公开(公告)号：TW200703535A

公开(公告)日：2007-01-16

申请号：TW095102972

申请日：2006-01-26

Applicant: 卡斯凱德微科技公司 CASCADE MICROTECH, INC.

Inventor： 安德魯 ANDREWS, PETER ,  赫斯 HESS, DAVID ,  紐羅伯特 NEW, ROBERT

IPC: H01L

CPC classification number: G01R31/2893

Abstract: 本案揭示一種系統,包含像化元件,可供探針有效定位,以便測試半導體晶圓。

Abstract in simplified Chinese: 本案揭示一种系统,包含像化组件,可供探针有效定位,以便测试半导体晶圆。

公开(公告)号：TW200517668A

公开(公告)日：2005-06-01

申请号：TW093132073

申请日：2004-10-22

Applicant: 卡斯凱德微科技公司 CASCADE MICROTECH, INC.

Inventor： 雷斯赫 LESHER, TIMOTHY E.

IPC: G01R

CPC classification number: G01R35/005 ,  G01R1/06772

Abstract: 本發明係關於探針裝置用之校正結構，尤指改進校正結構，可供抑制校正結構基片造成的不良電磁模態。

Abstract in simplified Chinese: 本发明系关于探针设备用之校正结构，尤指改进校正结构，可供抑制校正结构基片造成的不良电磁模态。

公开(公告)号：TW200506378A

公开(公告)日：2005-02-16

申请号：TW093114360

申请日：2004-05-21

Applicant: 卡斯凱德微科技公司 CASCADE MICROTECH, INC.

Inventor： 格利生 GLEASON, K. REED ,  雷斯赫 LESHER, TIM ,  史提德 STRID, ERIC W. ,  安德魯 ANDREWS, MIKE ,  馬丁 MARTIN, JOHN ,  丹克里 DUNKLEE, JOHN ,  海登 HAYDEN, LEONARD ,  沙瓦特 SAFWAT, AMR M.E.

IPC: G01R

Abstract: 一種探針測量系統，可以高頻率測量積體電路或其他微電子元件之電氣特性。

Abstract in simplified Chinese: 一种探针测量系统，可以高频率测量集成电路或其他微电子组件之电气特性。

公开(公告)号：TW200504916A

公开(公告)日：2005-02-01

申请号：TW093114359

申请日：2004-05-21

Applicant: 卡斯凱德微科技公司 CASCADE MICROTECH, INC.

Inventor： 斯提瓦特 STEWART, CRAIG ,  羅爾德 LORD, ANTHONY ,  斯賓塞 SPENCER, JEFF ,  柏克漢 BURCHAM, TERRY ,  麥克肯恩 MCCANN, PETER ,  詹斯 JONES, RODD ,  丹克里 DUNKLEE, JOHN ,  雷斯赫 LESHER, TIM ,  紐頓 NEWTON, DAVID

IPC: H01L

CPC classification number: G01R31/2887

Abstract: 一種夾頭，含有導電性元件，可與在夾頭上位置的測試中元件接觸。

Abstract in simplified Chinese: 一种夹头，含有导电性组件，可与在夹头上位置的测试中组件接触。

公开(公告)号：TW200424542A

公开(公告)日：2004-11-16

申请号：TW093112109

申请日：2004-04-30

Applicant: 卡斯凱德微科技公司 CASCADE MICROTECH, INC.

Inventor： 丹克里 DUNKLEE, JOHN

IPC: G01R

CPC classification number: G01R31/2886

Abstract: 一種探測總成，具有開關，可例如將克耳文(Kelvin)接頭或懸護元件與探測總成選擇性接電。

Abstract in simplified Chinese: 一种探测总成，具有开关，可例如将克耳文(Kelvin)接头或悬护组件与探测总成选择性接电。

公开(公告)号：TWI628441B

公开(公告)日：2018-07-01

申请号：TW106110833

申请日：2017-03-30

Applicant: 加斯凱德微科技公司 ,  CASCADE MICROTECH, INC.

Inventor： 麥克穆倫 提姆 艾倫 ,  MCMULLEN, TIMOTHY ALLEN ,  雪普勒 傑夫 艾倫 ,  SHEPLER, JEFFERY ALLAN ,  范德 吉爾森 肯特 ,  VANDER GIESSEN, CLINT

IPC: G01R1/067 ,  H01L21/66

公开(公告)号：TWI623742B

公开(公告)日：2018-05-11

申请号：TW105143178

申请日：2016-12-26

Applicant: 加斯凱德微科技公司 ,  CASCADE MICROTECH, INC.

Inventor： 泰赫 麥寇 ,  TEICH, MICHAEL ,  克斯威特 尤格 ,  KIESEWETTER, JOERG ,  亥克斯 武夫 ,  HACKIUS, ULF ,  茲爾 法蘭克 ,  ZILL, FRANK ,  揆赫 米可 ,  KREHER, MIRKO

IPC: G01N25/62 ,  H01L21/66

公开(公告)号：TWI597502B

公开(公告)日：2017-09-01

申请号：TW105108953

申请日：2016-03-23

Applicant: 加斯凱德微科技公司 ,  CASCADE MICROTECH, INC.

Inventor： 賽門斯 麥克E ,  SIMMONS, MICHAEL E. ,  波爾特 布萊恩 康瑞德 ,  BOLT, BRYAN CONRAD ,  史壯姆 克里斯多弗 安東尼 ,  STORM, CHRISTOPHER ANTHONY ,  根岸一樹 ,  NEGISHI, KAZUKI ,  佛蘭克爾 約瑟夫 喬治 ,  FRANKEL, JOSEPH GEORGE ,  英格蘭 古柏 羅比 ,  INGRAM-GOBLE, ROBBIE

IPC: G01R1/067

CPC classification number: G01R1/18 ,  G01R1/06705 ,  G01R31/2849

公开(公告)号：TWI575243B

公开(公告)日：2017-03-21

申请号：TW104105962

申请日：2015-02-25

Applicant: 加斯凱德微科技公司 ,  CASCADE MICROTECH, INC.

Inventor： 根岸一樹 ,  NEGISHI, KAZUKI ,  希爾 艾瑞克 ,  HILL, ERIC

IPC: G01R31/28

CPC classification number: G01R31/2601 ,  G01R31/2889

公开(公告)号：TW201321759A

公开(公告)日：2013-06-01

申请号：TW101133656

申请日：2012-09-14

Applicant: 加斯凱德微科技公司 ,  CASCADE MICROTECH, INC.

Inventor： 達克沃斯 寇比L ,  DUCKWORTH, KOBY L. ,  希爾 艾瑞克 ,  HILL, ERIC ,  裘莉 麥克 ,  JOLLEY, MIKE ,  舒爾茲 庫特 ,  SCHULTZ, KURT ,  柯堤斯 裘蒂 ,  CURTIS, JODY

IPC: G01R1/073

CPC classification number: G01R1/07378 ,  G01R3/00 ,  H05K1/11 ,  H05K3/4046 ,  H05K2201/0379 ,  H05K2201/10378

Abstract: 茲揭示包含有複數個高長寬比的電氣管路之分隔件，以及製造及/或使用該等分隔件及/或該等高長寬比的電氣管路之系統和方法。該等系統和方法係可包含將該複數個高長寬比的電氣管路併入一個大致上平面的本體之內部，該本體係可包含一個固態介電材料及/或經形成自該固態介電材料。該複數個電氣管路係可經組態設定以在該本體的一個第一表面和該本體中大致上相對的一個第二表面之間傳導複數個電流。該等表面係可包含複數個接觸銲墊，其係經組態設定以提供一個強健及/或抗腐蝕表面，及/或以在該分隔件和另一元件之間改善電氣接觸。該等分隔件係亦可包含一個分層式結構，其中的各個層係循序地被形成，以增加該分隔件的一個厚度及/或該等電氣管路的長寬比。

Abstract in simplified Chinese: 兹揭示包含有复数个高长宽比的电气管路之分隔件，以及制造及/或使用该等分隔件及/或该等高长宽比的电气管路之系统和方法。该等系统和方法系可包含将该复数个高长宽比的电气管路并入一个大致上平面的本体之内部，该本体系可包含一个固态介电材料及/或经形成自该固态介电材料。该复数个电气管路系可经组态设置以在该本体的一个第一表面和该本体中大致上相对的一个第二表面之间传导复数个电流。该等表面系可包含复数个接触焊垫，其系经组态设置以提供一个强健及/或抗腐蚀表面，及/或以在该分隔件和另一组件之间改善电气接触。该等分隔件系亦可包含一个分层式结构，其中的各个层系循序地被形成，以增加该分隔件的一个厚度及/或该等电气管路的长宽比。