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公开(公告)号：CN102139565A
公开(公告)日：2011-08-03
申请号：CN201010530984.6
申请日：2010-11-02
Applicant: 精工爱普生株式会社
IPC: B41J2/045 , B41J2/14 , H01L41/187
CPC classification number: H01L41/18 , B41J2/055 , B41J2/14233 , B41J2002/14241 , B41J2202/03 , C04B35/2608 , C04B2235/3227 , C04B2235/3262 , C04B2235/3298 , C04B2235/441 , C04B2235/768 , H01L41/0973 , H01L41/1878 , H01L41/318
Abstract: 本发明提供环境影响小并具有包括强电介质的压电元件的液体喷射头、液体喷射装置及压电元件和压电材料。本发明的液体喷射头，具备：压力产生室，其与喷嘴开口连通；以及压电元件，其具备第1电极、在上述第1电极上形成的压电体层和在上述压电体层上形成的第2电极；其中，上述压电体层包括含有Bi、La、Fe及Mn的钙钛矿型复合氧化物，且是强电介质。
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公开(公告)号：CN102139564A
公开(公告)日：2011-08-03
申请号：CN201010530972.3
申请日：2010-11-02
Applicant: 精工爱普生株式会社
IPC: B41J2/045 , B41J2/14 , H01L41/187
CPC classification number: H01L41/183 , B41J2/14233 , B41J2002/14241 , B41J2002/14419 , B41J2202/03 , C04B35/2608 , C04B2235/3227 , C04B2235/3262 , C04B2235/3298 , C04B2235/441 , C04B2235/768 , H01L41/1878 , H01L41/318
Abstract: 本发明提供具有环境负担小、变形量大的压电元件的液体喷射头、液体喷射装置、压电元件以及压电材料。液体喷射头具备：压力产生室，其与喷嘴开口连通；压电元件，其具备第1电极、在前述第1电极上形成的压电体层和在前述压电体层上形成的第2电极；其中，前述压电体层包含钙钛矿型复合氧化物并呈现电场感应相变，该钙钛矿型复合氧化物包含Bi、Ia、Fe以及Mn。
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公开(公告)号：CN101722730A
公开(公告)日：2010-06-09
申请号：CN200910179424.8
申请日：2009-10-09
Applicant: 精工爱普生株式会社
CPC classification number: B41J2/14233 , B41J2/04581 , B41J2/04588 , B41J2002/14241
Abstract: 本发明提供一种提高了变位特性的液体喷射头、液体喷射装置及执行元件装置。液体喷射头具有：流路形成基板，其形成有与喷射液滴的喷嘴开口连通的压力发生室；和压电元件(300)，其具有第1电极(60)、形成在该第1电极(60)上的压电体层(70)、和形成在该压电体层(70)的与上述第1电极(60)相反侧的第2电极(80)，通过使上述压力发生室产生压力，从上述喷嘴开口喷出液滴；在上述第1电极(60)和上述第2电极(80)未被施加电压的状态下，上述压电体层(70)的内部电场偏向上述第1电极(60)侧、或上述第2电极(80)侧。
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公开(公告)号：CN100463180C
公开(公告)日：2009-02-18
申请号：CN200510002523.0
申请日：2005-01-20
Applicant: 精工爱普生株式会社
IPC: H01L27/10 , H01L21/316 , H01L41/16 , G11C11/22
CPC classification number: H01L27/11507 , C04B35/491 , C04B35/493 , C04B2235/3231 , C04B2235/3239 , C04B2235/3251 , C04B2235/3258 , C04B2235/3287 , C04B2235/3293 , C04B2235/3418 , C04B2235/3427 , C04B2235/76 , C04B2235/765 , C04B2235/768 , C04B2235/787 , C23C18/1216 , H01L21/31691 , H01L27/105 , H01L27/11502 , H01L28/55 , H01L28/65 , H01L41/0805 , H01L41/1876 , H01L41/318
Abstract: 本发明提供一种可以得到可靠性高的铁电装置的铁电体膜，其由用ABO3表示的钙钛矿结构铁电体构成，在A位上包括作为A位补偿离子的Si2+、Ge2+、以及Sn2+中的至少一种，在B位上包括作为B位补偿离子的Nb5+。
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公开(公告)号：CN1311518C
公开(公告)日：2007-04-18
申请号：CN02153623.6
申请日：2002-11-27
Applicant: 精工爱普生株式会社
CPC classification number: C30B23/02 , C30B29/24 , C30B29/32 , H01L21/02197 , H01L21/02266 , H01L21/02304 , H01L21/31691 , H01L28/55 , H01L28/60 , H01L29/045 , H01L41/316
Abstract: 本发明涉及一种用于电子装置的衬底，该电子装置包括由立方晶体(100)取向或伪立方晶体(100)取向并利用外延生长形成包含具有钙钛矿结构的金属氧化物的导电氧化物层衬底。本发明还提供一种具有用于该电子装置的衬底的电子装置。图1所示的电子装置用衬底(100)包括Si衬底(11)；在Si衬底(11)上利用外延生长形成包含具有NaC1结构的金属氧化物的缓冲层(12)；在缓冲层(12)上用立方晶体(100)取向或伪立方晶体(100)取向外延生长形成的含有钙钛矿结构的金属氧化物的导电氧化物层(13)。优选的是，Si衬底(11)是不除去自然氧化膜(100)衬底或(110)衬底。并且，缓冲层(12)的平均厚度等于或小于10nm。
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Patent Agency Ranking
公开(公告)号：CN1260774C
公开(公告)日：2006-06-21
申请号：CN03156519.0
申请日：2003-09-03
Applicant: 精工爱普生株式会社
IPC: H01L21/08
CPC classification number: H01L21/31691 , H01L21/32058 , H01L28/55 , H01L28/60 , H01L41/316 , H01L41/332
Abstract: 本发明提供了一种电子装置用衬底，其中在衬底上形成重新构成表面或氢封端表面的处理不再是必要的，并且在衬底上形成的缓冲层是沿(100)取向外延生长的，以及一种该衬底的制造方法。电子装置用衬底100包括：由硅构成的衬底11，和在衬底11形成薄膜表面上层压外延生成的具有萤石结构的第一缓冲层12和第二缓冲层13，具有分层的钙钛矿结构的第一氧化物电极层14，具有简单钙钛矿结构的第二氧化物电极层15。通过在SiO升华区在自然氧化物薄膜上照射金属等离子体，使得第一缓冲层12的外延生长速率高于SiO2的生成速率。
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公开(公告)号：CN1538523A
公开(公告)日：2004-10-20
申请号：CN200410031478.7
申请日：2004-03-29
Applicant: 精工爱普生株式会社
CPC classification number: H01L21/02197 , C23C18/1216 , C23C18/1254 , C23C30/00 , C30B5/00 , C30B29/30 , C30B29/32 , H01L21/02282 , H01L21/31691 , H01L27/11502 , H01L41/0805 , H01L41/1876 , H01L41/1878 , H01L41/318
Abstract: 本发明的强电介体薄膜，通过在强电介体钙钛矿材料的A位置离子中至少含有1％以上的4配位Si4+或Ge4+的强电介体Pb(Zr，Ti)O3的B位置上，包含合计为5摩尔％以上、40摩尔％以下的Nb、V、W中的至少一种元素，从而可以显著提高其可靠性。
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公开(公告)号：CN1064911C
公开(公告)日：2001-04-25
申请号：CN96190227.2
申请日：1996-06-11
Applicant: 精工爱普生株式会社
IPC: B62M23/02
CPC classification number: B62M6/55
Abstract: 一种将马达驱动力与人力驱动力相合成的驱动力辅助装置，具有人力驱动装置、辅助动力驱动装置及踩踏力检测装置，所述人力驱动装置通过第1单向离合器和传递转动力的弹性体16将人力驱动力传递给输出齿轮17，所述辅助动力驱动装置的马达驱动动力在曲轴的外周经第2单向离合器合成于所述人力驱动装置，所述踩踏力检测装置30具有装于所述弹性体16前后的第1及第2转动构件31、32，与第1及第2转动构件分别相连的一对伞齿轮33、34，啮合安装于该对伞齿轮33、34之间的伞齿轮35，固定有枢支伞齿轮35的支承轴36并与该支承轴正交的输出轴37，以及与该输出轴37连接的传感器38。因此能获得小型化的驱动力辅助装置。
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公开(公告)号：CN117917263A
公开(公告)日：2024-04-23
申请号：CN202311354633.8
申请日：2023-10-18
Applicant: 精工爱普生株式会社
Abstract: 提供气体的选择分离性及透过性良好的气体分离膜及气体分离膜的制造方法。气体分离膜的特征在于具有：第一层；以及第二层，设置于所述第一层的一个面，由具有气体分离能力的化合物构成，所述第二层的平均厚度比所述第一层平均厚度薄，所述第二层是喷墨覆膜。此外，所述化合物优选包含来自PET、POM、PLA、PDMS、纤维素或偶联剂的结构。
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公开(公告)号：CN107039577B
公开(公告)日：2022-01-14
申请号：CN201610949882.5
申请日：2016-10-26
Applicant: 精工爱普生株式会社
IPC: H01L41/047 , H01L41/29 , H01L41/297 , B06B1/06
Abstract: 提供一种具有高压电特性的压电体的压电元件、压电模块、电子设备以及压电元件的制造方法。接收用换能器(52)具备：挠性部(412D)；压电膜(423)，设置于挠性部(412D)；第一电极(422)，设置于挠性部(412D)的设置有压电膜(423)一侧的第一面(412B1)和压电膜(423)的与挠性部(412D)相反一侧的面的第二面(423A)之间；以及第二电极(424)，设置于第一面(412B1)和第二面(423A)之间，在从挠性部(412D)的厚度方向观察的俯视下，与第一电极(422)隔着间隙相对。
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