公开(公告)号：CN105271660A

公开(公告)日：2016-01-27

申请号：CN201510724104.1

申请日：2015-10-31

Applicant: 中北大学

Inventor： 贾平岗 ,  房国成 ,  熊继军 ,  梁庭 ,  谭秋林 ,  唐军 ,  洪应平 ,  陈晓勇 ,  薛晨阳 ,  刘俊 ,  张文栋

IPC: C03B23/07

Abstract: 本发明为一种微型石英球壳结构，包括中空的石英球形壳体，在石英球形壳体的尾部连接有中空的石英管，石英球形壳体与石英管连接相通，石英球形壳体的直径为微米级至纳米级；其制备方法为：将石英管首尾两端切平；石英管的首端连接带有微流阀门的高气压系统、末端固定在光纤熔接机上；调节光纤熔接机放电强度、时间、次数，将石英管的末端端面熔为密闭状态；调整高气压系统气压大小，调节光纤熔接机放电强度、时间、次数，即可获得尺寸不同的石英球形壳体。本发明成本低廉，制备工艺简单，无需大型仪器，可获得一种尺寸可以调节的微型石英球壳结构，球壳球形度良好。

公开(公告)号：CN103499344B

公开(公告)日：2016-01-20

申请号：CN201310306600.6

申请日：2013-07-22

Applicant: 中北大学

Inventor： 闫树斌 ,  郑永秋 ,  薛晨阳 ,  任勇峰 ,  李圣昆 ,  张文栋 ,  刘俊 ,  焦新泉 ,  安盼龙 ,  张蔚云 ,  张建辉 ,  李小枫

IPC: G01C19/64

Abstract: 本发明涉及高灵敏度谐振式光学陀螺，具体为一种双谐振腔谐振式光学陀螺，包括隔离准直芯片可调谐光源Laser、第一耦合器C1、多功能集成光学调制器、第三耦合器C3、第二耦合器C2、第四耦合器C4、主谐振腔、第一光电探测器PD1、第一锁相放大器LIA1、第二光电探测器PD2、第二锁相放大器LIA2，反馈控制电路FBC，还包括其内中心位置设有欧姆结的环状的辅谐振腔、温控模块和第五耦合器C5，主谐振腔上在和输入口相对的位置还设有输出口，第五耦合器C5的输入端和主谐振腔的输出口接触，第五耦合器C5的输出端和辅谐振腔的输入口接触，温控模块通过MEMS工艺制作的导线和欧姆结连接，解决了谐振式光学陀螺灵敏度不高的问题。

公开(公告)号：CN104297949A

公开(公告)日：2015-01-21

申请号：CN201410416956.X

申请日：2014-08-22

Applicant: 中北大学

Inventor： 薛晨阳 ,  李艳娜 ,  张文栋 ,  梁庭 ,  韦丽萍 ,  王飞 ,  王永华

IPC: G02F1/035

CPC classification number: G02F1/035

Abstract: 本发明为一种基于高Q环形谐振腔的石墨烯电光调制器，包括高Q环形谐振系统，在其环形波导上取周长的一部分覆盖制作双层石墨烯薄膜调制系统，双层石墨烯薄膜调制系统包括底层电介质层、底层石墨烯、中间电介质层和顶层石墨烯，在顶层石墨烯和底层石墨烯之间加入电压V(t)。本发明调制器集成了石墨烯宽带吸收、载流子迁移率高等材料优势和高Q值环形光学谐振腔的光程放大的结构优势，在增加调制深度的同时，通过缩减石墨烯面积来减小RC延迟的方式增加最大调制频率，从而解决目前直波导石墨烯调制器中存在的调制深度和调制带宽此消彼长的两难问题。预期实现的3dB带宽可达100GHz以上。

公开(公告)号：CN104216111A

公开(公告)日：2014-12-17

申请号：CN201410532691.X

申请日：2014-10-11

Applicant: 中北大学

Inventor： 王任鑫 ,  丑修建 ,  薛晨阳 ,  张文栋 ,  刘俊 ,  熊继军 ,  简泽明 ,  刘梦然 ,  郭靖 ,  刘源 ,  曾瑞

IPC: G02B26/08

Abstract: 本发明涉及微角锥反射镜，具体是一种角度可调的微角锥反射镜阵列结构及其制造方法。本发明解决了现有微角锥反射镜的制造方法因组装工艺限制而无法确保微角锥反射镜的成品率和工作性能的问题。一种角度可调的微角锥反射镜阵列结构，包括正方形硅基片、正方形二氧化硅层、铂钛下电极层、正方形铂钛底镜、PZT压电驱动悬臂梁、PZT平衡梁、铂钛上电极层、十字形侧镜、金层；正方形硅基片的正面与背面之间贯通开设有正方形通孔；正方形二氧化硅层层叠于正方形硅基片的正面；正方形二氧化硅层的正面与背面之间贯通开设有四组通孔。本发明适用于无线激光通信。

公开(公告)号：CN103869504A

公开(公告)日：2014-06-18

申请号：CN201410123884.X

申请日：2014-03-31

Applicant: 中北大学

Inventor： 张文栋 ,  薛晨阳 ,  王永华 ,  熊继军 ,  刘俊 ,  韦丽萍 ,  崔丹凤 ,  王永存

IPC: G02F1/035

Abstract: 本发明为一种基于硅基光波导微环谐振腔的双层石墨烯电光调制器的制备方法。首先进行光波导微环谐振腔的仿真与设计，选出Q值较高的设计并进行工艺流片，然后取已有的SOI片进行光波导微环谐振腔的工艺制备，接着在制备好的光波导微环谐振腔上生长两层石墨烯和一层Al2O3-，最后引两个对称分布的电极即可。本发明方法能提供很强的石墨烯与光的相互作用，提供高强度的光电转换；由于石墨烯对光的吸收与光的波长无关，所以可以进行宽频操控；同时石墨烯在室温下的载流子迁移率极高，通过施加外电场可以使调制时间降至皮秒级别，再加上它能与CMOS工艺相兼容，这对以后集成光学芯片的微型化、高速化以及低功耗具有重大意义。

公开(公告)号：CN103700722A

公开(公告)日：2014-04-02

申请号：CN201310630796.4

申请日：2013-12-02

Applicant: 中北大学

Inventor： 谭秋林 ,  陈媛婧 ,  熊继军 ,  薛晨阳 ,  张文栋 ,  刘俊 ,  毛海央 ,  明安杰 ,  欧文 ,  陈大鹏

IPC: H01L31/18 ,  H01L31/101 ,  G01J5/12

CPC classification number: Y02P70/521 ,  H01L35/32 ,  H01L35/34

Abstract: 本发明涉及热电堆红外探测器，具体是一种架空式热电堆红外探测器。进一步改进了热电堆红外探测器。所述探测器的加工步骤包括：1、在SOI衬底正面加工两隔离槽，划分出了两个热电偶加工区；2、加工SiO2介质支撑膜；3、加工构成热电偶的P/N型多晶硅条；4、加工下层SiO2隔离层及后续加工用金属连接加工孔；5、完成金属连接；6、加工上层SiO2隔离层及后续加工用释放孔；7、加工聚酰亚胺牺牲层及露出热电堆热结区的倒梯形凹槽；8、加工用作热辐射吸收层的三层薄膜结构；9、去除聚酰亚胺牺牲层；10、将SiO2介质支撑膜下的热电偶加工区空腔化；11、实现架空式热辐射吸收层。本发明结构设计合理，制作工艺易于实现，成品性能提高明显，具有良好的发展前景。

公开(公告)号：CN103557926A

公开(公告)日：2014-02-05

申请号：CN201310512040.X

申请日：2013-10-26

Applicant: 中北大学

Inventor： 张国军 ,  何常德 ,  刘梦然 ,  简泽明 ,  赵鹏 ,  申辉 ,  刘宏 ,  陈桂英 ,  薛南 ,  刘林仙 ,  薛晨阳 ,  张文栋

IPC: G01H3/04

Abstract: 本发明为一种基于丁腈橡胶帽封装的高灵敏度宽量程仿生水听器，解决了现有封装结构对水听器灵敏度损失严重的问题。本发明包括内置信号处理电路板金属管壳，金属管壳顶部延设有缩径管壳，缩径管壳顶部接待注油孔的支撑圆盘，支撑圆盘上安装有硬支架，硬支架上固定带敏感柱体的四梁敏感微结构，支撑圆盘上设有由丁腈橡胶制作而成的透声帽。本发明针对现有MEMS矢量水听器的封装结构，从透声帽材料、水听器尺寸等方面进行了改进。选用丁腈橡胶材料，在不影响矢量水听器指向性的情况下，提高了水听器的灵敏度，拓宽了水听器频带，并使水听器的封装进一步小型化，具有良好应用前景。

公开(公告)号：CN103500788A

公开(公告)日：2014-01-08

申请号：CN201310500968.6

申请日：2013-10-23

Applicant: 中北大学

Inventor： 谭秋林 ,  陈媛靖 ,  熊继军 ,  薛晨阳 ,  张文栋 ,  刘俊 ,  毛海央 ,  明安杰 ,  欧文 ,  陈大鹏

IPC: H01L33/48 ,  H01L33/56 ,  B81B7/02

CPC classification number: H01L33/0058 ,  H01L33/20

Abstract: 本发明公开了一种可集成的纳米结构红外光源，利用MEMS/CMOS工艺，对非晶硅表面进行纳米修饰加工，形成锥状纳米结构，再对锥状纳米结构进行TiN镀层加工；最后采用正面XeF2释放技术，对硅衬底进行深硅刻蚀，分离窄带红外光源与硅衬底的接触，减小热量在硅丝欧姆发热过程中的损耗，提高光源的工作功率。本发明采用MEMS/CMOS光源制造技术，利用金属诱导晶化技术实现红外光源的表面修饰，得到锥状纳米结构，并对其进行表面TiN镀层加工，实现Si-TiN，TiN-Air之间的表面等离子体共振技术。采用正面释放技术形成微悬臂梁对红外光源进行支撑来降低热损耗，并通过在加热层下预埋介质层氮化硅，来降低结构应力。

公开(公告)号：CN103490005A

公开(公告)日：2014-01-01

申请号：CN201310376298.1

申请日：2013-08-27

Applicant: 中北大学 ,  北京大学

Inventor： 张文栋 ,  薛晨阳 ,  丑修建 ,  刘俊 ,  熊继军 ,  李俊漾 ,  张强 ,  高立波 ,  海振银 ,  邢燕婷 ,  张海霞

IPC: H01L41/33 ,  H01L41/37 ,  H02N1/04 ,  B82Y30/00 ,  B82Y40/00

Abstract: 本发明为一种基于压电-摩擦效应的高电学性能纳米发电机的制备方法，利用压电效应与摩擦效应结合来制备小面积、高输出电压的纳米发电机。本发明方法是将一定比例的CNT颗粒和压电颗粒混入液态PDMS制成复合薄膜，在复合薄膜表面用微加工的方法制作具有规则的微纳凹凸结构，最后将复合薄膜电极化并夹设电极即完成。本发明方法结合压电和摩擦的优势，制备出小面积、高灵敏度、高电压输出的压电-摩擦纳米发电机这种纳米发电机制造成本低廉，工艺简单，具有极好的耐久性和可加工性，能很方便地进行大规模生产与应用，可轻松融入其他产品的设计当中。为个人电子产品、环境监控、医学科学等提供自供电和自驱动设备，有着巨大的商用和实用潜力。

公开(公告)号：CN103424770A

公开(公告)日：2013-12-04

申请号：CN201310362765.5

申请日：2013-08-20

Applicant: 中北大学

Inventor： 张国军 ,  宋小鹏 ,  简泽明 ,  刘宏 ,  刘梦然 ,  张文栋 ,  薛晨阳

IPC: G01V1/00

Abstract: 本发明涉及管道内检测器的定位技术，具体是一种用于管道内检测器声定位的单片集成敏感阵列。本发明解决了现有管道内检测器的定位技术定位精确性低的问题。一种用于管道内检测器声定位的单片集成敏感阵列包括两个四梁臂硅微结构、两个微型柱状体、两个中心连接体、以及检测电路；两个四梁臂硅微结构和两个中心连接体均位于同一平面；两个微型柱状体的上端各自垂直固定于两个中心连接体的下表面中央。本发明适用于油气管道的内检测器的声定位，也适用于各类管道的泄漏检测定位。