Abstract:
A non-volatile semiconductor device and a method for manufacturing the same are provided to prevent occurrence of pitting effect on active regions around floating gates by improving the surface roughness of the floating gates. A plurality of isolation layer patterns(160) are formed on a semiconductor substrate(100) to define one or more active regions. A tunnel oxide layer(125) is formed on the active regions and includes a nitrified surface. A floating gate(155) is formed on the tunnel oxide layer and includes a first floating gate pattern(145) and a second floating gate pattern(150). A dielectric layer(165) is formed on the floating gate. A control gate(170) is formed on the dielectric layer. The surface of the tunnel oxide layer is nitrified by using plasma.
Abstract:
셀 특성 산포를 개선할 수 있는 불휘발성 메모리 장치의 제조방법이 개시되어 있다. 반도체 기판 상에 터널 산화막, 플로팅 게이트용 제1 도전층, 층간유전막 및 컨트롤 게이트용 제2 도전층을 차례로 형성한다. 제2 도전층 상에 게이트 영역을 정의하는 하드 마스크층 패턴을 형성한다. 하드 마스크층 패턴을 식각 마스크로 이용하여 제2 도전층 및 층간유전막을 식각하여 컨트롤 게이트를 형성한다. 하드 마스킁 패턴을 식각 마스크로 이용하여 제1 도전층의 일부분을 식각한 후, 결과물 상에 불순물을 이온주입하여 남아있는 제1 도전층의 노출된 표면 및 컨트롤 게이트의 노출된 측면을 도핑시킨다. 하드 마스크층 패턴을 식각 마스크로 이용하여 남아있는 제1 도전층을 식각하여 플로팅 게이트를 형성한 후, 플로팅 게이트의 측면 및 컨트롤 게이트의 측면을 산화시킨다. 이온주입된 영역에서 산화 증진 효과에 의해 산화막이 두껍게 성장되므로, 버즈비크에 의한 층간유전막의 두께 증가 현상을 감소시킬 수 있다.
Abstract:
본 발명은 사용자의 요구에 의해 활성화되는 인터랙티브 그래픽 스트림을 저장한 저장 매체를 재생하는 장치에 관한 것이다. 본 발명에 따른 비디오 데이터 및 메뉴 화면을 제공하기 위한 그래픽 데이터를 기록한 저장 매체를 재생하는 재생 장치는, 비디오 데이터를 디코딩하는 비디오 디코더; 그래픽 데이터를 디코딩하는 그래픽 디코더; 및 사용자 입력을 그래픽 디코더로 전달하는 인터페이스를 포함하며, 그래픽 디코더는 사용자로부터 활성화 요구가 있는 경우에 화면 상에 출력되는 제1 그래픽 데이터 및 / 또는 지정된 시간에 화면 상에 출력되는 제2 그래픽 데이터를 디코딩하고, 제1 및 제2 그래픽 데이터는 서로 동일 또는 유사한 구조체(structure)이며, 이 구조체는 양자를 구분하기 위한 필드를 포함하는 것을 특징으로 한다. 이에 따라, 지정된 시간에 또는 사용자의 요구가 있을 때에 메뉴 화면과 같은 그래픽이 화면이 출력되도록 제어할 수 있다.
Abstract:
검색을 위한 메타 정보가 포함된 저장 매체, 재생 장치 및 그 재생 방법이 개시된다. 본 발명에 따른 저장 매체는, AV 데이터; AV 데이터의 재생 단위인 플레이 아이템 및 플레이 리스트; 및 플레이 아이템 및 플레이 리스트를 이용하여, 소정의 검색 조건을 만족시키는 AV 데이터의 위치를 탐색하기 위한 적어도 하나의 메타 정보를 포함하는 것을 특징으로 한다. 이에 따라, 사용자가 원하는 다양한 검색 조건에 맞는 동영상 데이터를 효과적으로 검색하여 재생할 수 있다.
Abstract:
본 발명은 사용자의 요구에 의해 활성화되는 인터랙티브 그래픽 스트림을 저장한 저장 매체, 재생 장치 및 그 재생 방법에 관한 것이다. 본 발명에 따른 저장 매체는, 비디오 데이터 및 비디오 데이터에 기초하여 출력되는 영상 위에 메뉴 화면을 제공하기 위한 그래픽 데이터를 저장하며, 그래픽 데이터는 사용자로부터 활성화 요구가 있는 경우에 화면 상에 출력되는 제1 그래픽 데이터와, 지정된 시간에 화면 상에 출력되는 제2 그래픽 데이터를 포함하는 것을 특징으로 한다. 이에 따라, 지정된 시간에 또는 사용자의 요구가 있을 때에 메뉴 화면과 같은 그래픽이 화면이 출력되도록 제어할 수 있다.
Abstract:
본 발명은 사용자의 요구에 의해 활성화되는 인터랙티브 그래픽 스트림을 저장한 저장 매체를 재생하는 장치에 관한 것이다. 본 발명에 따른 비디오 데이터 및 메뉴 화면을 제공하기 위한 그래픽 데이터를 기록한 저장 매체를 재생하는 재생 장치는, 비디오 데이터를 디코딩하는 비디오 디코더; 그래픽 데이터를 디코딩하는 그래픽 디코더; 및 사용자 입력을 그래픽 디코더로 전달하는 인터페이스를 포함하며, 그래픽 디코더는 사용자로부터 활성화 요구가 있는 경우에 화면 상에 출력되는 제1 그래픽 데이터 및 / 또는 지정된 시간에 화면 상에 출력되는 제2 그래픽 데이터를 디코딩하는 것을 특징으로 한다. 이에 따라, 지정된 시간에 또는 사용자의 요구가 있을 때에 메뉴 화면과 같은 그래픽이 화면이 출력되도록 제어할 수 있다.
Abstract:
본 발명은 동영상을 이용한 부가 기능을 제공하기 위한 프로그램 기반의 프로그램 어플리케이션과 이를 관리하기 위한 관리 정보가 기록된 저장 매체에 관한 것으로서, 본 발명에 따른 저장 매체는 동영상 데이터를 재생하기 위한 재생 모드 데이터와, 동영상 데이터를 이용한 부가 기능을 제공하는 복수개의 프로그램 어플리케이션을 포함하는 프로그램 데이터와, 재생 모드 데이터와 상기 프로그램 데이터의 실행을 제어하기 위한 시스템 데이터와, 프로그램 어플리케이션의 실행을 타이틀 단위로 관리하기 위한 관리 정보를 포함하며, 부가 기능을 제공하기 위한 프로그램 기반의 복수개의 어플리케이션을 타이틀 단위로 관리할 수 있도록 하여, 복수개의 어플리케이션 실행시 메모리를 원할히 관리할 수 있도록 한다.
Abstract:
AV 데이터의 재생에 동기시켜 출력할 수 있도록 만들어진 텍스트 서브 타이틀 데이터를 기록한 정보저장매체, 그 재생방법 및 장치가 개시된다. 본 발명에 따른 정보저장매체는, AV 데이터와 동기되어 출력되는 서브 타이틀 데이터; 및 상기 서브 타이틀 데이터의 출력시작 시간 및/또는 출력완료 시간을 나타내는 출력시간 정보를 포함하는 것을 특징으로 한다. 이에 따라 AV 스트림에 텍스트 서브 타이틀 데이터를 동기화하여 재생할 수 있다.
Abstract:
확장 검색 기능 및 부가 정보 표시 기능을 제공하기 위한 메타 정보가 기록된 저장 매체, 재생 장치 및 그 재생 방법이 개시된다. 본 발명에 따른 동영상 정보가 기록된 저장 매체는, 동영상 데이터; 및 동영상 데이터 중 소정의 검색 조건을 만족시키는 동영상 데이터의 구간을 검색하기 위한 정보 및 상기 검색된 구간의 동영상 데이터의 재생시 관련된 부가 정보를 함께 재생하기 위한 정보를 나타내는 메타 정보를 포함하는 것을 특징으로 한다. 이에 따라, 다양한 검색 키워드에 의한 확장 검색 기능이 제공되며, 검색 키워드에 대한 부가 정보가 동영상 데이터와 함께 재생될 수 있다.
Abstract:
본 발명은 동영상을 이용한 부가 기능을 제공하기 위한 프로그램 기반의 프로그램 어플리케이션과 이를 관리하기 위한 관리 정보가 기록된 저장 매체에 관한 것으로서, 본 발명에 따른 저장 매체는 동영상 데이터를 재생하기 위한 재생 모드 데이터와, 동영상 데이터를 이용한 부가 기능을 제공하는 복수개의 프로그램 어플리케이션을 포함하는 프로그램 데이터와, 재생 모드 데이터와 상기 프로그램 데이터의 실행을 제어하기 위한 시스템 데이터와, 프로그램 어플리케이션의 실행을 타이틀 단위로 관리하기 위한 관리 정보를 포함하며, 부가 기능을 제공하기 위한 프로그램 기반의 복수개의 어플리케이션을 타이틀 단위로 관리할 수 있도록 하여, 복수개의 어플리케이션 실행시 메모리를 원할히 관리할 수 있도록 한다.