热式流量计
    52.
    发明授权

    公开(公告)号:CN104380056B

    公开(公告)日:2017-07-11

    申请号:CN201380031606.5

    申请日:2013-05-31

    Abstract: 本发明的目的是提供一种热式流量计,该热式流量计能够避免因离心力而被引导到副通路外周侧的污染物质和难以被离心分离的颗粒状或液体状的污染物质到达流量检测部的热传递面,能够获得高测量精度,该热式流量计中,副通路具有:至少在被测量气体30的流动方向上在流量检测部602的上游侧沿固有平面形成为曲线状的上游侧弯曲路径390;和从上游侧弯曲路径390的下游侧形成至流量检测部602的下游侧的分支壁378,上游侧弯曲路径390的下游侧的副通路通过分支壁378分支为:与上游侧弯曲路径390的外周壁侧流体连通的主流路377;和与上游侧弯曲路径390的内周壁侧流体连通的分支路径388,流量检测部602以其热传递面露出部436与上游侧弯曲路径390的上述固有平面平行的姿态配置在主流路377内。

    流量传感器
    53.
    发明公开

    公开(公告)号:CN106813736A

    公开(公告)日:2017-06-09

    申请号:CN201710050977.8

    申请日:2013-04-04

    Abstract: 本发明提供一种能够抑制每个流量传感器的性能偏差且实现性能提高的技术。根据实施方式的流量传感器,通过在树脂(MR)的上表面SUR(MR)设置局部的凹部(CAV),产生绕逆时针的涡流,由此,使与半导体芯片(CHP1)的露出的侧面碰撞的气体(空气)的前进方向不为相差90度的半导体芯片(CHP1)的上方方向,而是改变为卷绕涡的方向。因此,根据实施方式的流量传感器,能够不使流量检测部(FDU)的上方的气体(空气)的流动紊乱,能稳定且顺畅地流动,因此,能提高流量检测部(FDU)的流量检测精度。

    热式空气流量传感器
    54.
    发明授权

    公开(公告)号:CN104395708B

    公开(公告)日:2017-05-24

    申请号:CN201380034261.9

    申请日:2013-06-10

    CPC classification number: G01F1/692 G01F1/6845 G01F5/00 G01P5/12

    Abstract: 本发明的目的是提供一种检测精度高的热式流量传感器。为了达成上述目的,本发明的热式流量传感器包括:流量检测元件,其包括对半导体基板进行加工而设置的隔膜、在所述隔膜上设置的发热电阻体、在所述发热电阻体的上游侧和下游侧分别设置的测温电阻体;支承部件,其经由粘接剂片接合保持所述流量检测元件,所述支承部件具有一端在设置于所述隔膜的背面侧的空洞部开口的连通孔,所述粘接剂片在所述支承部件的连通孔的开口区域形成有通气孔。

    热式流量计
    60.
    发明公开

    公开(公告)号:CN104395705A

    公开(公告)日:2015-03-04

    申请号:CN201380031579.1

    申请日:2013-05-29

    CPC classification number: G01F1/6842 G01F1/684 G01F1/696 G01F15/14

    Abstract: 本发明的目的是提高热式流量计的测量精度。电路封装体(401)的测量用流路面(430)和其背面的测量用流路面背面(431)位于副通路内,副通路构成为,被测量气体(30)分开流入电路封装体的测量用流路面(430)侧的流路(386)和其背面的测量用流路面背面(431)侧的流路(387),电路封装体的用于分开被测量气体(30)的流入侧的端面的形状在测量用流路面和测量用流路面背面不同。在电路封装体的用于分开被测量气体(30)的流入侧的端面形成有基准线(700),基准线的测量用流路面侧的端面(701a)和测量用流路面背面侧的端面(701b)形成为非对称。

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