直角位相低減バネを有するMEMSジャイロ
    59.
    发明专利
    直角位相低減バネを有するMEMSジャイロ 有权
    具有减速弹簧的MEMS陀螺仪

    公开(公告)号:JP2016095313A

    公开(公告)日:2016-05-26

    申请号:JP2015243808

    申请日:2015-12-15

    CPC classification number: G01C19/56 G01C19/5712

    Abstract: 【課題】エッチング角度誤差に対する感度を低減し、直角位相誤差の影響を低減したMEMSジャイロを提供する。 【解決手段】浮遊駆動質量114を、x軸およびy軸と同一面内の振動運動を伴ってz軸を中心に振動させる駆動モータ112と、浮遊駆動質量114を浮遊駆動質量112と同心の中間浮遊質量122に接続する複数の駆動バネ124であって、各駆動バネ124は、z軸に対して斜めのエッチング角度を有する断面であっても、所望の共振モードおよび一貫して低い直角位相誤差を維持するバネセット構成とする。 【選択図】図2

    Abstract translation: 要解决的问题:提供MEMS陀螺仪,其允许降低对蚀刻角误差的灵敏度并减少正交误差的影响。解决方案:MEMS陀螺仪包括:驱动马达112,其被配置为使振荡器绕z轴摆动 在具有x轴和y轴的平面中运动; 以及多个驱动弹簧124,其将悬挂的驱动质量块114连接到与悬挂的驱动质量块112同心的中间悬挂质量122,具有保持期望的共振模式和始终如一的低正交误差的弹簧组构型,即使每个驱动弹簧124具有 横截面具有相对于z轴倾斜的蚀刻角。选择图:图2

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