METHOD AND APPARATUS FOR RELEASE-ASSISTED MICROCONTACT PRINTING OF MEMS
    44.
    发明申请
    METHOD AND APPARATUS FOR RELEASE-ASSISTED MICROCONTACT PRINTING OF MEMS 审中-公开
    用于微机械辅助微型打印的方法和装置

    公开(公告)号:WO2013033032A2

    公开(公告)日:2013-03-07

    申请号:PCT/US2012/052549

    申请日:2012-08-27

    CPC classification number: B81C1/00373 B81C2201/0185 B81C2201/0194

    Abstract: The disclosure provides methods and apparatus for release-assisted microcontact printing of MEMS. Specifically, the principles disclosed herein enable patterning diaphragms and conductive membranes on a substrate having articulations of desired shapes and sizes. Such diaphragms deflect under applied pressure or force (e.g., electrostatic, electromagnetic, acoustic, pneumatic, mechanical, etc.) generating a responsive signal. Alternatively, the diaphragm can be made to deflect in response to an external bias to measure the external bias/phenomenon. The disclosed principles enable transferring diaphragms and/or thin membranes without rupturing.

    Abstract translation: 本公开提供了用于MEMS的释放辅助微接触印刷的方法和装置。 具体来说,本文公开的原理使得能够在具有所需形状和尺寸的关节的基底上形成膜片和导电膜。 这种隔膜在施加的压力或力(例如,静电,电磁,声学,气动,机械等)下偏转,产生响应信号。 或者,可以使隔膜响应于外部偏置而偏转以测量外部偏置/现象。 所公开的原理使得能够在不破裂的情况下传送膜片和/或薄膜。

    METHOD FOR PRINTING A NANOSTRUCTURE AND/OR MICROSTRUCTURE, STAMP AND SUBSTRATE
    46.
    发明申请
    METHOD FOR PRINTING A NANOSTRUCTURE AND/OR MICROSTRUCTURE, STAMP AND SUBSTRATE 审中-公开
    印刷纳米和/或微结构,印花和基材的方法

    公开(公告)号:WO2009037030A3

    公开(公告)日:2009-06-04

    申请号:PCT/EP2008059579

    申请日:2008-07-22

    Inventor: MAY JOHANNA

    Abstract: The invention relates to a method for printing a nanostructure and/or microstructure (5) on a substrate (1) having a three-dimensional macro-surface (6). The method is characterized in that a substance (12, 13) is applied having a three-dimensional stamp macro-surface (10), the shape of which matches the macro-surface (2) of the substrate (1) at least in some sections and which is provided with a stamp nanostructure and/or microstructure (10), and the stamp (4) is positioned relative to a substrate (1), and the stamp (4) and substrate (1) are brought together, thus printing the substance (12, 13) as a nanostructure and/or microstructure (5) onto the substrate (1). The invention further relates to a stamp (4) for carrying out the method, and to a substrate (1) produced with said method.

    Abstract translation: 本发明涉及一种用于在具有三维宏观表面(6)的基板(1)上印刷纳米和/或微结构(5)的方法。 该方法的特征在于,通过用施加的物质(12,13),至少部分地,向宏表面(2)的基板(1)的全等三维戳设置有管芯纳米宏观表面(10)和 /或微结构(10)设置,并且所述冲头(4)的相对定位到基板(1)和合并标记(4)和基材(1),由此所述物质(12,13)的印刷为纳米和/ 或基板(1)上的微结构(5)。 此外,本发明涉及用于执行该方法的印模(4)和由该方法生产的基板(1)。

    SYSTEMS AND METHODS FOR NANOMATERIAL TRANSFER
    47.
    发明申请
    SYSTEMS AND METHODS FOR NANOMATERIAL TRANSFER 审中-公开
    用于纳米转移的系统和方法

    公开(公告)号:WO2007053202A3

    公开(公告)日:2007-07-26

    申请号:PCT/US2006023391

    申请日:2006-06-16

    Abstract: Systems and methods of nanomaterial transfer are described. A method of nanomaterial transfer involving fabricating a template and synthesizing nanoparticles on the template. Subsequently, the nanoparticles are transferred to a substrate by pressing the template onto the substrate. In some embodiments, the step of transferring the nanoparticles involves pressing the template onto the substrate such that the nanoparticles are embedded below a surface layer of the substrate. In some embodiments, the temperature of the plurality of nanoparticles is raised to assist the transfer of the nanoparticles to the substrate.

    Abstract translation: 描述了纳米材料转移的系统和方法。 一种纳米材料转移的方法,涉及制造模板并在模板上合成纳米颗粒。 随后,通过将模板压在基板上而将纳米粒子转移到基板上。 在一些实施方案中,转移纳米颗粒的步骤涉及将模板压制到基材上,使得纳米颗粒嵌入在基材的表面层下面。 在一些实施方案中,多个纳米颗粒的温度升高以有助于纳米颗粒转移到基底。

    VERFAHREN ZUM AUFDRUCKEN EINER NANO- UND/ODER MIKROSTRUKTUR, STEMPEL SOWIE SUBSTRAT
    50.
    发明申请
    VERFAHREN ZUM AUFDRUCKEN EINER NANO- UND/ODER MIKROSTRUKTUR, STEMPEL SOWIE SUBSTRAT 审中-公开
    方法印刷一个nano和/或微结构,标记和衬底

    公开(公告)号:WO2009037030A2

    公开(公告)日:2009-03-26

    申请号:PCT/EP2008/059579

    申请日:2008-07-22

    Inventor: MAY, Johanna

    Abstract: Die Erfindung betrifft ein Verfahren zum Aufdrucken einer Nano-und/oder Mikrostruktur (5) auf ein Substrat (1) mit einer dreidimensionalen Makro-Oberfläche (6). Das Verfahren ist gekennzeichnet durch Aufbringen einer Substanz (12, 13) mit einer, zumindest abschnittsweise, zur Makro-Oberfläche (2) des Substrates (1) formkongruenten dreidimensionalen Stempel-Makro-Oberfläche (10), die mit einer Stempel-Nano- und/oder Mikrostruktur (10) versehen ist, und Positionieren des Stempels (4) relativ zu einem Substrat (1) und Zusammenführen von Stempel (4) und Substrat (1) und dadurch Aufdrucken der Substanz (12, 13) als Nano-und/oder Mikrostruktur (5) auf das Substrat (1). Ferner betrifft die Erfindung einen Stempel (4) zur Durchführung des Verfahrens sowie ein mit dem Verfahren hergestelltes Substrat (1).

    Abstract translation: 本发明涉及一种用于在衬底上印刷一纳米和/或微结构(5)(1)具有三维宏观面(6)。 该方法的特征在于,通过用施加的物质(12,13),至少部分地,向宏表面(2)的基板(1)的全等三维戳设置有管芯纳米宏观表面(10)和 /或微结构(10)设置,并且所述冲头(4)的相对定位到基板(1)和合并标记(4)和基材(1),由此所述物质(12,13)的印刷为纳米和/ 或微结构(5)在衬底(1)上。 此外,本发明涉及一种用于执行该方法和由该方法衬底(1)制成的产品的印模(4)。

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