用于监测感兴趣的气体种类的水平的方法和装置

    公开(公告)号:CN104937395A

    公开(公告)日:2015-09-23

    申请号:CN201480005048.X

    申请日:2014-01-14

    Abstract: 通过红外光谱法执行气体测量,气体测量检测器被配置为监测在可呼吸气流的流路径(18)内的气体分子种类的水平,所述流路径(18)与对象的气道连通。除了使用单个源(20)来生成参考的电磁辐射以及测量波长,近红外电磁辐射源(22)被用于生成参考电磁辐射。所述检测器包括:第一源(20),其被配置为发射中红外电磁辐射;第二源(22),其被配置为发射近红外电磁辐射;源光学器件(24),其被配置为将由所述第一源和第二源发射的中红外电磁辐射和近红外电磁辐射组合成同轴射束,以及引导所述同轴射束穿过所述流路径(18);传感器光学器件(38),其被配置为接收已经贯穿所述流路径(18)的所述同轴射束中的电磁辐射,以及将接收到的电磁辐射分成第一辐射和第二辐射,其中,所述第一辐射包括中红外电磁辐射,所述第二辐射包括近红外电磁辐射;第一辐射传感器(40),其被配置为接收所述第一辐射,并且生成传达与在所述第一辐射中的所述中红外电磁辐射的参数有关的信息的输出信号;第二辐射传感器(42),其被配置为接收所述第二辐射,并且生成传达与在所述第二辐射中的所述近红外电磁辐射的参数有关的信息的输出信号;以及处理器(36),其被配置为,基于由所述第一辐射传感器(40)和所述第二辐射传感器(42)生成的所述输出信号,确定在所述流路径中所述可呼吸气流内的气体分子种类的水平,使得由所述第二辐射传感器(42)生成的所述输出信号被实施为补偿通过所述流路径的光损耗。优选地基于通过所述源(20)的电阻的测量补偿了所述源(20)的辐照度的波动,所述源(20)在测量波长处生成电磁辐射。

    用于检测基板的边缘的设备

    公开(公告)号:CN104777168A

    公开(公告)日:2015-07-15

    申请号:CN201510020858.9

    申请日:2015-01-15

    Inventor: 成始澔

    Abstract: 一种用于检测基板的边缘的设备可以检测基板的边缘部分的缺陷或倒角宽度。第一直角棱镜和第二直角棱镜被设置在所述边缘部分的上方和下方,使得该第一直角棱镜的倾斜表面和该第二直角棱镜的倾斜表面朝向所述边缘部分的上表面和下表面。发光部件用光照射所述基板的边缘部分。拍摄部件被设置为邻近所述边缘部分。所述拍摄部件由已经通过所述第一直角棱镜的光拍摄所述边缘部分的上表面的图像,由已经通过所述第二直角棱镜的光拍摄所述边缘部分的下表面的图像,并拍摄所述边缘部分的端表面的图像。

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