反射式电光装置和电子设备

    公开(公告)号:CN1434337A

    公开(公告)日:2003-08-06

    申请号:CN03100710.4

    申请日:2003-01-21

    Inventor: 二村徹

    Abstract: 提供借助预先使凹凸形成层的下层侧的状态均一化,在利用光刻技术形成凹凸形成层时,凹凸形状上不会产生不均一的反射式电光装置和电子设备。在反射式电光装置的TFT阵列基板(10)中,用来把凹凸图形赋予在光反射膜(8a)上的凹凸形成层(13a),采用对感光性树脂(13)进行半曝光、显影和加热的办法形成。由于在凹凸形成层(13a)的下层侧,高低差、台阶已借助高低差消除膜(3f)被消除,故可以适当地对感光性树脂(13)进行曝光。另外,由于高低差已消除,感光性树脂(13)的厚度不均一度小,故凹凸形状的不均一度也较小。

    板状体的研磨方法及研磨装置

    公开(公告)号:CN105856061B

    公开(公告)日:2019-06-11

    申请号:CN201610211042.9

    申请日:2012-03-12

    CPC classification number: B24B37/10 B24B37/26 G02F1/1303 G02F2201/48

    Abstract: 本发明涉及一种板状体的研磨方法及研磨装置,使板状体保持部件和研磨工具相对靠近,从而通过上述研磨工具研磨由上述板状体保持部件所保持的上述板状体,其中,上述板状体保持部件保持板状体的非研磨面,并且进行公转及自转的某一个动作,上述研磨工具在对上述板状体的研磨面进行研磨的面上具有沿着一个方向的多个槽,并且该研磨工具进行公转及自转的另一个动作,在所述板状体的研磨方法中,独立控制上述板状体保持部件及上述研磨工具的上述公转动作及上述自转动作,在上述板状体的研磨过程中,变更上述自转的角速度。

    板状体的研磨方法及研磨装置

    公开(公告)号:CN105798767B

    公开(公告)日:2018-01-30

    申请号:CN201610211050.3

    申请日:2012-03-12

    CPC classification number: B24B37/10 B24B37/26 G02F1/1303 G02F2201/48

    Abstract: 本发明涉及一种板状体的研磨方法及研磨装置,使板状体保持部件和研磨工具相对靠近,从而通过上述研磨工具研磨由上述板状体保持部件所保持的上述板状体,其中,上述板状体保持部件保持板状体的非研磨面,并且进行公转及自转的某一个动作,上述研磨工具在对上述板状体的研磨面进行研磨的面上具有沿着一个方向的多个槽,并且该研磨工具进行公转及自转的另一个动作,在所述板状体的研磨方法中,独立控制上述板状体保持部件及上述研磨工具的上述公转动作及上述自转动作,在上述板状体的研磨过程中,变更上述自转的角速度。

    显示面板的制造方法
    46.
    发明授权

    公开(公告)号:CN102667894B

    公开(公告)日:2015-02-04

    申请号:CN201080058446.X

    申请日:2010-12-06

    Inventor: 池田正晖

    CPC classification number: G02F1/1333 G02F2201/48

    Abstract: 提供为了降低显示面板的电流泄漏所造成的不良品的显示面板的制造方法。显示面板的制造方法使用在基板的主表面上形成有多个层的部件来制造显示面板,当将上述多个层中残存于最终制品的各层从离上述主表面近的层起依次称为第1结构层、第2结构层、第3结构层、…、第n结构层时,针对满足1≤k≤n-1的所有的k,分别包括:形成第k结构层的工序(S(k,1));以及在形成上述第k结构层的工序之后、在形成第k+1结构层的工序之前,通过研磨上述第k结构层的上表面来对其进行平坦化的工序(S(k,3)),还包括:形成第n结构层的工序(S(n,1));以及通过研磨上述第n结构层的上表面来对其进行平坦化的工序(S(n,3))。

    显示面板的制造方法
    50.
    发明公开

    公开(公告)号:CN102667894A

    公开(公告)日:2012-09-12

    申请号:CN201080058446.X

    申请日:2010-12-06

    Inventor: 池田正晖

    CPC classification number: G02F1/1333 G02F2201/48

    Abstract: 提供为了降低显示面板的电流泄漏所造成的不良品的显示面板的制造方法。显示面板的制造方法使用在基板的主表面上形成有多个层的部件来制造显示面板,当将上述多个层中残存于最终制品的各层从离上述主表面近的层起依次称为第1结构层、第2结构层、第3结构层、…、第n结构层时,针对满足1≤k≤n-1的所有的k,分别包括:形成第k结构层的工序(S(k,1));以及在形成上述第k结构层的工序之后、在形成第k+1结构层的工序之前,通过研磨上述第k结构层的上表面来对其进行平坦化的工序(S(k,3)),还包括:形成第n结构层的工序(S(n,1));以及通过研磨上述第n结构层的上表面来对其进行平坦化的工序(S(n,3))。

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