公开(公告)号：JP6741879B2

公开(公告)日：2020-08-19

申请号：JP2019555242

申请日：2018-04-10

Applicant: エーエスエムエル ネザーランズ ビー.ブイ.

Inventor： ディヌ−ギュルトラー,ローラ ,  ホーゲルフォルスト,エリック ペトルス ,  ヴァン ゾースト,ユルゲン

IPC: H01J1/92 ,  H01J37/04 ,  H01J37/248 ,  H01L21/027 ,  H01J1/88

公开(公告)号：JPS51113357U

公开(公告)日：1976-09-14

申请号：JP3218475

申请日：1975-03-10

IPC: H01J1/92

公开(公告)号：JPS5031768A

公开(公告)日：1975-03-28

申请号：JP8093373

申请日：1973-07-23

IPC: H01J1/92 ,  H01J9/18

公开(公告)号：JPS495241Y1

公开(公告)日：1974-02-07

申请号：JP10866669

申请日：1969-11-14

IPC: H01J1/88 ,  H01J1/92 ,  H01J17/48

公开(公告)号：JPS4217122Y1

公开(公告)日：1967-10-03

申请号：JP164365

申请日：1965-01-13

IPC: H01J1/88 ,  H01J1/92

公开(公告)号：JPS5520632B2

公开(公告)日：1980-06-04

申请号：JP6789874

申请日：1974-06-13

IPC: H01J3/02 ,  H01J1/88 ,  H01J1/92 ,  H01J29/04 ,  H01J29/50

公开(公告)号：JPS5331726Y2

公开(公告)日：1978-08-07

申请号：JP2049074

申请日：1974-02-19

IPC: H01J1/88 ,  H01J1/92 ,  H01J29/02 ,  H01J29/48 ,  H01J29/50

公开(公告)号：JPS5153864U

公开(公告)日：1976-04-24

申请号：JP12752674

申请日：1974-10-21

IPC: H01J1/94 ,  H01J1/20 ,  H01J1/92

公开(公告)号：JPS50110151U

公开(公告)日：1975-09-09

申请号：JP2049074

申请日：1974-02-19

IPC: H01J1/88 ,  H01J1/92 ,  H01J29/02 ,  H01J29/48 ,  H01J29/50

公开(公告)号：JPS5036462U

公开(公告)日：1975-04-17

申请号：JP8905473

申请日：1973-07-26

IPC: H01J1/92 ,  H01J29/02 ,  H01J31/15