광학식 검사 방법
    51.
    发明公开
    광학식 검사 방법 有权
    用于光学视觉检查的装置和用于光学视觉检查的方法

    公开(公告)号:KR1020070115064A

    公开(公告)日:2007-12-05

    申请号:KR1020060048881

    申请日:2006-05-30

    Abstract: An optical apparatus and an optical method are provided to reduce specular reflection points on a target surface by adjusting the wavelength of light exposed to the target surface such that a light saturation region on the target surface is reduced. An optical apparatus comprises a lighting member(1) for irradiating a reference lattice pattern onto a target surface, an imaging member(3) for photographing an image reflected from the target surface and an analyzing member(4) for comparing the photographed image with the reference image. The lighting member includes a plurality of light sources(11a,11b,11c), a plurality of band pass filters(111,112,113) installed on the light sources, a lattice member(12), a projecting optical system(13) for condensing light from the light sources and a reflection mirror(14).

    Abstract translation: 提供了一种光学装置和光学方法,通过调节暴露于目标表面的光的波长使得目标表面上的光饱和区域减小来减少目标表面上的镜面反射点。 光学装置包括用于将参考点阵图案照射到目标表面上的照明构件(1),用于拍摄从目标表面反射的图像的成像构件(3)和用于将拍摄图像与 参考图像。 照明构件包括多个光源(11a,11b,11c),安装在光源上的多个带通滤光器(111,112,113),格栅构件(12),用于会聚光源的投影光学系统(13) 光源和反射镜(14)。

    반도체 소자의 비전 검사 시스템
    52.
    发明授权
    반도체 소자의 비전 검사 시스템 有权
    반도체소자의비전검사시스템

    公开(公告)号:KR100740251B1

    公开(公告)日:2007-07-18

    申请号:KR1020060043900

    申请日:2006-05-16

    Abstract: A system for a vision test of a semiconductor device is provided to improve work efficiency by automatically displaying the image analysis result of the semiconductor device on a monitor to check the result photographing the corresponding semiconductor device. A system for a vision test of a semiconductor device includes a tester(1), a reject tray(2), a docking station(3), and an auxiliary computer(4). The tester(1) photographs an image of the semiconductor device, analyzes the image, and classifies the normal semiconductor device into an unloading tray, and the defective semiconductor device into the reject tray(2) loaded in a reject stacker(17). The reject tray(2) is detachably installed in the reject stacker(17). The docking station(2) has the detachable reject tray(2) separated from the reject stacker(17). The auxiliary computer(4) communicates with the tester(1), receives the list and image of the inferior semiconductor device from the tester(1), and displays the received image on a monitor(41).

    Abstract translation: 通过在监视器上自动显示半导体器件的图像分析结果以检查拍摄相应半导体器件的结果,提供了用于半导体器件的视觉测试的系统以提高工作效率。 一种用于半导体器件的视觉测试的系统,包括测试器(1),拒绝托盘(2),对接站(3)和辅助计算机(4)。 测试器(1)拍摄半导体器件的图像,分析图像,并且将正常半导体器件分类为卸载托盘,并将缺陷半导体器件分类到装载在拒绝堆叠器(17)中的拒绝托盘(2)中。 拒收托盘(2)可拆卸地安装在拒收堆积箱(17)中。 对接站(2)具有与剔除堆垛机(17)分离的可拆卸剔除托盘(2)。 辅助计算机(4)与测试器(1)通信,从测试器(1)接收劣质半导体器件的列表和图像,并且将所接收的图像显示在监视器(41)上。

    반도체 소자의 검사 방법
    53.
    发明授权
    반도체 소자의 검사 방법 有权
    半导体器件检测方法

    公开(公告)号:KR100705643B1

    公开(公告)日:2007-04-09

    申请号:KR1020050048576

    申请日:2005-06-07

    CPC classification number: G06T7/001 G06T2207/30148 H01L22/20 H01L2924/014

    Abstract: 본 발명은 반도체 소자의 외형 이상 유무를 검사하는 방법에 관한 것으로, 특히 반도체 소자의 볼 또는 인쇄 회로 기판의 외형적 결함 유무 검사의 정확성을 향상시키도록 하는 반도체 소자의 검사 방법에 관한 것이다.
    이를 위하여 본 발명은, 카메라로 촬상된 영상을 통해 인쇄 회로 기판에 실장된 볼 그리드 어레이의 결함 유무를 판단하는 반도체 소자의 검사 방법에 있어서, 상기 반도체 소자 상에 구비된 볼의 둘레가 하얗게 나타나도록 촬상하고 촬상된 영상을 통해 낙사 영상 정보를 획득하는 단계와; 상기 반도체 소자 상에 구비된 볼의 중심 영역이 하얗게 나타나도록 촬상하고 촬상된 영상을 통해 동축 영상 정보를 획득하는 단계와; 상기 낙사 영상 정보에서 동축 영상 정보를 빼 볼에 대한 환형 영상 정보를 획득하는 단계와; 상기 환형 영상 정보를 기 설정된 기준 영상 정보와 비교하여 볼의 결함 여부를 판단하는 단계를 포함하여 이루어진다.
    환형 영상, 이진화, 동축 영상, 낙사 영상

    반도체검사장치의 로딩부 적층 안내 장치
    54.
    发明公开
    반도체검사장치의 로딩부 적층 안내 장치 有权
    半导体检测装置装载指南装置

    公开(公告)号:KR1020070012001A

    公开(公告)日:2007-01-25

    申请号:KR1020050066777

    申请日:2005-07-22

    Abstract: A loading guide apparatus of a semiconductor inspection apparatus is provided to accurately and rapidly adjust a position of a slant mount with respect to a tray by using a fastening unit, when an operation error is detected during a vision inspection process. A semiconductor inspection apparatus includes a loading unit having a normal guide unit and a slant guide unit(5). The normal guide corresponds to rectangular edges of a tray, such that trays are mounted on the loading unit in the same direction. The slant guide unit corresponds to one of slant edges of the tray. The slant guide unit is configured, such that a slant mount(52) is horizontally moved when a fastening unit(53) is fastened or released. The slant mount covers a cut portion of the tray according to a cut size of the tray, which is loaded on the loading unit. The slant guide unit includes a vertical unit, a slant unit, and a fastening unit.

    Abstract translation: 半导体检查装置的装载引导装​​置被设置成当在视觉检查过程中检测到操作错误时,通过使用紧固单元来准确地并且快速地调整倾斜安装件相对于托盘的位置。 半导体检查装置包括具有正常导向单元和倾斜导向单元(5)的装载单元。 正常引导件对应于托盘的矩形边缘,使得托盘沿着相同的方向安装在加载单元上。 倾斜导向单元对应于托盘的一个倾斜边缘。 倾斜导向单元构造成使得当紧固单元(53)被紧固或释放时,倾斜安装件(52)水平移动。 根据装载在装载单元上的托盘的切割尺寸,倾斜安装件覆盖托盘的切割部分。 倾斜导向单元包括垂直单元,倾斜单元和紧固单元。

    반도체 패키지의 분류 방법
    55.
    发明授权
    반도체 패키지의 분류 방법 有权
    반도체패키지의분류방법

    公开(公告)号:KR100638313B1

    公开(公告)日:2006-10-25

    申请号:KR1020050106156

    申请日:2005-11-07

    Abstract: A method for sorting semiconductor packages is provided to enhance a sorting speed and to improve the yield by replacing simultaneously a good semiconductor package and a bad semiconductor package. An unloading picker with a plurality of picker heads is transferred onto a buffer tray and all the picker heads except only one picker head pick up good semiconductor packages from the buffer tray(S200). The unloading picker is transferred onto an unloading tray and a bad semiconductor package is removed from a pocket of the unloading tray(S210). At this time, the good semiconductor package of the unloading picker is filled in the pocket.

    Abstract translation: 提供了一种用于分拣半导体封装的方法,以通过同时替换好的半导体封装和不良的半导体封装来提高分拣速度并提高产量。 将具有多个拾取器头的卸载拾取器转移到缓冲盘上,并且除了仅一个拾取器头之外的所有拾取器头从缓冲盘拾取良好的半导体封装(S200)。 将卸载拾取器转移到卸载托盘上,并从卸载托盘的口袋中取出不良半导体封装(S210)。 此时,卸载拾取器的良好半导体封装被填充在口袋中。

    반도체 소자 검사장치 및 그를 이용한 반도체 소자의 분류 방법
    56.
    发明公开
    반도체 소자 검사장치 및 그를 이용한 반도체 소자의 분류 방법 有权
    半导体器件检查设备和使用其的半导体器件分类方法

    公开(公告)号:KR1020060087850A

    公开(公告)日:2006-08-03

    申请号:KR1020050008710

    申请日:2005-01-31

    CPC classification number: H01L22/20 G01N21/8806 G01N21/95

    Abstract: 본 발명은 비전 검사에 의해 외관이 정상품으로 판정된 반도체 소자를 트레이에 분류함과 동시에 검사장치에 부착된 테이프 앤 릴 장치를 사용하여 테이프에 마운팅하는 방법 및 반도체 소자 검사장치에 관한 것이다.
    본 발명은 반도체 소자를 트레이에 수납하여 검사를 수행한 후, 검사가 완료된 반도체 소자를 수납한 트레이를 버퍼 및 언로딩부로 이송하고; 언로딩부로 이송된 트레이에 수납된 반도체 소자에서 불량품이 발견되지 않으면, 검사가 완료된 반도체 소자를 수납한 트레이를 언로딩부에 계속 적재함과 동시에, 버퍼로 이송된 트레이에 수납된 반도체 소자 중 정상품을 픽업하여 테이핑 장치의 캐리어 테이프 내부에 마운팅하는 테이프 앤 릴 공정을 진행하고; 언로딩부에 이송된 트레이에 수납된 반도체 소자에서 불량품이 발견되면, 그 불량품을 불량품 저장부의 트레이로 이송하고, 상기 버퍼에 임시 보관된 트레이에 수납된 반도체 소자 중에서 정상품을 이송하여 상기 불량품이 빠져나간 빈자리에 채워넣는 것이다.
    반도체, 검사, 패키지, 트레이, 테이프 앤 릴

    Abstract translation: 本发明涉及一种方法及半导体器件测试装置,并在同一时间作为半导体元件的分类来确定通过使用附连到所述检查装置,用于安装一个带的带与卷盘的设备托盘上的视觉检查是信息项的外部。

    스테레오비전과 모아레를 이용한 3차원 검사 방법 및 장치
    57.
    发明授权
    스테레오비전과 모아레를 이용한 3차원 검사 방법 및 장치 有权
    通过莫尔和立体视觉进行三维检测的方法和装置

    公开(公告)号:KR100558325B1

    公开(公告)日:2006-03-10

    申请号:KR1020030067590

    申请日:2003-09-29

    Abstract: 본 발명은 스테레오비전과 모아레를 이용한 3차원 검사 방법 및 장치에 관한 것으로, 보다 상세하게는 칩의 사전 불량검사시 모아레 3차원형상 측정이 지니는 모호성의 한계로 검출되지 않는 180도 이상의 큰 휨 정도 및 위상값을 갖는 패캐지의 리드에 대한 불량 검출이 가능하여 상기 모호성의 한계를 극복할 수 있도록 한 모아레 3차원형상 측정에 의한 스테레오 칩 검사방법에 관한 것으로서, 이는 측정물에 모아레 무늬를 주사하여 이동시키면서 여러개의 모아레 무늬를 얻은 후, 이들 정보로부터 패캐지의 각 리드 높이를 구하는 제1 단계와; 스테레오 비젼으로부터 패캐지의 각 리드 높이를 구하는 제2 단계와; 두 측정결과에 대해 각각 이웃하는 측정값 사이의 차이를 구하는 제3 단계와; 격자무늬가 형성하는 한 주기( )에 해당하는 높이 값을 파장( )라고 할때, 측정값들의 실제 차수를 구하는 제4 단계와; 상기 제4 단계에 의해 구한 차수를 이용하여 최종적인 측정값을 구하는 제5 단계;와로 이루어지고, 광원(21)으로부터 발생한 광을 집광렌즈(22)로 집광하여 투영격자(23)와 투영렌즈(24)를 통해 측정대상물(1)에 투영시키는 광투영부(2)와; 상기 측정대상물(1)로부터 결상렌즈(31) 및 CCD 카메라(32)를 통해 변형된 격자 줄무늬 형태의 영상을 획득하는 제1 수광부(3)와; 상기 측정대상물(1)로부터 결상렌즈(41) 및 스테레오 비젼용 카메라(42)를 통해 측정대상물(1)의 영상을 획득하는 제2 수광부(4)와;로 구성됨으로써 칩의 사전 불량검사시 모아레 3차원 형상 측정이 지니는 모호성의 한계로 검출되지 않는 180도 이상의 큰 휨 정도 및 위상값을 갖는 패캐지의 리드에 대한 불량 검출이 가능하여 상기 모호성의 한계를 극복할 수 있고, 이로인해 칩의 사전 불량검사의 정확성을 확보할 수 있는 효과를 갖게 된다.
    모아레, 스테레오

    촬상 영상 고속 포획장치 및 그 방법
    58.
    发明授权
    촬상 영상 고속 포획장치 및 그 방법 有权
    用于快速捕获扫描图像的装置和方法

    公开(公告)号:KR100495120B1

    公开(公告)日:2005-06-14

    申请号:KR1020020058562

    申请日:2002-09-26

    CPC classification number: G06K9/2027 H04N5/2354 H04N5/335

    Abstract: 본 발명은 CCD 카메라로부터 촬상된 영상을 고속으로 포획(capture)하기 위한 장치 및 그 방법에 관한 것으로, 본 발명에 따른 촬상 영상 고속 포획장치는,
    촬상영역에 놓인 피사체를 촬상하여 출력하는 CCD 카메라와; 상기 CCD 카메라에서 출력되는 프레임 인에이블신호 검출시마다 조명제어신호를 발생하는 동기신호 발생부와; 상기 조명제어신호에 따라 촬상영역 주변의 서로 다른 위치에 놓인 조명등을 점등 제어하는 조명 컨트롤러와; 상기 프레임 인에이블신호 검출시마다 상기 CCD 카메라에서 출력되는 영상을 포획하여 영상신호 처리부로 전송하는 영상 포획부;를 포함함을 특징으로 한다.

    납형상 3차원 측정기
    59.
    发明授权
    납형상 3차원 측정기 有权
    납형상3차원측정기

    公开(公告)号:KR100424442B1

    公开(公告)日:2004-03-24

    申请号:KR1020010074611

    申请日:2001-11-28

    Inventor: 임쌍근

    Abstract: PURPOSE: A lead shape three-dimensional measuring device is provided to be capable of seizing an efficiency and a reliability by rapidly measuring a lead shape of a printed circuit board using a mechanical device. CONSTITUTION: A probe(3) is supported by a supporter(4) at a top of an upper base plate of a main body(1). A pair of support tables(41,42) are formed upward of the main body, and both sides of the supporter are supported by the support tables. A stage(5) which has a pair of substrate support tables(65,65A) for fixing a printed circuit board(50) at both sides is provided on the base plate. An X-axis driving part(6) interlocking with an X-axis regulating nob(76) is provided in the base plate. A Z-axis driving part(8) interlocking with the X-axis regulating nob is provided between the probe(3) and the supporter(4).

    Abstract translation: 目的:通过使用机械装置快速测量印刷电路板的引线形状,提供引线形三维测量装置以能够获得效率和可靠性。 构成:探头(3)由支撑件(4)支撑在主体(1)的上基板的顶部。 一对支撑台(41,42)形成在主体的上方,支撑架的两侧由支撑台支撑。 具有用于在两侧固定印刷电路板(50)的一对基板支撑台(65,65A)的台(5)设置在基板上。 在底板上设有与X轴限制凸块(76)连动的X轴驱动部(6)。 在探头(3)与支架(4)之间设有Z轴驱动部(8),该Z轴驱动部(8)与X轴调节杆联动。

    경사단면 광섬유 광원을 이용한 피조 간섭계
    60.
    发明授权
    경사단면 광섬유 광원을 이용한 피조 간섭계 有权
    경사단면광섬유광원을이용피조간섭계

    公开(公告)号:KR100422378B1

    公开(公告)日:2004-03-11

    申请号:KR1020020002305

    申请日:2002-01-15

    Abstract: PURPOSE: A Fizeau interferometer using an oblique section fiber light source is provided to improve the reliability of measuring results by removing beam splitting elements from a measuring wavefront. CONSTITUTION: A Fizeau interferometer includes a single mode fiber(12), a laser generator(11) for outputting beams to the single mode fiber, a collimator for converting the light of the laser generator to the parallel light, a reference plate(17) for transmitting and reflecting the parallel light to a target(18) in order to generate a reference wavefront, and a CCD camera(14) for detecting an interference fringe of the reference wavefront. The Fizeau interferometer further includes an oblique section fiber light source which is coupled to the single mode fiber. A beam split coating layer is formed on an oblique section of the oblique section fiber light source.

    Abstract translation: 目的:提供使用斜截面光纤光源的斐索干涉仪,通过从测量波前去除分束元件来提高测量结果的可靠性。 本发明提供了一种Fizeau干涉仪,包括单模光纤(12),用于向单模光纤输出光束的激光发生器(11),用于将激光发生器的光转换为平行光的准直器,基准板(17) 用于将平行光传输和反射到目标(18)以便产生参考波阵面,以及CCD相机(14),用于检测参考波阵面的干涉条纹。 斐索干涉仪还包括耦合到单模光纤的斜截面光纤光源。 在斜截面光纤光源的斜截面上形成分束涂层。

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