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公开(公告)号：KR100209426B1
公开(公告)日：1999-07-15
申请号：KR1019960049526
申请日：1996-10-29
Applicant: 대우전자주식회사
Inventor： 전용배
IPC: G02F1/015
Abstract: 본 발명은 박막형 광로 조절 장치의 제조 방법에 관한 것으로서, 상기 구동 기판의 상부에 이후 공정에 의하여 복수 개의 층으로 액츄에이터를 형성함에 있어서, 고온 공정 분위기 하에서 상기 액츄에이터를 이루는 복수개의 층중에서 메탈층의 조성 물질이 확산층을 통과하여 실리콘 기판으로 확산되는 것을 방지하고, 상기 확산층의 도펀트가 상기 메탈층으로 확산되는 것을 방지하기 위하여, 컨택트 메탈은 티타늄(Ti)으로된 제1컨택트 메탈층과 질화 티타늄(TiN)으로된 제2컨택트 메탈층으로 형성하고, 플러그는 폴리 실리콘(Poly-Silicon), 팅스텐(W), 질화 텅스텐(WN)으로 형성하며, 하부 전극은 티타늄(Ti) 또는 탄탈륨(Ta)으로된 제1하부 전극과 백금(Pt)으로 된 제2하부 전극으로 형성함으로써, 상기와 같은 문제점을 해결하여 박막형 광로 조절 장치의 성능� � 향상시킬 수 있다.
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公开(公告)号：KR100207370B1
公开(公告)日：1999-07-15
申请号：KR1019940000796
申请日：1994-01-18
Applicant: 대우전자주식회사
Inventor： 전용배
IPC: G02F1/015
Abstract: 본 발명은 투사형 화상표시장치의 광로조절기의 냉각시스템에 있어서, 하부에 광로조절기가 설치되고 광학용 유리로 밀봉된 금속용기의 외부에 비화학양론적 조성을 갖는 세라믹이 벌크형태로 이루어진 N형 및 P형 반도체들의 일측이 접합되며, 이 N형 및 P형 반도체들의 타측에 지느러미 구조를 갖는 금속전극들을 접합되도록 하여 N형 반도체쪽의 금속전극에 양(+)의 전압을, P형 반도체쪽의 금속전극에 음(-)의 전압을 인가하여 반도체들과 금속용기의 접합면에서 흡열되고 금속전극들의 접합면에서 발열되도록 하고, 그 접합면은 팬을 구동시켜 냉각시킨다. 따라서, 광로조절기가 냉각용기내에 설치되고 광학용 유리에 의해 밀봉되므로 먼지나 수분등에 오염되는 것을 방지할 수 있으며, 또한, 반도체들과 금속용기의 접합면에서 흡열되므로 금속용기내를 냉각시키고 반도체들과 금속전극들의 접합면에서 발생되는 열을 팬을 구동시켜 분사시키므로 냉각 특성이 향상된다.
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公开(公告)号：KR100178217B1
公开(公告)日：1999-05-01
申请号：KR1019950013355
申请日：1995-05-26
Applicant: 대우전자주식회사
Inventor： 전용배
IPC: H04N5/74
Abstract: 본 발명은 광로조절장치의 제조방법에 관한 것으로서, 액츄에이터들을 분리하고 쏘잉시 발생되는 입자들에 의해 액츄에이터가 오염되는 것을 방지하는 제1보호막을 형성한 후 다이아몬드 톱 등으로 유효면을 한정하는 트랙을 유효면과 무효면 사이에 구동기판의 절반 정도의 깊이로 형성한 다음 회생막을 제거하고 세정 및 건조한 후 트랙에 의해 한정된 유효면을 제외한 무효면을 기계적으로 절단한다. 따라서, 무효면을 절단하여 제거할 때 트랙에 의해 구동기판이 절반정도 절단되어 있으므로 작은 힘에 의해서도 쉽게 절단되며, 이에 의해, 발생되는 충격이 작으므로 유효면의 액츄에이터의 손상을 최소화할 수 있다.
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公开(公告)号：KR100134347B1
公开(公告)日：1998-04-23
申请号：KR1019930004501
申请日：1993-03-23
Applicant: 대우전자주식회사
IPC: H04N5/74
Abstract: 본 발명은 투사형 화상표시장치의 광로조절수단에 관한 것으로서, 후막 또는 박막형성방법에 의해 순차적으로 적층된 신호 전극, 변형부 및 공통전극을 기계적 절삭방법 또는 물리적 식각으로 제조된 M×N개의 액츄에이터들의 상하운동에 의해 독립적으로 회전구동되는 반사경을 갖는다. 따라서, 다층 세라믹을 사용하지 않고 후막 또는 박막을 적층한 후 기계적 절삭 또는 물리적 식각을 하여 M×N개의 액츄에이터를 한정할 수 있으므로 구조가 간단하고 제조방법이 용이하며, 또한, 박막들을 형성하고 물리적 식각하므로 액츄에이터의 크기를 최소화하여 고밀도의 화소를 이룰 수 있다.
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公开(公告)号：KR100134345B1
公开(公告)日：1998-04-23
申请号：KR1019930004515
申请日：1993-03-23
Applicant: 대우전자주식회사
Inventor： 전용배
IPC: H04N5/74
Abstract: 본 발명은 투사형화상표시장치의 광로조절수단에 관한 것으로서, 경질금속으로 이루어지며 외팔보를 갖는 지지대를 이 외팔보의 소정위치의 하부가 액츄에이터의 상부와 부착되도록 기판상에 고정시켜 이 외팔보의 끝단에 부착된 구동전달부 하부의 변위량을 변위부의 변위량보다 크도록 하여 반사경의 경사각을 크게 한다. 따라서, 다층세라믹을 사용하지 않고 구조가 간단하므로 제조가 쉬우며, 또한 지지부에 의해 액츄에이터의 변위량을 증폭하므로 반사경이 경사각을 증가시킬 수 있다.
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Patent Agency Ranking
公开(公告)号：KR1019970077089A
公开(公告)日：1997-12-12
申请号：KR1019960017801
申请日：1996-05-23
Applicant: 대우전자주식회사
Inventor： 전용배
IPC: G02F1/015
Abstract: 본 발명은 투사형 화상 표시 장치로 사용되는 광로 조절 장치의 광반사 효율을 극대화시키기 위하여 광반사 유효 면적이 최대로 유지된 액츄에이터의 모듈 구조에 관한 것으로, 캔틸레버 구조의 멤브레인상에 순차적으로 적층되어서 형성된 하부 전극, 변형부 및 상부 전극으로 이루어져 있는 복수개의 액츄에이터를 구비하고 있으며 상기 상부 적극은 소정 크기의 갭에 의하여 소정 간격으로 이격된 육각형 구조로 이루어져 있는 광로 조절 장치용 액츄에이터의 모듈 구조에 의해서 달성되며 그 결과 광반사 유효 면적은 전체 면적중 약 98.36%를 차지하여서 광반사 효율을 극대화시킨다.
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公开(公告)号：KR1019970076223A
公开(公告)日：1997-12-12
申请号：KR1019960017807
申请日：1996-05-23
Applicant: 대우전자주식회사
Inventor： 전용배
IPC: G06F3/14
Abstract: 본 발명은 광로 조절 장치용 액츄에이터의 제조 방법에 관한 것으로, 실리콘 기판상에 형성된 복수개의 능동소자를 보호하기 위한 보호층을 형성시키는 단계와, 상기 보호층을 식각 용액으로부터 보호하기 위한 식각 스톱층을 형성시키는 단계와, 상기 식각 스톱층상에 소정 선폭 크기(D1)의 패턴을 갖는 소정 형상의 희생층을 형성시키는 단계와, 상기 희생층 및 희생층의 패턴을 통하여 노출된 상기 식각 스톱층 상에 제1절연층을 형성시키는 단계와, 상기 제1절연층상에 소정 선폭 크기(D2)의 이소 컷팅부를 구비하고 있는 제1도전층을 형성시키는 단계와, 상기 제1도전층상에 압전층 및 제2도전층을 순차적으로 형성시켜서 미러 어레이를 형성시키는 단계와, 상기 미러 어레이를 구성하는 복수개의 층들을 상부로부터 순차적으로 식각시켜서 소정 형상 액츄에이터를 형성시키는 단계와, 상기 액츄에이터의 외부 표면상에 보호막을 형성시키는 단계와, 그리고 상기 액츄에이터를 캔틸레버 구조로 형성시키기 위하여 상기 희생층을 제거하는 단계로 이루어지고, 상기 미러 어레이를 패터닝시킴으로서 소정 형상으로 형성된 상기 액츄에이터의 브리지상에 형성되는 상기 이소 컷팅부의 선폭 크기(D2)는 상기 희생층 패턴의 선폭 크기(D1)보다 작게 유지되며 이에 의하여 이소 컷팅부의 선폭 크기와 하부 전극 선폭 크기의 차이에 의하여 멤브레인에 형성되는 노출 부위를 통하여 식각 스톱층이 화학적 손상을 받게 되어도 상기 식각 스톱층의 손상 부위와 희생층 형상의 선단부 사이에 멤브레인이 개재되어 있으므로 보호층이 희생층을 제거하기 위한 식각 용액으로부터 손상받는 것을 방지시키며 그 결과 로 조절 장치용 액츄에이터의 신뢰도 및 반사 효율을 향상시킨다.
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公开(公告)号：KR1019970023642A
公开(公告)日：1997-05-30
申请号：KR1019950038534
申请日：1995-10-31
Applicant: 대우전자주식회사
Inventor： 전용배
IPC: G02F1/015
Abstract: 본 발명은 광로 조절 장치의 제조 방법에 관한 것으로, 복수개의 신호 패드가 형성된 실리콘 웨이퍼상에 형성된 구동 기판상에 소정 형상의 희생층을 형성시키고 다수의 절연층 및 도전층을 교번적으로 적층시키는 단계와, 식각 공정에 의하여 상기 다수의 절연층 및 도전층을 패터닝시켜서 액츄에이터를 형성시키는 단계와, 상기 희생층을 제거하는 단계로 이루어지고 상기 식각 공정에 의하여 신호 패드용 개방부는 소정 형상으로 패터닝시킴으로서 상기 신호 패드용
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