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公开(公告)号:CN103969853B
公开(公告)日:2016-06-01
申请号:CN201310046771.X
申请日:2013-02-05
Applicant: 北京京东方光电科技有限公司
IPC: G02F1/13 , G02F1/1335 , G02F1/1362 , G02B5/20
CPC classification number: G02F1/1309 , G01N21/958 , G01N2021/9513 , G01N2201/062 , G01R31/02 , G02F1/136259 , G02F2001/136254 , G02F2001/136268 , G09G3/006 , H01L2225/06596
Abstract: 本发明提供一种阵列基板,包括设置在基板上的待检测结构,所述待检测结构的下方设置有用于检测待检测结构是否断开的附加层,所述附加层的颜色与待检测结构的颜色不同并且图案形状一致。本发明还提供了一种用于上述阵列基板的检测方法和检测装置。通过本发明的阵列基板及其检测方法和检测装置,可以实现对阵列基板生产过程中出现的断开型不良的早期检测,从而可以尽早实现不良原因的发现和消除,提高生产效率和产品良率。
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公开(公告)号:CN105136673A
公开(公告)日:2015-12-09
申请号:CN201510281734.6
申请日:2015-05-28
Applicant: 阿自倍尔株式会社
CPC classification number: G01N15/1434 , G01N15/1459 , G01N21/05 , G01N21/51 , G01N21/53 , G01N35/00623 , G01N2015/1068 , G01N2021/4702 , G01N2021/4769 , G01N2201/0612 , G01N2201/062
Abstract: 本发明提供一种可容易地判定流动池是否被液体所充满的液体中粒子检测装置以及液体中粒子的检测方法。该液体中粒子检测装置包括:液体流动的流动池(1);向流动池(1)照射检查光的光源(2);对在照射了检查光的区域产生的散射光进行检测的散射光检测器(5);以及判定部(301),在不到规定的时间检测到散射光的情况下,判定为液体中含有粒子;而在规定的时间以上检测到散射光的情况下,则判定为流动池未被所述液体充满。
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公开(公告)号:CN104972079A
公开(公告)日:2015-10-14
申请号:CN201510171965.1
申请日:2015-04-13
Applicant: 方达雷克斯公司
Inventor: K.鲍姆加特纳 , Y.G.L.胡古伊宁-沃尔了明
CPC classification number: G01N21/3554 , B22C9/067 , B22D17/145 , B22D17/2007 , B22D17/32 , B29C45/34 , B29C45/76 , B29C2945/7614 , B29C2945/76254 , G01N21/15 , G01N21/3504 , G01N21/359 , G01N21/85 , G01N2021/151 , G01N2021/354 , G01N2021/8416 , G01N2021/8578 , G01N2201/024 , G01N2201/062 , G01N2201/0622 , G01N2201/0626 , G01N2201/064
Abstract: 本发明涉及一种用于测量压铸模具(24)中的水分的装置(1)和方法,所述压铸模具(24)的型腔(25)经由排气通道(31)连接至排气装置(28)。所述装置(1)的模块化组件可连接至所述排气通道(31)并且包括传感器组件(S),利用所述传感器组件(S)可测量从所述模具型腔(25)排出的气体的水分。所述传感器组件(S)包括发射电磁辐射的发射器(7)和检测电磁辐射的检测器(14)。基于在所述排气动作期间获得的测量数值,可以确定在实际的铸造动作之前是否需要更改被喷射到所述模具型腔(25)中的水/脱模剂混合物的量。
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公开(公告)号:CN104937395A
公开(公告)日:2015-09-23
申请号:CN201480005048.X
申请日:2014-01-14
Applicant: 皇家飞利浦有限公司
CPC classification number: G01N21/3151 , A61B5/0507 , A61B5/082 , A61M2016/102 , A61M2016/103 , A61M2205/3313 , G01J3/108 , G01J3/28 , G01J3/42 , G01N21/274 , G01N21/3504 , G01N21/359 , G01N33/497 , G01N2021/3181 , G01N2021/8578 , G01N2201/0612 , G01N2201/062
Abstract: 通过红外光谱法执行气体测量,气体测量检测器被配置为监测在可呼吸气流的流路径(18)内的气体分子种类的水平,所述流路径(18)与对象的气道连通。除了使用单个源(20)来生成参考的电磁辐射以及测量波长,近红外电磁辐射源(22)被用于生成参考电磁辐射。所述检测器包括:第一源(20),其被配置为发射中红外电磁辐射;第二源(22),其被配置为发射近红外电磁辐射;源光学器件(24),其被配置为将由所述第一源和第二源发射的中红外电磁辐射和近红外电磁辐射组合成同轴射束,以及引导所述同轴射束穿过所述流路径(18);传感器光学器件(38),其被配置为接收已经贯穿所述流路径(18)的所述同轴射束中的电磁辐射,以及将接收到的电磁辐射分成第一辐射和第二辐射,其中,所述第一辐射包括中红外电磁辐射,所述第二辐射包括近红外电磁辐射;第一辐射传感器(40),其被配置为接收所述第一辐射,并且生成传达与在所述第一辐射中的所述中红外电磁辐射的参数有关的信息的输出信号;第二辐射传感器(42),其被配置为接收所述第二辐射,并且生成传达与在所述第二辐射中的所述近红外电磁辐射的参数有关的信息的输出信号;以及处理器(36),其被配置为,基于由所述第一辐射传感器(40)和所述第二辐射传感器(42)生成的所述输出信号,确定在所述流路径中所述可呼吸气流内的气体分子种类的水平,使得由所述第二辐射传感器(42)生成的所述输出信号被实施为补偿通过所述流路径的光损耗。优选地基于通过所述源(20)的电阻的测量补偿了所述源(20)的辐照度的波动,所述源(20)在测量波长处生成电磁辐射。
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公开(公告)号:CN104833655A
公开(公告)日:2015-08-12
申请号:CN201510209603.7
申请日:2010-05-03
Applicant: 爱克斯崔里斯科技有限公司
IPC: G01N21/53
CPC classification number: G01N21/53 , F21K9/00 , G01N15/0205 , G01N15/10 , G01N15/1434 , G01N15/1459 , G01N21/538 , G01N2201/061 , G01N2201/062 , G01N2201/0621 , G01N2201/0627 , G01N2201/0633 , G01N2201/0696
Abstract: 本发明涉及一种微粒探测器(10),包括光源(32)、接收器(34)和目标(36),它们协作以探测受监控区域(38)中的微粒。所述目标(36)将入射光(40)反射,使得反射光(32)返回接收器(34)。接收器(34)是能够在横过其视场中的多个点记录和报告光强的接收器。在优选的形式中,探测器(10)发射第一波段中的第一光束(3614)、第二波段中的第二光束(3618)和第三波段中的第三光束(3616),其中所述第一和第二波段基本是相同的并且与所述第三波段不同。
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公开(公告)号:CN104777168A
公开(公告)日:2015-07-15
申请号:CN201510020858.9
申请日:2015-01-15
Applicant: 康宁精密素材株式会社
Inventor: 成始澔
CPC classification number: H04N5/2256 , G01N21/896 , G01N21/9503 , G01N21/958 , G01N2201/062 , G01N2201/105 , H01L21/67288
Abstract: 一种用于检测基板的边缘的设备可以检测基板的边缘部分的缺陷或倒角宽度。第一直角棱镜和第二直角棱镜被设置在所述边缘部分的上方和下方,使得该第一直角棱镜的倾斜表面和该第二直角棱镜的倾斜表面朝向所述边缘部分的上表面和下表面。发光部件用光照射所述基板的边缘部分。拍摄部件被设置为邻近所述边缘部分。所述拍摄部件由已经通过所述第一直角棱镜的光拍摄所述边缘部分的上表面的图像,由已经通过所述第二直角棱镜的光拍摄所述边缘部分的下表面的图像,并拍摄所述边缘部分的端表面的图像。
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公开(公告)号:CN104685970A
公开(公告)日:2015-06-03
申请号:CN201380050996.0
申请日:2013-09-13
Applicant: 吉坤日矿日石能源株式会社
CPC classification number: G01N21/956 , G01B11/30 , G01N21/4738 , G01N21/88 , G01N21/958 , G01N2201/062 , H01L22/12 , H01L51/5268 , H01L51/56
Abstract: 一种检查具有凹凸表面的基板P的装置102,其具有:对基板P照射第一检测光的第一照射系统(114、116);从被第一检测光照射的基板的整个凹凸表面上检测亮度不均的第一检测系统(112);对基板照射具有与第一检测光不同的波长的第二检测光的第二照射系统(124、126);和检测被第二检测光照射的基板的凹凸表面的缺陷的第二检测系统(122)。本发明提供有效且低成本地对具有不规则凹凸表面的基板的亮度不均和局部的图案缺陷这两者进行检查的检查装置及检查方法。
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公开(公告)号:CN104412098A
公开(公告)日:2015-03-11
申请号:CN201380035976.6
申请日:2013-07-05
Applicant: BT成像股份有限公司
IPC: G01N21/64
CPC classification number: G01N21/6489 , G01N21/6456 , G01N21/9501 , G01N2021/646 , G01N2201/062 , G01R31/2656
Abstract: 提出了随着半导体材料沿生产线前进时使用利用线扫描技术获取的光致发光图像分析半导体材料的方法和系统。可分析光致发光图像以获得关于所述材料的一种或多种特性的空间分辨信息,诸如横向电荷载流子传输、缺陷和裂缝的存在。在一个优选实施方式中,该方法和系统用于获得硅光伏电池的串联电阻图像,而无需与样品电池进行电接触。
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公开(公告)号:CN102439423B
公开(公告)日:2014-12-10
申请号:CN200980159238.6
申请日:2009-03-11
CPC classification number: G01N21/33 , G01N21/15 , G01N21/274 , G01N2021/151 , G01N2021/3513 , G01N2021/536 , G01N2201/062
Abstract: 本发明涉及一种用于连续监测气流的装置和方法,包括一个光学传感器,该光学传感器通过计算在253.7nm+/-0.05nm波长范围处的紫外光的吸收来监控和/或测量烟气中的汞(Hg)含量。因此,本装置提供了,例如,一个窄谱的紫外光源,一个汞灯。宽谱的紫外光源包括紫外发光二极管(UV LED)。提供一个2×2的耦合器以将传播通过气流的窄谱紫外光能和宽谱紫外光能混合。本发明认识到在254nm+/-1.5nm波长范围处的辐射吸收的测量不仅能够获得烟气中汞的含量,也能获得烟气中SO2的含量。为了补偿二氧化硫,测量在253.7nm+/-0.05nm波长范围的窄谱辐射能量的能量吸收以及波长在254nm+/-20nm的相对宽谱的范围处的紫外光的能量吸收,识别出在排放的烟气中的二氧化硫倾向于吸收较宽的紫外区的紫外光。计算较宽范围的紫外光的吸收来提供一个校正因子,该校正因子被用于校正对窄的辐射能量范围的能量吸收值,为由于汞的存在而导致的吸收提供更加精确的测量。
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公开(公告)号:CN103917293A
公开(公告)日:2014-07-09
申请号:CN201280027963.X
申请日:2012-04-06
Applicant: 斯多克斯生物有限公司
Inventor: 毛罗·阿关诺 , 布莱恩·巴雷特 , 布莱恩·查乌克 , 基兰·科伦 , 达米安·柯廷 , 特拉·道尔顿 , 马克·戴维斯 , 候晓娜 , 大卫·基那汗 , 达米安·金 , 马克·克伦克 , 康纳·麦卡锡 , 大卫·麦奎勒 , 迈克尔·塞耶斯 , 诺埃尔·瑟尔 , 赖安·塔尔波特
CPC classification number: C12Q1/686 , B01F13/0005 , B01F13/0071 , B01F15/00214 , B01L3/502715 , B01L3/502784 , B01L7/52 , B01L7/525 , B01L2200/143 , B01L2300/06 , B01L2300/0654 , B01L2300/0867 , G01N21/6428 , G01N35/00623 , G01N2021/6439 , G01N2021/6441 , G01N2035/00465 , G01N2201/062
Abstract: 本文提供了一种生物检测系统及使用方法,其中生物检测系统包括用于结合至少两种液体微滴的至少一个混合器或液桥以及用于检测是否已发生两个成分液体正确混合或结合的错误校正系统。
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