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公开(公告)号:CN210443093U
公开(公告)日:2020-05-01
申请号:CN201920656427.5
申请日:2019-05-09
Applicant: 罕王微电子(辽宁)有限公司
IPC: G09B25/00
Abstract: 一种传感器测试与演示模型系统,包括硬件部分,软件载体部分,第一连接部分,第二连接部分;硬件部分内包含客户定制化组件板以及简易标准化主板,软件载体部分包括基于XML的定制化寄存器映射模块,定制化数据阅读器模块,定制化脚本模块,定制化界面外观模块以及简易原型化软件核心模块,连接部分为专用连接器和专用协议模块;在第二连接部分和简易原型化软件核心模块下,根据客户需求加入客户定制化组件板和客户定制化基于XML的定制化寄存器映射模块、定制化数据阅读器模块、定制化脚本模块和定制化界面外观模块。本实用新型的优点:简化多种传感器的试样研究。能够让传感器的客户更关注于他们的产品而不是将关注点集中在演示和测试环境上。(ESM)同样的发明创造已同日申请发明专利
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公开(公告)号:CN210426568U
公开(公告)日:2020-04-28
申请号:CN201920656602.0
申请日:2019-05-09
Applicant: 罕王微电子(辽宁)有限公司
Abstract: 一种温度调节惯性传感器,包括集成电路模块,温度传感器,串行接口模块,温度控制回路,加热系统,数字或模拟电路模块,MEMS模块,可拓展部分模块,加热电阻,功率器件,晶体管驱动装置,脉宽调解,目标温度设定模块,增加震动预防电路进入极限循环模块,加速剂陀螺仪输出端;集成电路模块上布置有温度传感器、串行接口模块、温度控制回路、加热系统、数字或模拟电路模块;MEMS模块与集成电路模块连接,温度控制回路和加热系统上带有可拓展部分模块;温度传感器与加热电阻连接,加热电阻与功率器件和晶体管驱动装置连接,加速剂陀螺仪输出端与集成电路模块连接。本实用新型的优点:低成本,器件尺寸小,功率低,高精准度。(ESM)同样的发明创造已同日申请发明专利
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公开(公告)号:CN209896051U
公开(公告)日:2020-01-03
申请号:CN201920775798.5
申请日:2019-05-28
Applicant: 罕王微电子(辽宁)有限公司
Inventor: 黄向向 , 杨敏 , 道格拉斯·雷·斯巴克斯 , 关健
IPC: H01L23/482 , H01L23/488 , H01L21/60 , B81C3/00
Abstract: 一种集成电路与微机电系统的直接键合装置,包括太阳能电池,平坦化氧化层,对准金属接触部分,金属互连部分,焊点;平坦化氧化层与带有导电连接和密封的对准金属接触部分在低温直接键合,实现金属互连部分与高气密性的结合,金属互连部分和太能电池通过深硅刻蚀技术进行填充,焊点位于金属互连部分上。本实用新型的优点:本实用新型所述的集成电路与微机电系统的直接键合装置,原理结构简单,工艺稳定,提高了产品可靠性。(ESM)同样的发明创造已同日申请发明专利
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公开(公告)号:CN208905226U
公开(公告)日:2019-05-24
申请号:CN201821854807.1
申请日:2018-11-12
Applicant: 罕王微电子(辽宁)有限公司
Inventor: 黄向向 , 杨敏 , 莱昂纳多·萨拉 , 道格拉斯·雷·斯巴克斯 , 关健
Abstract: 一种动作跟踪物联网模块,包括传感器,微处理器或DSP/ASIC,无线传输模块,电池,电源管理芯片,本地应用程序运行模块,运动跟踪物联网模块软件开发工具,云服务装置,云应用程序编程接口,物联网接入硬件组件,通讯终端,云端软件接口,用户终端;多个传感器与微处理器或DSP/ASIC连接,无线传输模块、电池和电源管理芯片分别与微处理器或DSP/ASIC连接。本实用新型的优点:轻量级,体积小巧,易于在各种运动装备中使用,尤其用于运动装备中时。高精度,支持无线连接,可进行实时和离线数据处理。提供的软件开发工具包可用于IOS和安卓系统的应用程序开发,可连续使用100小时以上。(ESM)同样的发明创造已同日申请发明专利
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公开(公告)号:CN203837170U
公开(公告)日:2014-09-17
申请号:CN201420188865.0
申请日:2014-04-18
Applicant: 罕王微电子(辽宁)有限公司
Abstract: 一种车载空气净化器,其由主体结构(1)和滤网罩(2)构成,其中:主体结构(1)和滤网罩(2)二者之间以能够组装或拆分的方式固定连接为一体;主体结构(1)上还设置有按钮(3)及用于显示信息的显示屏(4)。本实用新型的滤网罩(2)可从主体结构(1)上拆卸下来以方便除尘或更换滤网。所述车载空气净化器的显示屏(4)可用于显示当前信息或提示信息,提醒用户打开、关闭净化器及各种操作。本实用新型的有益效果是:采用所述结构的车载空气净化器维护简便,操作简单,信息显示清晰,便于用户根据不同信息对净化器进行不同操作。
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公开(公告)号:CN218371757U
公开(公告)日:2023-01-24
申请号:CN202221783576.6
申请日:2022-07-12
Applicant: 罕王微电子(辽宁)有限公司
Inventor: 黄向向 , 杨敏 , 道格拉斯·雷·斯巴克斯 , 关健 , 孙斯佳
Abstract: 一种MEMS芯片用CVD密封多层真空腔结构,其中:衬底为圆片结构,第一层氧化层在衬底通过氧化工艺生长出;第一层氧化层上通过CVD或者外延生长出第一层硅层,第一层硅层为多晶硅或单晶硅层,第一层硅层上有第二层氧化层;第二层氧化层上通过CVD或者外延工艺生长有第二层硅层;第二层硅层上设有通孔,通过气态HF腐蚀工艺,形成低真空度腔室和高真空度腔室,设有多个腔室;在第二硅层上,形成封堵结构,在CVD工艺过程中,通入惰性气体,低真空度腔室形成高压或常压状态的腔室。本实用新型的优点:利用不同真空度的情况下,制备微型腔室,并通过不同的CVD沉积技术,将微腔室密封。从而达到多腔室,不同真空度的状态,而且还能有效减小芯片面积,降低成本。
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公开(公告)号:CN217502402U
公开(公告)日:2022-09-27
申请号:CN202221023865.6
申请日:2022-04-29
Applicant: 罕王微电子(辽宁)有限公司
IPC: F16F3/00 , F16F7/104 , G01C19/5656 , G01C19/5663
Abstract: 减小MEMS谐振器件误差影响的弹簧设计结构,其特征在于:所述的减小MEMS谐振器件误差影响的弹簧设计结构,包括端点,刚体,刚性连接模块,柔性梁,固定点;其中:刚体上端为端点结构,平行于位移方向的柔性梁之间设置有刚性连接模块,固定点,刚体下方设置有固定点。所述的刚体为上下两部分的分体结构件。本实用新型的优点:通过直接在MEMS设计中解决问题,克服了前面提到的所有限制,获得对蚀刻误差不敏感的器件。安排多个以交互方式偏转的柔性梁,以便它们实现一种针对蚀刻误差的自补偿效应。本实用新型是解决直接在机械领域中由非垂直蚀刻壁引起的错误,而无需在MEMS配套ASIC中实现额外且昂贵的电子设备。
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公开(公告)号:CN217498675U
公开(公告)日:2022-09-27
申请号:CN202123230386.X
申请日:2021-12-21
Applicant: 罕王微电子(辽宁)有限公司
Inventor: 黄向向 , 杨敏 , 道格拉斯·雷·斯巴克斯 , 关健 , 孙斯佳
Abstract: 一种用于晶圆级MEMS真空封装的金属扩散吸附系统,包括过渡金属,盖片,真空腔,密封金属条,谐振腔,MEME晶圆,吸气层;在盖片内刻蚀有真空腔,在盖片的外侧墙上淀积有过渡金属,过渡金属的扩散,使其到达盖片的内侧墙,形成金属吸气层;过渡金属位于顶层,吸气层位于盖片内,盖片内带有真空腔,盖片与晶圆之间设置有密封金属条,谐振腔设置在MEME晶圆上,MEME晶圆和吸气层内带有腔体结构。本实用新型的优点:吸附键合后真空腔的残余气体,可用于陀螺仪,振荡器,薄膜谐振器以及红外,压力传感器等器件的吸附剂。
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公开(公告)号:CN217083768U
公开(公告)日:2022-07-29
申请号:CN202220210441.4
申请日:2022-01-26
Applicant: 罕王微电子(辽宁)有限公司
Inventor: 黄向向 , 杨敏 , 道格拉斯·雷·斯巴克斯 , 关健 , 孙斯佳
Abstract: 本实用新型提供了一种基于正交信号消除的突起电极,其特征在于:所述的基于正交信号消除的突起电极,包括突出部分,正交消除电极,刚性质量块,基底;其中:刚性质量块下面设有突出部分,基底上设有正交消除电极,突出部分与正交消除电极相对布置。本实用新型的优点:本实用新型所述的基于正交信号消除的突起电极,依靠凸起部分的厚度提高消除效率,减小占用面积。减少了与添加孔相关的质量分布变化,最大程度的减小了在给定传感器上实施解决方案所需要的设计改变。增加了创建具有特殊平滑形状轮廓的凸起的可能性,从而能够将正交力指定为驱动位移的任意函数。
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公开(公告)号:CN213406003U
公开(公告)日:2021-06-11
申请号:CN202020669185.6
申请日:2020-04-27
Applicant: 罕王微电子(辽宁)有限公司
Inventor: 黄向向 , 杨敏 , 道格拉斯·雷·斯巴克斯 , 关健 , 陈琳
IPC: A61B5/0215 , A61B5/03 , A61B5/20 , G01L9/12
Abstract: 一种可无线通讯植入式压力传感器的结构,包括两片相匹配的、与人体生物兼容的玻璃晶圆作为压力传感器基材,L‑C振荡位于电路通过两片玻璃晶圆通过阳极键合形成密封的空腔中,形成可感应绝对压力变化的薄膜层,在空腔内加入吸气层。电感作为天线来感知外部的无线信号,一个外部的读取器是用来测量L‑C振荡频率,从而测量压力,对一片玻璃晶圆进行了减薄,形成可感应绝对压力变化的薄膜层。本实用新型的优点:芯片从晶圆上切割下来之后,可以在边缘预留的位置做钛引线。压力传感器可以在医学中得到应用,测得心脏、头部、脊髓和膀胱中的血液、尿、脊液的压力值,也可用于工业腔室的压力值测量。
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