公开(公告)号：US07026046B2

公开(公告)日：2006-04-11

申请号：US11104186

申请日：2005-04-12

Applicant: Johannes Edlinger ,  Claus Heine-Kempkens ,  Othmar Züger

Inventor： Johannes Edlinger ,  Claus Heine-Kempkens ,  Othmar Züger

IPC: B32B5/14 ,  B32B3/26 ,  G02B27/28 ,  C23C16/00

CPC classification number: G02B1/118 ,  B01D21/0012 ,  B01D39/2051 ,  B01L3/502707 ,  B01L3/50273 ,  B01L3/502753 ,  B01L3/502761 ,  B01L3/502792 ,  B01L2200/0647 ,  B01L2200/0668 ,  B01L2200/141 ,  B01L2300/0681 ,  B01L2300/0816 ,  B01L2300/0825 ,  B01L2300/16 ,  B01L2400/0406 ,  B01L2400/0409 ,  B01L2400/086 ,  B81B1/002 ,  B81B2201/047 ,  B81B2201/10 ,  B81B2203/0338 ,  B81C1/00119 ,  C23C14/04 ,  C23C14/046 ,  G02B5/1809 ,  G02B5/1847 ,  G02B5/3058 ,  G02B5/3083 ,  G02B2006/12097 ,  Y10S428/913 ,  Y10T428/24612 ,  Y10T428/24942 ,  Y10T428/249953 ,  Y10T428/249961 ,  Y10T428/249975 ,  Y10T428/249977 ,  Y10T428/249979 ,  Y10T428/24998 ,  Y10T428/31678 ,  Y10T436/111666 ,  Y10T436/112499 ,  Y10T436/25375 ,  Y10T436/255

Abstract: An optical component or an analytical platform includes a substrate, an array of microstructures on the substrate and microchannels formed by side walls of adjacent microstructures, a width of the microchannels varies as a function of distance to the substrate, the width continuously decreasing with increasing distance from the substrate within at least one distance-interval. In a method for producing such a component or such a platform a substrate with an array of surface microstructures is coated in a vapor treatment in such a way that shadowing effects of the coating mechanism narrow at least partially a width of the upper parts of side walls of the microstructures thereby forming at least partially embedded microchannels.

Abstract translation: 光学部件或分析平台包括基板，基板上的微结构阵列和由相邻微结构的侧壁形成的微通道，微通道的宽度随着距衬底的距离而变化，宽度随着距离的增加而连续减小 在至少一个距离间隔内的衬底。 在用于制造这种部件或这种平台的方法中，具有表面微结构阵列的基板以蒸气处理方式被涂覆，使得涂覆机构的遮蔽效应至少部分地缩小了侧壁上部的宽度 从而形成至少部分嵌入的微通道。

公开(公告)号：US06884500B2

公开(公告)日：2005-04-26

申请号：US10366095

申请日：2003-02-12

Applicant: Johannes Edlinger ,  Claus Heine-Kempkens ,  Othmar Züger

Inventor： Johannes Edlinger ,  Claus Heine-Kempkens ,  Othmar Züger

IPC: B01D21/00 ,  B01D39/20 ,  B01L3/00 ,  B81B1/00 ,  C23C14/04 ,  G02B5/18 ,  G02B5/30 ,  G02B6/12 ,  B32B5/14 ,  B32B3/26 ,  G02B5/20

CPC classification number: G02B1/118 ,  B01D21/0012 ,  B01D39/2051 ,  B01L3/502707 ,  B01L3/50273 ,  B01L3/502753 ,  B01L3/502761 ,  B01L3/502792 ,  B01L2200/0647 ,  B01L2200/0668 ,  B01L2200/141 ,  B01L2300/0681 ,  B01L2300/0816 ,  B01L2300/0825 ,  B01L2300/16 ,  B01L2400/0406 ,  B01L2400/0409 ,  B01L2400/086 ,  B81B1/002 ,  B81B2201/047 ,  B81B2201/10 ,  B81B2203/0338 ,  B81C1/00119 ,  C23C14/04 ,  C23C14/046 ,  G02B5/1809 ,  G02B5/1847 ,  G02B5/3058 ,  G02B5/3083 ,  G02B2006/12097 ,  Y10S428/913 ,  Y10T428/24612 ,  Y10T428/24942 ,  Y10T428/249953 ,  Y10T428/249961 ,  Y10T428/249975 ,  Y10T428/249977 ,  Y10T428/249979 ,  Y10T428/24998 ,  Y10T428/31678 ,  Y10T436/111666 ,  Y10T436/112499 ,  Y10T436/25375 ,  Y10T436/255

Abstract: An optical component or an analytical platform includes a substrate, an array of microstructures on the substrate and microchannels formed by side walls of adjacent microstructures, a width of the microchannels varies as a function of distance to the substrate, the width continuously decreasing with increasing distance from the substrate within at least one distance-interval. In a method for producing such a component or such a platform a substrate with an array of surface microstructures is coated in a vapor treatment in such a way that shadowing effects of the coating mechanism narrow at least partially a width of the upper parts of side walls of the microstructures thereby forming at least partially embedded microchannels.

公开(公告)号：US20040028875A1

公开(公告)日：2004-02-12

申请号：US10433275

申请日：2003-09-29

Inventor： Cornelis Johannes Maria Van Rijn ,  Laura Vogelaar ,  Wietze Nijdam ,  Jonathan Nathaniel Barsema ,  Matthias Wessling

IPC: B29C039/00

CPC classification number: B01D67/0088 ,  A61F2/06 ,  A61F2002/044 ,  A61F2002/046 ,  A61L27/50 ,  A61L27/56 ,  B01D67/0009 ,  B01D67/0018 ,  B01D67/002 ,  B01D67/0069 ,  B01D67/0072 ,  B01D67/0093 ,  B01D69/00 ,  B01D69/02 ,  B01D69/08 ,  B01D69/12 ,  B01D71/02 ,  B01D71/64 ,  B01D71/68 ,  B01D2323/06 ,  B01D2323/08 ,  B01D2323/30 ,  B01D2325/022 ,  B01D2325/04 ,  B01J19/0093 ,  B01J2219/00783 ,  B01J2219/00824 ,  B01J2219/00833 ,  B01J2219/00835 ,  B01J2219/00844 ,  B01J2219/0086 ,  B01J2219/00864 ,  B01J2219/00907 ,  B01L3/0241 ,  B01L3/5085 ,  B01L2200/12 ,  B01L2300/0819 ,  B29C33/0033 ,  B29C41/08 ,  B29C41/38 ,  B29C67/02 ,  B29K2105/0073 ,  B29L2031/737 ,  B81B2201/10 ,  B81C99/008 ,  B81C2201/0115 ,  B81C2201/034 ,  G01N27/44704 ,  H01L31/18 ,  Y10T428/24

Abstract: Using phase separation technique perforated as well as non-perforated polymeric structures can be made with high aspect ratios (>5). By varying the phase separation process the properties (e.g. porous, non-porous, dense, open skin) of the moulded product can be tuned. Applications are described in the field of micro fluidics (e.g. micro arrays, electrophoretic boards), optics, polymeric solar cells, ball grid arrays, and tissue engineering.

Abstract translation: 使用相分离技术穿孔以及非穿孔聚合物结构可以制成高纵横比（> 5）。 通过改变相分离方法，可以调节模制产品的性质（例如多孔，无孔，致密，开放的皮肤）。 应用在微流体学（例如微阵列，电泳板），光学，聚合太阳能电池，球栅阵列和组织工程领域中描述。

公开(公告)号：US5985328A

公开(公告)日：1999-11-16

申请号：US14727

申请日：1998-01-28

Applicant: Wen-Hua Chu ,  Mauro Ferrari

Inventor： Wen-Hua Chu ,  Mauro Ferrari

IPC: A61K9/00 ,  A61K9/50 ,  A61K9/52 ,  B01D39/16 ,  B01D39/20 ,  B01D67/00 ,  B01D69/02 ,  B01D69/12 ,  B01D71/02 ,  B01J13/02 ,  B81B1/00 ,  B81C1/00 ,  C04B41/45 ,  C23C16/01 ,  G03F7/00 ,  B01D69/10 ,  C23F4/00

CPC classification number: B81C1/00087 ,  A61K9/0024 ,  A61K9/0097 ,  B01D39/1692 ,  B01D39/20 ,  B01D67/0058 ,  B01D67/0062 ,  B01D67/0072 ,  B01D69/02 ,  B01D69/12 ,  B01D71/02 ,  B01J13/02 ,  C04B41/4582 ,  C23C16/01 ,  G03F7/00 ,  G03F7/0015 ,  B01D2325/02 ,  B01D2325/04 ,  B81B2201/10 ,  B81C2201/014 ,  B81C2201/032

Abstract: A microfabricated containment capsule has a bulk substrate delimiting a cavity with a boundary, a first portion of which constitutes an inner wall of a solid portion of the bulk substrate. The bulk substrate also provides at a second portion of the boundary a membrane joined to one side of the bulk substrate, the membrane having at least one porous area with controlled pores.

Abstract translation: 微制造的容纳胶囊具有限定具有边界的空腔的体基底，该边界的第一部分构成本体基底的实心部分的内壁。 本体衬底还在边界的第二部分处提供连接到本体衬底的一侧的膜，所述膜具有至少一个具有受控孔的多孔区域。

公开(公告)号：US5770076A

公开(公告)日：1998-06-23

申请号：US482237

申请日：1995-06-07

Applicant: Wen-Hwa Chu ,  Mauro Ferrari

Inventor： Wen-Hwa Chu ,  Mauro Ferrari

IPC: A61F2/02 ,  A61K9/00 ,  A61K9/50 ,  B01D39/16 ,  B01D39/20 ,  B01D67/00 ,  B01D69/02 ,  B01D69/10 ,  B01D69/12 ,  B01D71/02 ,  B01J13/00 ,  B01J13/02 ,  B81B1/00 ,  B81C1/00 ,  C04B41/45 ,  C23C16/01 ,  G03F7/00 ,  H01L21/205 ,  H01L21/302 ,  H01L21/306 ,  H01L21/3065 ,  H01L21/31 ,  A61K9/52

CPC classification number: A61K9/0097 ,  A61K9/0024 ,  B01D39/1692 ,  B01D39/20 ,  B01D67/003 ,  B01D67/0034 ,  B01D67/0058 ,  B01D67/0062 ,  B01D67/0072 ,  B01D69/02 ,  B01D69/12 ,  B01D71/02 ,  B01J13/02 ,  B81B3/007 ,  B81C1/00087 ,  C04B41/4582 ,  C23C16/01 ,  G03F7/00 ,  G03F7/0015 ,  B01D2325/04 ,  B81B2201/10 ,  B81C2201/014

Abstract: Surface micromachining and bulk micromachining are employed for realizing a porous membrane with bulk support for a microparticle fiter. The filter is sufficiently sturdy to allow for easy handling. It may be used as a diffusion barrier and under high pressures. The disclosed fabrication method is simple, reliable, and integrated-circuit compatible, and thus amenable to mass production. Electronic circuitry may be integrated on the filter surface, as may be desired for several purposes, such as fluid characterization, filter self-cleaning, or charging of the filter surfaces. Methods are shown for the realization of biological containment capsules based on this microfilter.

Abstract translation: 采用表面微机械加工和体积微加工技术来实现用于微粒子的大量支撑的多孔膜。 过滤器足够坚固以便于处理。 它可以用作扩散屏障并在高压下使用。 所公开的制造方法简单，可靠，并且集成电路兼容，因此适合批量生产。 电子电路可以集成在过滤器表面上，如可能需要多种目的，例如流体表征，过滤器自清洁或过滤表面的充电。 显示了基于该微型过滤器实现生物遏制胶囊的方法。

公开(公告)号：WO02092497A3

公开(公告)日：2003-07-24

申请号：PCT/US0214773

申请日：2002-05-10

Applicant: CALIFORNIA INST OF TECHN ,  SCHERER AXEL

Inventor： SCHERER AXEL

IPC: B01D61/18 ,  B01D67/00 ,  B01D69/02 ,  B01D71/02 ,  B81B1/00 ,  F15C5/00 ,  F16K99/00 ,  B01D25/00

CPC classification number: F16K99/0001 ,  B01D61/18 ,  B01D67/0062 ,  B01D69/02 ,  B01D69/12 ,  B01D71/02 ,  B01D71/027 ,  B01D2325/04 ,  B01D2325/26 ,  B01L2400/082 ,  B81B1/004 ,  B81B2201/10 ,  B81C1/00087 ,  B81C2201/019 ,  B82Y30/00 ,  F15C5/00 ,  F16K99/0015 ,  F16K99/0042 ,  F16K99/0051 ,  F16K2099/0074 ,  F16K2099/008 ,  Y10S264/48

Abstract: The invention is a method for fabricating molecular filters (20) which can separate objects approximately 1-5 nm in range, where the filtration size is controlled by using thin films of materials and technologies to form a filtration channel or pore (22) in a middle thin film layer in a multilayered structure. Lithography is used to define two offset arrays of blind holes into the opposing sides of a multi-layer membrane. The blind holes extend across a thin central filtration layer. A selective etch is used to attack the filtration to form a communicating channel between the two holes (10, 12). The only connection between one side of the filter and the other is through the channel in the filter layer, whose thickness, d, determines the largest size object which can traverse the filter.

Abstract translation: 本发明是一种制造分子过滤器（20）的方法，该分离过滤器可以分离大约1-5nm范围内的物体，其中过滤尺寸通过使用材料和技术的薄膜来控制，以形成过滤通道或孔（22） 中间薄膜层在多层结构中。 使用平版印刷术将盲孔的两个偏移阵列定义在多层膜的相对侧中。 盲孔延伸穿过薄的中央过滤层。 使用选择性蚀刻来攻击过滤以在两个孔（10,12）之间形成连通通道。 过滤器一侧之间的唯一连接是通过过滤层中的通道，其厚度d决定可以穿过过滤器的最大尺寸的物体。

公开(公告)号：WO2002092497A2

公开(公告)日：2002-11-21

申请号：PCT/US2002/014773

申请日：2002-05-10

Applicant: CALIFORNIA INSTITUTE OF TECHNOLOGY ,  SCHERER, Axel

Inventor： SCHERER, Axel

IPC: C01B

CPC classification number: F16K99/0001 ,  B01D61/18 ,  B01D67/0062 ,  B01D69/02 ,  B01D69/12 ,  B01D71/02 ,  B01D71/027 ,  B01D2325/04 ,  B01D2325/26 ,  B01L2400/082 ,  B81B1/004 ,  B81B2201/10 ,  B81C1/00087 ,  B81C2201/019 ,  B82Y30/00 ,  F15C5/00 ,  F16K99/0015 ,  F16K99/0042 ,  F16K99/0051 ,  F16K2099/0074 ,  F16K2099/008 ,  Y10S264/48

Abstract: The invention is a method for fabricating molecular filters which can separate objects approximately 1-5 nm in range, where the filtration size is controlled by using thin films of materials and technologies to form a filtration channel or pore in a middle thin film layer in a multilayered structure. Lithography is used to define two offset arrays of blind holes into the opposing sides of a multi-layer membrane. The blind holes extend across a thin central filtration layer. A selective etch is used to attack the filtration layer to form a communicating channel between the two holes. The only connection between one side of the filter and the other is through the channel in the filter layer, whose thickness, d, determines the largest size object which can traverse the filter.

Abstract translation: 本发明是一种制造分子过滤器（20）的方法，该分离过滤器可以分离大约1-5nm范围内的物体，其中过滤尺寸通过使用材料和技术的薄膜来控制，以形成过滤通道或孔（22） 中间薄膜层在多层结构中。 使用平版印刷术将盲孔的两个偏移阵列定义在多层膜的相对侧中。 盲孔延伸穿过薄的中央过滤层。 使用选择性蚀刻来攻击过滤以在两个孔（10,12）之间形成连通通道。 过滤器一侧之间的唯一连接是通过过滤层中的通道，其厚度d决定可以穿过过滤器的最大尺寸的物体。

公开(公告)号：WO1997047370A1

公开(公告)日：1997-12-18

申请号：PCT/US1997010034

申请日：1997-06-11

Applicant: THE REGENTS OF THE UNIVERSITY OF CALIFORNIA

Inventor： THE REGENTS OF THE UNIVERSITY OF CALIFORNIA ,  CHU, Wen-Hwa ,  FERRARI, Mauro

IPC: B01D29/05

CPC classification number: G03F7/0015 ,  A61K9/0024 ,  A61K9/0097 ,  B01D39/1692 ,  B01D39/20 ,  B01D67/0058 ,  B01D67/0062 ,  B01D67/0072 ,  B01D67/0083 ,  B01D69/02 ,  B01D69/12 ,  B01D71/02 ,  B01D2323/08 ,  B01D2323/10 ,  B01D2325/02 ,  B01D2325/04 ,  B01J13/02 ,  B81B3/007 ,  B81B2201/10 ,  B81C1/00087 ,  B81C1/00246 ,  B81C2201/014 ,  B81C2201/032 ,  B81C2203/0728 ,  B81C2203/075 ,  C04B41/4582 ,  C23C16/01 ,  G03F7/00

Abstract: Microfabricated filters (100) utilizing a bulk substrate structure (101) and a thin film structure (103) and a method for constructing such filters (100). The pores (105) of the filters (100) are defined by spaces between the bulk substrate structure (101) and the thin film structure (103) and are of substantially uniform width, length and distribution. The width of the pores (105) is defined by the thickness of a sacrificial layer (not shown) and therefore may be smaller than the limit of resolution obtainable with photolithography. The filters (100) provide enhanced mechanical strength, chemical inertness, biological compatibility, and throughput. The filters (100) are constructed using relatively simple fabrication techniques.

Abstract translation: 利用本体衬底结构（101）和薄膜结构（103）的微制过滤器（100）和用于构造这种过滤器（100）的方法。 过滤器（100）的孔（105）由体基板结构（101）和薄膜结构（103）之间的空间限定，并且具有基本上均匀的宽度，长度和分布。 孔（105）的宽度由牺牲层（未示出）的厚度限定，因此可以小于通过光刻可获得的分辨率的极限。 过滤器（100）提供增强的机械强度，化学惰性，生物相容性和产量。 过滤器（100）使用相对简单的制造技术构造。

公开(公告)号：WO2003069381A2

公开(公告)日：2003-08-21

申请号：PCT/CH2003/000102

申请日：2003-02-12

Applicant: UNAXIS BALZERS LIMITED

Inventor： EDLINGER, Johannes ,  HEINE-KEMPKENS, Claus ,  ZÜGER, Othmar

IPC: G02B5/18

CPC classification number: G02B1/118 ,  B01D21/0012 ,  B01D39/2051 ,  B01L3/502707 ,  B01L3/50273 ,  B01L3/502753 ,  B01L3/502761 ,  B01L3/502792 ,  B01L2200/0647 ,  B01L2200/0668 ,  B01L2200/141 ,  B01L2300/0681 ,  B01L2300/0816 ,  B01L2300/0825 ,  B01L2300/16 ,  B01L2400/0406 ,  B01L2400/0409 ,  B01L2400/086 ,  B81B1/002 ,  B81B2201/047 ,  B81B2201/10 ,  B81B2203/0338 ,  B81C1/00119 ,  C23C14/04 ,  C23C14/046 ,  G02B5/1809 ,  G02B5/1847 ,  G02B5/3058 ,  G02B5/3083 ,  G02B2006/12097 ,  Y10S428/913 ,  Y10T428/24612 ,  Y10T428/24942 ,  Y10T428/249953 ,  Y10T428/249961 ,  Y10T428/249975 ,  Y10T428/249977 ,  Y10T428/249979 ,  Y10T428/24998 ,  Y10T428/31678 ,  Y10T436/111666 ,  Y10T436/112499 ,  Y10T436/25375 ,  Y10T436/255

Abstract: An optical component or an analytical platform includes a substrate, an array of microstructures on the substrate and microchannels formed by side walls of adjacent microstructures, a width of the microchannels varies as a function of distance to the substrate, the width continuously decreasing with increasing distance from the substrate within at least one distance-interval. In a method for producing such a component or such a platform a substrate with an array of surface microstructures is coated in a vapor treatment in such a way that shadowing effects of the coating mechanism narrow at least partially a width of the upper parts of side walls of the microstructures thereby forming at least partially embedded microchannels.

Abstract translation: 光学部件或分析平台包括基板，基板上的微结构阵列和由相邻微结构的侧壁形成的微通道，微通道的宽度作为到基板的距离的函数而变化，宽度随着距离的增加而连续地减小 在至少一个距离间隔内的衬底。 在用于制造这种部件或这种平台的方法中，具有表面微结构阵列的基板以蒸气处理方式被涂覆，使得涂覆机构的遮蔽效应至少部分地缩小了侧壁上部的宽度 从而形成至少部分嵌入的微通道。

公开(公告)号：WO2003045539A1

公开(公告)日：2003-06-05

申请号：PCT/US2002/036724

申请日：2002-11-15

Applicant: THE REGENTS OF THE UNIVERSITY OF CALIFORNIA ,  DOUGHERTY, George, M.

Inventor： DOUGHERTY, George, M.

IPC: B01D63/00

CPC classification number: B81C1/00158 ,  B01D67/0072 ,  B01D71/02 ,  B01D2323/10 ,  B01D2325/02 ,  B01D2325/04 ,  B81B2201/10 ,  B81C2201/0115 ,  B81C2201/017 ,  H01L21/28525 ,  H01L29/16

Abstract: A membrane structure (10) comprising a silicon film of thickness (T) having a grain structure including grains (12) of diameter (D) separated by grooves (14) thereby defining pores (16) with lateral dimension (L) therebetween.

Abstract translation: 一种膜结构（10），其包括厚度（T）的硅膜，其具有包含由凹槽（14）分开的直径（D）的晶粒（12）的晶粒结构，从而限定其间具有横向尺寸（L）的孔（16）。