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公开(公告)号：CN102782324A
公开(公告)日：2012-11-14
申请号：CN201080051330.3
申请日：2010-11-12
Applicant: 法国原子能与替代能委员会
CPC classification number: F04B43/046 , A61M5/14586 , B81B2201/036 , B81B2203/0127 , B81C1/00182 , B81C2201/0167 , B81C2201/019 , F04B43/02 , F04B43/043 , F05C2203/02 , F05C2203/06 , Y10T29/494
Abstract: 本发明涉及一种制造至少一变形膜微泵的方法，所述变形膜微泵包含一第一衬底（10）及一与所述第一衬底（10）相互组装在一起的第二衬底（20），所述第一衬底（10）包含至少一孔穴（12-2）及所述第二衬底（20）包含面对所述孔穴（12-2）设置的至少一变形膜（22-2）。所述方法包含下列步骤：在所述第一衬底（10）内制造所述孔穴（12-2）；然后组装所述第一衬底（10）以及所述第二衬底（10）；然后在所述第二衬底内（20）制造所述变形膜（22-2）。
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公开(公告)号：CN101516764A
公开(公告)日：2009-08-26
申请号：CN200780035048.4
申请日：2007-09-19
Applicant: 皇家飞利浦电子股份有限公司
Inventor： M·F·吉利斯 , J·M·J·登图恩德 , M·T·约翰逊 , M·W·G·庞吉
IPC: B81B3/00
CPC classification number: B81B3/0029 , B81B2201/036
Abstract: 本发明涉及在生物芯片或生物系统中使用的微致动器器件。为了实现用作生物传感器或生物系统或者至少生物芯片中的微泵、并且通过它可非常精确有效地操纵致动的微致动器器件，解决方案是该微致动器包括光敏致动器元件(1)，该光敏致动器元件(1)可通过光源(3，4，L1，L2)的光子激活而从逆基本形状变形为激活变形形状，以便利用此受控运动来产生气体或液体中的已定义流。
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公开(公告)号：CN1310825C
公开(公告)日：2007-04-18
申请号：CN200510063942.5
申请日：2001-05-02
Applicant: 西尔弗布鲁克研究有限公司
Inventor： 基亚·西尔弗布鲁克
CPC classification number: B41J2/1645 , B41J2/14427 , B41J2/1623 , B41J2/1626 , B41J2/1631 , B41J2/1639 , B41J2/1648 , B81B3/007 , B81B2201/031 , B81B2201/036 , B81B2201/052 , Y10T29/42 , Y10T29/49083 , Y10T29/49401
Abstract: 一种热致弯曲致动器(6)，其设置有上支臂(23、25、26)和下支臂(27、28)，在横截面中，上支臂和下支臂成波纹状，以在垂直于其纵向的方向上提高抗弯曲性。支臂(23、25、26、27、28)可以彼此横向间隔开，并且在平面图中彼此不重叠，从而使所有支臂能够通过淀积单独一个支臂形成材料层来形成。
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公开(公告)号：CN1430577A
公开(公告)日：2003-07-16
申请号：CN01810071.6
申请日：2001-05-02
Applicant: 西尔弗布鲁克研究有限公司
Inventor： 基亚·西尔弗布鲁克
CPC classification number: B41J2/1645 , B41J2/14427 , B41J2/1623 , B41J2/1626 , B41J2/1631 , B41J2/1639 , B41J2/1648 , B81B3/007 , B81B2201/031 , B81B2201/036 , B81B2201/052 , Y10T29/42 , Y10T29/49083 , Y10T29/49401
Abstract: 一种热致弯曲致动器(6)，其设置有上支臂(23、25、26)和下支臂(27、28)，它们是非平面的，以便增大支臂的刚度。支臂(23、25、26、27、28)可以彼此横向间隔开，并且在平面图中彼此不重叠，从而使所有支臂能够通过淀积单独一个支臂形成材料层来形成。
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公开(公告)号：CN107720689A
公开(公告)日：2018-02-23
申请号：CN201710946856.1
申请日：2012-06-29
Applicant: 村田电子有限公司
CPC classification number: B81B7/0074 , B81B2201/0235 , B81B2201/025 , B81B2201/0257 , B81B2201/0264 , B81B2201/036 , B81B2207/012 , B81B2207/095 , B81C1/00333 , G01C19/5783 , G01L19/0084 , G01L19/148 , G01P1/023 , G01P1/026 , G01P15/0802 , H01L21/568 , H01L23/528 , H01L23/5389 , H01L24/16 , H01L24/17 , H01L24/19 , H01L24/32 , H01L24/73 , H01L24/83 , H01L24/92 , H01L24/96 , H01L24/97 , H01L25/16 , H01L25/18 , H01L25/50 , H01L27/14618 , H01L2223/6677 , H01L2224/12105 , H01L2224/16145 , H01L2224/16227 , H01L2224/1703 , H01L2224/32145 , H01L2224/32225 , H01L2224/73204 , H01L2224/8312 , H01L2224/8319 , H01L2224/92125 , H01L2224/97 , H01L2924/12042 , H01L2924/14 , H01L2924/1433 , H01L2924/1461 , H01L2924/15311 , H01L2924/181 , H01L2924/18162 , H01L2224/81 , H01L2224/83 , H01L2924/00012 , H01L2924/00 , B81B7/0032 , B81C2203/01
Abstract: 本发明涉及制造系统级封装器件的方法以及系统级封装器件。在该方法中，将至少一个具有预定尺寸的第一类管芯、至少一个具有预定尺寸的第二类管芯以及用于输入操作和输出操作的连接元件包含到系统级封装器件中。选择第一类管芯以用于重定尺寸，所选择的第一类管芯为光学元件。向所选择的第一类管芯的至少一侧添加材料，使得所添加的材料和所选择的第一类管芯形成重定尺寸的管芯结构。在重定尺寸的管芯结构上形成连接层。对重定尺寸的管芯结构进行定尺寸，以允许将未被选择的至少一个第二类管芯以及连接元件安装成经由连接层与重定尺寸的管芯结构接触。通过从与连接层相对的表面移除所添加的材料来进行减薄，使得所选择的第一类管芯的光学元件露出。
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Patent Agency Ranking
公开(公告)号：CN107215845A
公开(公告)日：2017-09-29
申请号：CN201710403984.1
申请日：2017-06-01
Applicant: 北京有色金属研究总院
CPC classification number: B81B7/02 , B81B2201/036 , B81C1/00134 , B81C1/00158 , B81C1/00206 , F04B43/043
Abstract: 本发明公开了一种基于聚二甲基硅氧烷(PDMS)振膜的静电执行器及制作方法。该具有静电执行器是以PDMS薄膜作为可以往复运动的高弹性薄膜作为振膜形成执行器部件，与以往全Si静电执行器相比，本发明所述基于PDMS静电执行器不仅可以简化MEMS微泵的加工工艺，降低材料成本，由于其弹性模量比Si小，可降低全Si静电执行器件的驱动电压。
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公开(公告)号：CN102782324B
公开(公告)日：2016-04-20
申请号：CN201080051330.3
申请日：2010-11-12
Applicant: 法国原子能与替代能委员会
CPC classification number: F04B43/046 , A61M5/14586 , B81B2201/036 , B81B2203/0127 , B81C1/00182 , B81C2201/0167 , B81C2201/019 , F04B43/02 , F04B43/043 , F05C2203/02 , F05C2203/06 , Y10T29/494
Abstract: 本发明涉及一种制造至少一变形膜微泵的方法，所述变形膜微泵包含一第一衬底（10）及一与所述第一衬底（10）相互组装在一起的第二衬底（20），所述第一衬底（10）包含至少一孔穴（12-2）及所述第二衬底（20）包含面对所述孔穴（12-2）设置的至少一变形膜（22-2）。所述方法包含下列步骤：在所述第一衬底（10）内制造所述孔穴（12-2）；然后组装所述第一衬底（10）以及所述第二衬底（10）；然后在所述第二衬底内（20）制造所述变形膜（22-2）。
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公开(公告)号：CN1205112C
公开(公告)日：2005-06-08
申请号：CN01810071.6
申请日：2001-05-02
Applicant: 西尔弗布鲁克研究有限公司
Inventor： 基亚·西尔弗布鲁克
CPC classification number: B41J2/1645 , B41J2/14427 , B41J2/1623 , B41J2/1626 , B41J2/1631 , B41J2/1639 , B41J2/1648 , B81B3/007 , B81B2201/031 , B81B2201/036 , B81B2201/052 , Y10T29/42 , Y10T29/49083 , Y10T29/49401
Abstract: 一种热致弯曲致动器(6)，其设置有上支臂(23、25、26)和下支臂(27、28)，它们是非平面的，以便增大支臂的刚度。支臂(23、25、26、27、28)可以彼此横向间隔开，并且在平面图中彼此不重叠，从而使所有支臂能够通过淀积单独一个支臂形成材料层来形成。
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公开(公告)号：CN103765579B
公开(公告)日：2017-10-31
申请号：CN201280032667.9
申请日：2012-06-29
Applicant: 村田电子有限公司
CPC classification number: B81B7/0074 , B81B2201/0235 , B81B2201/025 , B81B2201/0257 , B81B2201/0264 , B81B2201/036 , B81B2207/012 , B81B2207/095 , B81C1/00333 , G01C19/5783 , G01L19/0084 , G01L19/148 , G01P1/023 , G01P1/026 , G01P15/0802 , H01L21/568 , H01L23/528 , H01L23/5389 , H01L24/16 , H01L24/17 , H01L24/19 , H01L24/32 , H01L24/73 , H01L24/83 , H01L24/92 , H01L24/96 , H01L24/97 , H01L25/16 , H01L25/18 , H01L25/50 , H01L27/14618 , H01L2223/6677 , H01L2224/12105 , H01L2224/16145 , H01L2224/16227 , H01L2224/1703 , H01L2224/32145 , H01L2224/32225 , H01L2224/73204 , H01L2224/8312 , H01L2224/8319 , H01L2224/92125 , H01L2224/97 , H01L2924/12042 , H01L2924/14 , H01L2924/1433 , H01L2924/1461 , H01L2924/15311 , H01L2924/181 , H01L2924/18162 , H01L2224/81 , H01L2224/83 , H01L2924/00012 , H01L2924/00
Abstract: 本发明涉及制造系统级封装器件的方法以及系统级封装器件。在该方法中，将至少一个具有预定尺寸的第一类管芯、至少一个具有预定尺寸的第二类管芯以及系统级封装器件的至少一个其它部件包含到系统级封装器件中。选择所述第一类管芯和所述第二类管芯中的至少一者以用于重定尺寸。向所选择的管芯的至少一侧添加材料，使得所添加的材料和所选择的管芯形成重定尺寸的管芯结构。在所述重定尺寸的管芯结构上形成连接层。对所述重定尺寸的管芯结构进行定尺寸，以允许将未被选择的管芯以及所述至少一个其它部件安装成经由所述连接层与所述重定尺寸的管芯结构接触。
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公开(公告)号：CN101282789B
公开(公告)日：2012-10-03
申请号：CN200680037019.7
申请日：2006-10-03
Applicant: 瑞昂尼克公司
CPC classification number: F16K7/12 , B01F5/0683 , B01F5/0688 , B01F11/0071 , B01F13/0059 , B01F2215/0034 , B01L3/502707 , B01L3/50273 , B01L3/502738 , B01L2200/12 , B01L2300/0816 , B01L2300/0861 , B01L2300/0867 , B01L2300/0887 , B01L2400/0481 , B01L2400/0487 , B01L2400/06 , B01L2400/0638 , B01L2400/0655 , B01L2400/084 , B29C65/4895 , B29C66/004 , B29C66/54 , B29C66/5412 , B29C66/71 , B29K2025/00 , B29K2025/04 , B29K2033/08 , B29K2069/00 , B29K2101/12 , B29L2031/7496 , B29L2031/7506 , B29L2031/756 , B81B3/0021 , B81B2201/036 , B81B2201/054 , B81B2203/0127 , B81C1/00103 , B81C1/00158 , F04B43/028 , F04B43/043 , F04B43/06 , F15C1/08 , F16K99/0001 , F16K99/0015 , F16K99/0021 , F16K99/0034 , F16K99/0055 , F16K99/0057 , F16K99/0059 , F16K2099/0074 , F16K2099/0076 , F16K2099/0078 , F16K2099/008 , F16K2099/0084 , F16K2099/0094 , Y10T29/49405 , Y10T137/212 , Y10T137/2202 , Y10T137/2218 , Y10T137/8593 , Y10T137/85978 , Y10T156/1002 , Y10T156/1043 , B29K2033/12 , B29K2025/06
Abstract: 塑料微流体结构具有基本上呈刚性的隔膜，其可在隔膜抵靠于基板的表面上的松弛状态和隔膜从基板移开的致动状态之间致动。如说明书中所描述，形成有这种隔膜的微流体结构提供了容易制造且耐用的系统，以及容易制作诸如阀和泵等部件。
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