公开(公告)号：EP1779481A2

公开(公告)日：2007-05-02

申请号：EP05762327.4

申请日：2005-06-17

Applicant: Cymer, Inc.

Inventor： RAFAC, Robert, J. ,  SMITH, Scot, T.

IPC: H01S3/22 ,  H01S3/08

CPC classification number: G01J3/02 ,  G01J1/4257 ,  G01J3/0205 ,  G01J3/027 ,  G01J3/0291 ,  G01J3/0297 ,  G01J3/1256 ,  G01J3/26 ,  G01J9/02 ,  G01J2009/0249 ,  G01J2009/0257 ,  G02B5/04 ,  G02B5/284 ,  G02B27/48 ,  G03F7/70025 ,  G03F7/70583 ,  H01S3/005

Abstract: A method and apparatus for producing with a gas discharge laser an output laser beam comprising output laser light pulses, for delivery as a light source to a utilizing tool is disclosed which may comprise a beam path ( 80 ) and a beam homogenizer ( 60 ) in the beam path.

公开(公告)号：EP0612976B1

公开(公告)日：1997-01-29

申请号：EP93119046.6

申请日：1993-11-25

Applicant: JENOPTIK Aktiengesellschaft

Inventor： Dammann, Ehrhard ,  Bauer, Jürgen

IPC: G01B9/02 ,  G01J9/02

CPC classification number: G01B9/02051 ,  G01B9/0201 ,  G01B9/02028 ,  G01B9/02083 ,  G01B2290/45 ,  G01J9/02 ,  G01J9/04 ,  G01J2001/4242 ,  G01J2009/0249

公开(公告)号：EP0252496B1

公开(公告)日：1994-09-07

申请号：EP87109805.9

申请日：1987-07-07

Applicant: THE PERKIN-ELMER CORPORATION

Inventor： Crane, Robert, Jr.

IPC: G01J9/02 ,  G01S3/78

CPC classification number: G01J9/02 ,  G01J3/26 ,  G01J9/0246 ,  G01J2003/1243 ,  G01J2009/0211 ,  G01J2009/0249 ,  G01S3/782

公开(公告)号：EP0612976A2

公开(公告)日：1994-08-31

申请号：EP93119046.6

申请日：1993-11-25

Applicant: JENOPTIK GmbH

Inventor： Dammann, Ehrhard ,  Bauer, Jürgen

IPC: G01B9/02 ,  G01J9/02

CPC classification number: G01B9/02051 ,  G01B9/0201 ,  G01B9/02028 ,  G01B9/02083 ,  G01B2290/45 ,  G01J9/02 ,  G01J9/04 ,  G01J2001/4242 ,  G01J2009/0249

Abstract: Die Erfindung betrifft ein phasemoduliertes Interferometer mit neuartiger Ansteuerung und Signalaufbereitung.
Die Aufgabe, bei einem phasenmodulierten Interferometer ohne komplizierte Sägezahnansteuerung des Phasenmodulators (2) zu auswertefähigen Überlagerungssignalen zu gelangen, wird erfindungsgemäß gelöst, indem dem bekannten Phasenmodulator (2) zwei sinusförmgie Ansteuersignale mit den Modulationsfrequenzen (ω₁, ω ₂), die phasen- und frequenzstarr gekoppelt sind, zugeführt werden und aus dem im Interferometer erzeugten Überlagerungssignal mit einem elektronischen Bandpaßfilter (8), bei dessen Filterfrequenz (ω F ) eine ungeradzahlige und eine geradzahlige Harmonische der zwei Modulationsfrequenzen (ω₁, ω₂) die gleiche Frequenz aufweisen, ein in üblicher Weise zur Auswertung der Phasenverschiebung verwendetes Kosinussignal ausgefiltert wird, wenn die Amplituden (φ₁, φ ₂) der Ansteuersignale die Bedingung für den geeigneten Arbeitspunkt des Phasenmodulators (2) erfüllen.
Die Erfindung findet Anwendung in phasenmodulierten Interferometern, insbesondere für Präzisionslängenmeßgeräte mit vorzugsweise heterodynem Auswerteverfahren.

Abstract translation: 本发明涉及具有新型驱动和信号调理的相位调制干涉仪。 根据本发明，通过向已知的相位调制器（2）馈送两个具有调制频率的正弦驱动信号，实现了在相位调制干涉仪中实现可评估外差信号的目的，而无需对相位调制器（2）进行复杂锯齿控制 （ω1，ω2），其以锁相和频率锁定的方式耦合，并且通过使用滤波器频率（ω-F）的电子带通滤波器（8），其中两者的奇偶谐波 调制频率（ω1，ω2）具有相同的频率以从干涉仪中产生的外差信号中滤除出余弦信号，该余弦信号以正常方式用于评估相移，当幅度（phi 1，phi 2 ）满足相位调制器（2）的合适工作点的条件。 本发明适用于相位调制干涉仪，特别是用于具有优选外差评估方法的精密长度测量仪器。

公开(公告)号：EP0252496A3

公开(公告)日：1989-07-26

申请号：EP87109805.9

申请日：1987-07-07

Applicant: THE PERKIN-ELMER CORPORATION

Inventor： Crane, Robert, Jr.

IPC: G01J9/02 ,  G01S3/78

CPC classification number: G01J9/02 ,  G01J3/26 ,  G01J9/0246 ,  G01J2003/1243 ,  G01J2009/0211 ,  G01J2009/0249 ,  G01S3/782

Abstract: An imaging coherent radiometer incorporating a Fabry-­Perot interferometer which is scanned or nutated, for detecting and determining location and wavelength of coherent radiation or the coherent absence of radiation in the presence of non-coherent ambient radiation.