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公开(公告)号：CN103900470B
公开(公告)日：2017-01-11
申请号：CN201410118924.1
申请日：2014-03-20
Applicant: 哈尔滨工业大学
Abstract: 基于三光纤共球耦合的微测量力瞄准传感器属于精密仪器制造及测量技术；该传感器包括激光器、扩束准直镜、光纤耦合透镜、导管、显微物镜b、CCD相机b、显微物镜a、CCD相机a、计算机和由入射光纤、耦合器、出射光纤a、出射光纤b组成的探针，耦合器作为探针的触点，光束经入射光纤导入耦合器后分别由出射光纤a和出射光纤b导出，导出光束分别经显微物镜a、显微物镜b进入CCD相机a、CCD相机b，通过图像处理技术即可得到两束出射光束分别在CCD上形成的光斑能量中心位置，由CCD相机上光斑能量中心位置与传感器触测点在空间位置的一一对应关系即可得出传感器在空间的瞄准情况；本传感器可测深径比大，具有三维探测能力。
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公开(公告)号：CN103900471A
公开(公告)日：2014-07-02
申请号：CN201410118968.4
申请日：2014-03-20
Applicant: 哈尔滨工业大学
Abstract: 基于双入射光纤共球耦合的微测量力瞄准传感器属于精密仪器制造及测量技术；该传感器包括激光器a、激光器b、扩束准直镜a、扩束准直镜b、光纤耦合透镜a、光纤耦合透镜b、导管、显微物镜、CCD相机、计算机和由入射光纤a、入射光纤b、耦合器、出射光纤组成的探针，入射光纤a与入射光纤b用胶进行侧向粘连，耦合器作为探针的触点，激光器a和激光器b发出的两束激光为非相干光，光束经入射光纤a、入射光纤b导入耦合器后由出射光纤导出，导出光束经显微物镜进入CCD相机，通过图像处理技术可以得到出射光束在CCD相机上形成的光斑能量中心位置，即可判断出传感器在空间的瞄准情况；本传感器方向性好、抗干扰能力强、分辨力高。
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公开(公告)号：CN102564309A
公开(公告)日：2012-07-11
申请号：CN201110456011.7
申请日：2011-12-16
Applicant: 哈尔滨工业大学
Abstract: 基于光纤布拉格光栅的微孔尺寸测量装置及方法属于精密仪器制造和精密测试计量技术领域；该装置由用于产生瞄准信号的瞄准及发讯装置、用于在测量瞄准及发讯装置发出的启测及停测信号的时间间隔内测量被测微孔移动距离的测长装置和用于对整个测量装置的测量过程进行控制的计算机组成，该方法通过不断将工作台沿与测长方向垂直的方向上移动，并沿测量线方向移动工作台，获得探针相对于被测微孔的最大位移量，从而得出被测微孔直径，本发明大幅度提高了瞄准及发讯装置对环境的适应能力，具有结构简单、实时性好、易于实际应用的特点，在对微孔尺寸实施快速、超精密的测量与校准中具有显著优势。
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公开(公告)号：CN103900466B
公开(公告)日：2017-05-17
申请号：CN201410118360.1
申请日：2014-03-20
Applicant: 哈尔滨工业大学
Abstract: 一种基于偏振态检测的温度自补偿双光纤耦合球微尺度传感器属于精密仪器制造及测量技术；传感器包括偏振光发生装置、半透半反棱镜、波片、测量探针、偏振态检测装置、温度补偿装置、计算机，其中偏振光发生装置、半透半反棱镜、波片、测量探针依次排列，偏振光发生装置的出射光光轴与测量探针的入射光光轴重合，偏振态检测装置A位于测量探针的出射光经半透半反棱镜后的反射光路光轴A上，偏振态检测装置B位于参考探针的出射光经反射镜B反射后的反射光路光轴B上，当偏振态检测装置A检测到的光束的偏振态相对于偏振态检测装置B检测到的偏振态的差值发生变化时，测量探针与待测微孔发生触测；本传感器具有温度补偿功能、精度高、速度快。
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公开(公告)号：CN103900469B
公开(公告)日：2017-01-11
申请号：CN201410118923.7
申请日：2014-03-20
Applicant: 哈尔滨工业大学
IPC: G01B11/00
Abstract: 一种基于偏振态检测的双光纤耦合球微尺度传感器属于精密仪器制造及测量技术；该传感器包括激光器、起偏器、半透半反棱镜、λ波片、由入射光纤、出射光纤、耦合球组成探针、偏振态检测装置和计算机，激光器、起偏器、半透半反棱镜、λ波片、探针依次排列，其中激光器出射光光轴与入射光纤入射光光轴重合，偏振态检测装置A位于出射光纤的出射光经半透半反棱镜反射后的反射光路光轴上，偏振态检测装置B位于激光器出射的光束经起偏器后第一次经半透半反棱镜反射的反射光路光轴上，当偏振态检测装置A检测到的光束的偏振态相对于偏振态检测装置B检测到的偏振态的差值发生变化时，探针与被测孔发生触测；本传感器精度高、速度快、具有三维测量能力。
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Patent Agency Ranking
公开(公告)号：CN103900472A
公开(公告)日：2014-07-02
申请号：CN201410118970.1
申请日：2014-03-20
Applicant: 哈尔滨工业大学
Abstract: 基于偏振态检测的双入射保偏平光纤耦合球微尺度传感器属于精密仪器制造及测量技术；该传感器包括激光器A、B、起偏器A、B、平面反射镜A、B、半透半反棱镜、波片、探针、偏振态检测装置、计算机，其中探针由入射光纤A、入射光纤B、出射光纤、耦合球组成，半透半反棱镜、波片、探针依次排列，所述激光器A出射光经起偏器A由平面反射镜A反射进入射光纤A，激光器B出射光经起偏器B由平面反射镜B反射进入射光纤B，偏振态检测装置A、B分别接收光束第一、二次经半透半反棱镜反射的光束，当偏振态检测装置B检测到的偏振态相对于偏振态检测装置A检测到的偏振态的差值发生变化时，探针与被测孔发生触测；本传感器精度高，速度快。
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公开(公告)号：CN103900468A
公开(公告)日：2014-07-02
申请号：CN201410118922.2
申请日：2014-03-20
Applicant: 哈尔滨工业大学
IPC: G01B11/00
Abstract: 带有端面微结构的双光纤共球耦合微测量力瞄准传感器属于精密仪器制造及测量技术；该传感器包括激光器、扩束准直镜、光纤耦合透镜、导管、显微物镜、CCD相机、计算机和由入射光纤、耦合器、带有锥形端面微结构的出射光纤组成的探针，耦合器作为探针的触点，光束经入射光纤导入耦合器后由带有锥形端面微结构的出射光纤导出，导出光束经显微物镜进入CCD相机，通过图像处理技术即可得到出射光束在CCD相机上形成的光斑能量中心位置，由CCD相机上光斑能量中心位置与传感器触测点在空间位置的一一对应关系即可得出传感器在空间的瞄准情况；本传感器探针中的出射光纤带有端面微结构，极大的提高了检测信号的信噪比，提升了传感器的测量分辨力。
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公开(公告)号：CN102589439B
公开(公告)日：2015-04-22
申请号：CN201110456051.1
申请日：2011-12-16
Applicant: 哈尔滨工业大学
IPC: G01B11/02
Abstract: 基于光纤布拉格光栅的接触式温度无感三维探测传感器属于精密仪器制造和精密测试计量技术领域；该传感器包括由泵浦激光器、WDM耦合器、掺铒光纤和分束器组成的宽频光源系统、由EDFA、第一环形器、导管、参考FBG和光纤阻隔器组成的温度补偿系统、探针和由光谱分析仪、光纤耦合器和折射率匹配液组成的信号接收系统装配构成，温度补偿系统的参考FBG放置在探针空间距离30cm内，本发明实现了三维传感，大幅度提高了传感器对环境的适应能力，具有结构简单、实时性好、易于实际应用的特点，在对微小内腔尺寸实施快速、超精密的测量与校准中具有显著优势。
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公开(公告)号：CN102564309B
公开(公告)日：2014-08-20
申请号：CN201110456011.7
申请日：2011-12-16
Applicant: 哈尔滨工业大学
Abstract: 基于光纤布拉格光栅的微孔尺寸测量装置及方法属于精密仪器制造和精密测试计量技术领域；该装置由用于产生瞄准信号的瞄准及发讯装置、用于在测量瞄准及发讯装置发出的启测及停测信号的时间间隔内测量被测微孔移动距离的测长装置和用于对整个测量装置的测量过程进行控制的计算机组成，该方法通过不断将工作台沿与测长方向垂直的方向上移动，并沿测量线方向移动工作台，获得探针相对于被测微孔的最大位移量，从而得出被测微孔直径，本发明大幅度提高了瞄准及发讯装置对环境的适应能力，具有结构简单、实时性好、易于实际应用的特点，在对微孔尺寸实施快速、超精密的测量与校准中具有显著优势。
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公开(公告)号：CN102589422A
公开(公告)日：2012-07-18
申请号：CN201110456022.5
申请日：2011-12-16
Applicant: 哈尔滨工业大学
IPC: G01B11/00
Abstract: 正交光路二维微焦准直与三维坐标传感器属于传感器；在装配台上依次安装第一、二、三、四、五、六、七连接架，四维调整架、分光镜、折反式长焦系统A、折反式长焦系统B、五维调整架、光电接收器B、光电接收器A分别装配在第一、二、三、四、五、六、七连接架上，在四维调整架上装配激光光源，在五维调整架上安装带有光纤探针测头的光纤探针测杆，数据传输线将光电接收器A和光电接收器B分别与数据采集处理器连接；本传感器具有二维传感信息零耦合、能进行二维方向探测、测力小、易小型化、测量深径比大、实时性好、易应用的特点，在对微内尺寸和三维坐标实施快速、超精密的测量与校准中具有显著优势。
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