用于制造微机械部件的方法和微机械部件

    公开(公告)号:CN104843635B

    公开(公告)日:2018-11-23

    申请号:CN201510086498.2

    申请日:2015-02-17

    Inventor: D·哈贝雷尔

    Abstract: 本发明涉及一种用于制造微机械部件的方法以及一种微机械部件。方法包括以下步骤:提供具有第一外表面和第二外表面的衬底,第二外表面背离第一外表面;构造穿过衬底从衬底的第一外表面直到衬底的第二外表面的通孔;在衬底的第二外表面上安装光学功能层,其中,光学功能层遮盖通孔;在衬底的第一外表面处如此移除衬底的第一区段,使得形成相对于衬底的第二外表面倾斜的第三外表面,第三外表面背离衬底的第二外表面,其中,倾斜的第三外表面包围通孔;通过分离衬底的具有通孔的第一部分和光学功能层的安装在第一部分处的第二部分与衬底的剩余部和光学功能层的剩余部来分离微机械部件。

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