公开(公告)号：TW201725393A

公开(公告)日：2017-07-16

申请号：TW105108953

申请日：2016-03-23

Applicant: 加斯凱德微科技公司 ,  CASCADE MICROTECH, INC.

Inventor： 賽門斯 麥克E ,  SIMMONS, MICHAEL E. ,  波爾特 布萊恩 康瑞德 ,  BOLT, BRYAN CONRAD ,  史壯姆 克里斯多弗 安東尼 ,  STORM, CHRISTOPHER ANTHONY ,  根岸一樹 ,  NEGISHI, KAZUKI ,  佛蘭克爾 約瑟夫 喬治 ,  FRANKEL, JOSEPH GEORGE ,  英格蘭 古柏 羅比 ,  INGRAM-GOBLE, ROBBIE

IPC: G01R1/067

CPC classification number: G01R1/18 ,  G01R1/06705 ,  G01R31/2849

Abstract: 本文揭示屏蔽式探針系統。所述探針系統被組構成用以測試一待測裝置(device under test；DUT)並包含至少局部地界限一封閉體積的一測量室、由該測量室界定之一開孔、一探測組件、以及一屏蔽結構。該探測組件包含一探針、一探針臂、和一操縱器，該探針在該封閉體積之內被調設方位，該探針臂被可操作地附接至該探針，而該操縱器被可操作地附接至該探針臂。該探測組件的至少一部分延伸通過該開孔。該屏蔽結構延伸於該測量室與該探測組件之間，且被組構成用以約束流體流動通過該開孔並針對圍繞該測量室的一周遭環境蔽護該封閉體積，同時在一探針臂移動區間之內維持與該探針臂相距至少一臨限分隔距離。

Abstract in simplified Chinese: 本文揭示屏蔽式探针系统。所述探针系统被组构成用以测试一待测设备(device under test；DUT)并包含至少局部地界限一封闭体积的一测量室、由该测量室界定之一开孔、一探测组件、以及一屏蔽结构。该探测组件包含一探针、一探针臂、和一操纵器，该探针在该封闭体积之内被调设方位，该探针臂被可操作地附接至该探针，而该操纵器被可操作地附接至该探针臂。该探测组件的至少一部分延伸通过该开孔。该屏蔽结构延伸于该测量室与该探测组件之间，且被组构成用以约束流体流动通过该开孔并针对围绕该测量室的一周遭环境蔽护该封闭体积，同时在一探针臂移动区间之内维持与该探针臂相距至少一临限分隔距离。

公开(公告)号：TWI597502B

公开(公告)日：2017-09-01

申请号：TW105108953

申请日：2016-03-23

Applicant: 加斯凱德微科技公司 ,  CASCADE MICROTECH, INC.

Inventor： 賽門斯 麥克E ,  SIMMONS, MICHAEL E. ,  波爾特 布萊恩 康瑞德 ,  BOLT, BRYAN CONRAD ,  史壯姆 克里斯多弗 安東尼 ,  STORM, CHRISTOPHER ANTHONY ,  根岸一樹 ,  NEGISHI, KAZUKI ,  佛蘭克爾 約瑟夫 喬治 ,  FRANKEL, JOSEPH GEORGE ,  英格蘭 古柏 羅比 ,  INGRAM-GOBLE, ROBBIE

IPC: G01R1/067

CPC classification number: G01R1/18 ,  G01R1/06705 ,  G01R31/2849