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公开(公告)号：CN105890779B
公开(公告)日：2019-02-26
申请号：CN201610415819.3
申请日：2016-06-07
Applicant: 哈尔滨工业大学
IPC: G01J9/00
Abstract: 本发明提供了一种用于波长扫描系统的实时波长标定装置及标定方法，本发明所述扫描光源与50/50光耦合器之间、50/50光耦合器与HCN气室之间、HCN气室与光电转换器A之间、50/50光耦合器与偏振控制器之间、偏振控制器与F‑P滤波器之间、F‑P滤波器与光电转换器B之间，均通过单模光纤连接成通路；所述光电转换器A与I/V转换放大器A之间、I/V转换放大器A与主放大器A之间、主放大器A与数字采集卡之间、光电转换器B与I/V转换放大器B之间、光电转换放大器B与主放大器B之间、主放大器B与模拟数字转换器之间、模拟数字转换器与数字采集卡之间，均通过导线连接成通路；上位机通过电缆与数字采集卡相连通。
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公开(公告)号：CN109254502A
公开(公告)日：2019-01-22
申请号：CN201811350101.6
申请日：2018-11-14
Applicant: 哈尔滨工业大学
IPC: G03F7/20
CPC classification number: G03F7/70358
Abstract: 本发明公开基于气磁悬浮和动磁钢的扫描曝光装置；该装置将磁钢并行排列并置于双层线圈中间，通过对线圈中电流来驱动运动滑块部件的直线运动，这种“三明治”型的并列动磁钢结构能够在提供足够的电机出力的同时，不会产生额外的偏转力矩，但能够消除现有技术中线圈线缆力对运动及定位精度的影响，再通过设置相应气磁悬浮结构对直线运动进行支承和导向，提高了单位面积上承载与的转动刚度，并最终通过结合反馈控制，达到高精度、高速、高频运动的目的。本发明可建立一种体积小、速度快、精度高的扫描曝光装置。
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公开(公告)号：CN104848879B
公开(公告)日：2017-06-13
申请号：CN201510111224.4
申请日：2015-03-05
Applicant: 哈尔滨工业大学
IPC: G01D5/353
Abstract: 基于线性工作匹配光栅法的光纤布拉格光栅传感器信号解调方法属于光纤传感技术领域；待测光纤光栅反射信号通过待测光纤光栅反射信号输入端口经隔离器和50∶50光纤耦合器后一部分进入光功率探测器A，另一部分经过参考光纤光栅后，两光谱重叠部分被反射，反射信号再经50∶50光纤耦合器进入光功率探测器B，光功率计将光功率探测器A、B的信号做除法计算后转化为光功率比值电信号，送入测量计算机，建立待测光纤光栅反射信号光谱中心波长与光功率比值的关系，使待测光纤光栅反射信号光谱中心波长与光功率比值的关系是线性的，实现无温度耦合的光纤布拉格光栅传感器信号解调；本发明具有信号处理简单、分辨力高、解调速度快的优点。
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公开(公告)号：CN103759653B
公开(公告)日：2016-06-08
申请号：CN201410030740.X
申请日：2014-01-17
Applicant: 哈尔滨工业大学
IPC: G01B11/02
Abstract: 基于五芯光纤光栅的三维微尺度测量装置及方法属于精密仪器制造及测量技术领域；所述装置包括宽频光源、光谱分析仪、光环形器、控制计算机、多路光开关和外部参考光栅，五根单模光纤分别将多路光开关与五芯光纤扇出器连通，五芯光纤的一端连接在五芯光纤扇出器上，在五芯光纤的另一端部上通过探针夹持器固装五芯光纤光栅探针，所述五芯光纤与五芯光纤光栅探针连接形成通路；所述方法是控制计算机控制多路光开关切换光路，使用光谱分析仪分别测量光纤光栅的反射光谱，并利用差分数据处理算法，实现无温度耦合的三维微尺度测量。本发明具有精度高、接触力小、不受遮蔽效应影响、探针使用寿命长的特点。
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公开(公告)号：CN104677283A
公开(公告)日：2015-06-03
申请号：CN201510107909.1
申请日：2015-03-05
Applicant: 哈尔滨工业大学
IPC: G01B11/00
Abstract: 基于自组装原理的四芯光纤光栅微尺度测量探针制作方法属于精密仪器制造技术领域；本方法采用机械加工或氢氟酸光纤腐蚀处理的方式减小刻写光纤光栅后的单模光纤的直径，再将四根直径减小后的刻写光纤光栅后的单模光纤穿过带有内锥角的细管中，并将下端浸没在低粘度紫外胶中，利用毛细力对其进行自组装，从而形成最紧凑的正方形结构，对自组装后的四根直径减小后的刻写光纤光栅后的单模光纤进行紫外胶固化，制成四芯光纤光栅，在光纤研磨机上对四芯光纤光栅的端面进行研磨，采用熔融光纤法或微球安装法在四芯光纤光栅研磨端加工出一个球形针尖，完成四芯光纤光栅探针的加工；本发明光纤光栅信号无串扰，低成本，低损耗。
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Patent Agency Ranking
公开(公告)号：CN102589439B
公开(公告)日：2015-04-22
申请号：CN201110456051.1
申请日：2011-12-16
Applicant: 哈尔滨工业大学
IPC: G01B11/02
Abstract: 基于光纤布拉格光栅的接触式温度无感三维探测传感器属于精密仪器制造和精密测试计量技术领域；该传感器包括由泵浦激光器、WDM耦合器、掺铒光纤和分束器组成的宽频光源系统、由EDFA、第一环形器、导管、参考FBG和光纤阻隔器组成的温度补偿系统、探针和由光谱分析仪、光纤耦合器和折射率匹配液组成的信号接收系统装配构成，温度补偿系统的参考FBG放置在探针空间距离30cm内，本发明实现了三维传感，大幅度提高了传感器对环境的适应能力，具有结构简单、实时性好、易于实际应用的特点，在对微小内腔尺寸实施快速、超精密的测量与校准中具有显著优势。
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公开(公告)号：CN102564309B
公开(公告)日：2014-08-20
申请号：CN201110456011.7
申请日：2011-12-16
Applicant: 哈尔滨工业大学
Abstract: 基于光纤布拉格光栅的微孔尺寸测量装置及方法属于精密仪器制造和精密测试计量技术领域；该装置由用于产生瞄准信号的瞄准及发讯装置、用于在测量瞄准及发讯装置发出的启测及停测信号的时间间隔内测量被测微孔移动距离的测长装置和用于对整个测量装置的测量过程进行控制的计算机组成，该方法通过不断将工作台沿与测长方向垂直的方向上移动，并沿测量线方向移动工作台，获得探针相对于被测微孔的最大位移量，从而得出被测微孔直径，本发明大幅度提高了瞄准及发讯装置对环境的适应能力，具有结构简单、实时性好、易于实际应用的特点，在对微孔尺寸实施快速、超精密的测量与校准中具有显著优势。
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公开(公告)号：CN102419517B
公开(公告)日：2014-07-16
申请号：CN201110377972.9
申请日：2011-11-12
Applicant: 哈尔滨工业大学
IPC: G03F7/20
Abstract: 一种基于双导轨双驱步进扫描的双工件台交换装置与方法属于半导体制造装备技术领域，该装置包括基台，位于预对准工位和曝光工位的工件台，在平衡质量块上预设4个Y向直线运动单元和2个X向直线运动单元，通过Y向直线运动单元的直线电机定子与Y向过渡直线运动单元的对接完成工件台在预对准区域和曝光区域之间的三节拍换台；另外Y向第一直线电机动子1与第一工件台固联，Y向第四直线电机动子与第二工件台固联，Y向直线运动单元和X向直线运动单元在曝光工位构成双导轨双驱结构；本发明在换台过程中采用三节拍，提高了换台效率，同时本发明具体实施过程中具有运动惯量小，稳定时间短、结构刚度大和曝光工位质心驱动等优点。
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公开(公告)号：CN102393609B
公开(公告)日：2014-03-05
申请号：CN201110377845.9
申请日：2011-11-12
Applicant: 哈尔滨工业大学
IPC: G03F7/20
Abstract: 过梁式单/双导轨双驱步进扫描双工件台交换装置与方法属于半导体制造装备；该系统含有设置在同一基台上的运行于曝光工位的硅片台和运行于预处理工位的硅片台，基台边缘设置有4个Y方向直线运动单元和2个X方向直线运动单元，基台中间设置有2个X方向高于硅片台工作面的过梁式直线运动单元；Y方向直线运动单元通过X方向直线运动单元可以实现X方向运动，并与自身的Y方向运动滑块共同实现硅片台的X方向或Y方向的运动；本发明能够增强导轨的抗转矩干扰能力，减小或克服因转矩干扰引起的运动偏差和形变偏差，提高硅片台运动精度；换台过程仅有三个节拍，缩短双台交换需要的时间，明显提高光刻机的生产效率。
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公开(公告)号：CN102495527B
公开(公告)日：2013-09-18
申请号：CN201110377822.8
申请日：2011-11-12
Applicant: 哈尔滨工业大学
IPC: G03F7/20 , H01L21/67 , H01L21/677
Abstract: 一种基于单/双驱动步进扫描的双工件台交换装置与方法属于半导体制造装备技术领域，该装置包括基台，位于预对准工位和曝光工位的工件台，在平衡质量块上预设4个Y向直线运动单元和2个X向直线运动单元，同时在预对准工位和曝光工位之间增加了Y向过渡直线运动单元，通过Y向直线运动单元的直线电机定子与Y向过渡直线运动单元的对接完成工件台在预对准区域和曝光区域之间的运动从而实现三节拍换台；另外Y向第一直线电机动子与第一工件台固联，Y向第四直线电机与第二工件台固联；本发明在换台过程中采用三节拍，提高了换台效率，同时本发明具体实施过程中具有运动惯量小，稳定时间短和避免了工件台的抓卡机构，具有结构紧凑和结构刚度大等优点。
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