种显示装置，其具有多个像素，该多个像素具有：形成为板状的光闸板(SH)和促动部(AC)，其特征在于，促动部(AC)具有：与光闸板(SH)连接的梁部(B)；通过施加电压而使梁部(B)弯曲并驱动光闸板(SH)的驱动电极(E)；支承驱动电极(E)并固定在基板(B1)上的第一支承部(S1)；和支承梁部(B)并固定在基板上的第二支承部，第一支承部(S1)以及第二支承部的至少一方具有：从基板离开的平面部分(Sp)；和以从平面部分(Sp)凹陷的方式形成，且与基板连接的凹部(Sc)，凹部(Sc)具有：从平面部分大致垂直地倾斜形成的垂直形成部分(Sv)；和从垂直形成部分(Sv)开始，以随着向基板(B1)侧前进而倾斜变缓的方式形成的部分(Sg)。

公开(公告)号：CN102076602B

公开(公告)日：2014-06-18

申请号：CN200980124408.7

申请日：2009-06-23

Applicant: 高通MEMS科技公司

Inventor： 杰弗里·B·桑普塞尔

IPC: G02B26/08 ,  B81C1/00

CPC classification number: G09G3/3466 ,  B81B2201/047 ,  B81C1/00317 ,  B81C2203/0118 ,  B81C2203/051 ,  G02B26/001 ,  Y10T29/49124

Abstract: 本发明揭示一种用于封装显示装置的方法及其所获得的装置。在一个方面中，所述方法包括提供衬底。所述方法进一步包括在所述衬底的背侧上制造显示元件阵列，所述阵列包括位于所述显示元件之间的连接所述显示元件的电极的多个柱。所述方法进一步包括提供背板。所述方法进一步包括将所述背板密封到所述衬底的所述背侧，其中在将所述背板密封到所述衬底的所述背侧之后，一个或一个以上柱与所述背板接触。