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公开(公告)号:KR100246850B1
公开(公告)日:2000-03-15
申请号:KR1019960044626
申请日:1996-10-08
Applicant: 삼성전자주식회사
IPC: H01L21/68
Abstract: 본 발명은 웨이퍼 카세트에 로딩된 웨이퍼의 중심부를 기준으로 후방부측으로 치우쳐진 영역을 감지하여 웨이퍼의 로딩 불량 상태를 정확하게 감지하도록 한 웨이퍼 캐리어 엘리베이터에 관한 것이다
본 발명의 목적은 웨이퍼 캐리어에 로딩된 웨이퍼들의 불량 로딩상태를 보다 정확하게 감지하여 불량 로딩된 웨이퍼의 파손을 방지하도록 한 웨이퍼 캐리어 엘리베이터를 제공하는데 있다.
이와 같은 목적을 달성하기 위한 본 발명은 센서를 웨이퍼 캐리어에 로딩된 웨이퍼의 중심부를 기준으로 후방부로 치우쳐 위치하도록 제어부에 설치하여 웨이퍼의 불량 로딩상태를 정확하게 감지함으로써 상기 불량 로딩상태의 웨이퍼 캐리어의 이송을 중단시켜 웨이퍼의 파손과 주변 웨이퍼의 오염을 방지한다.-
公开(公告)号:KR1019990061244A
公开(公告)日:1999-07-26
申请号:KR1019970081500
申请日:1997-12-31
Applicant: 삼성전자주식회사
IPC: H04L12/26 , H04L12/939
Abstract: 본 발명은 비동기 전송 모드에서 여러 스위치 칩들이 사용될 때 어느 하나의 칩에서 발생한 장애가 전체 시스템의 성능을 감소시키게 되는데, 장애가 발생했을 때 이를 빨리 감지하는 것이 중요하므로, 스위치 구조에 입력되는 셀의 수와 스위치 구조내의 각 단에서의 출력 셀의 수를 각 셀 스위칭 시간마다 비교하여 그 결과에 의해 스위치 구조내의 각 스위치 요소의 장애 상황을 알아내는 장치 및 방법에 관한 것이다.
본 발명에 따른 비동기 전송 모두 스위치에서의 스위치 칩 장애 검사 장치 및 방법의 바람직한 일 실시예는, 입력된 셀들의 헤더로부터 주소 정보를 추출하여 내부 라우팅 태그를 첨부하여 첫 번째 단을 이루고 있는 스위치 요소들로 전송하는 입력 프로세서; 각각 해당되는 라우팅 태그들을 참조하여 출력 포트를 결정하여 해당 포트로 셀을 전송하는 스위치 요소; 수신된 셀들의 주소 정보를 다음 스위치에서 사용할 주소로 바꾸어 전송하는 출력 프로세서; 각 단을 지나가는 셀의 수를 계수화 하는 각 단에 연결된 카운터들; 및 모든 셀의 전송이 끝난 다음, 상기 카운터의 값들을 비교하는 비교 회로를 포함한다.
본 발명에 따른 비동기 전송 모드 스위치에서의 스위치 칩 장애 검사 방법의 바람직한 일 실시예는, 입력 프로세서에서 입력된 셀들의 헤더로부터 주소 정보를 추출하여 내부 라우팅 태그을 첨부하여 첫 번째 단을 이루고 있는 스위치 요소들로 전송하는 과정; 상기 스위치 요소들은 각각 해당되는 라우팅 태그들을 참조하여 출력 포트를 결정하여 해당 포트로 셀을 전송하는 과정; 셀의 전송이 끝나면 각 행별로 전송된 셀수를 합하여 각 행의 계수기에 저장하는 과정; 및 각 계수기는 모든 셀의 전송이 끝난다음 비교 회로에서 값이 비교되는 과정을 포함한다.-
公开(公告)号:KR1019990056998A
公开(公告)日:1999-07-15
申请号:KR1019970077034
申请日:1997-12-29
Applicant: 삼성전자주식회사
IPC: H01L21/00
Abstract: 본 발명은 램프의 오류 여부 확인이 용이한 구조를 갖는 플라즈마 에싱(ashing) 장치에 관한 것으로서 플라즈마를 이용하여 포토 레지스트를 깎아내는 작업이 이루어지는 반응실; 작업에 대한 조작이 이루어지고 작업 상황이 표시되는 전면 판널; 플라즈마의 발생을 위하여 반응실 내부에 설치되는 램프; 열려졌을 때 상기 램프가 나타나도록 설치되어 있는 후면 판널; 및 후면 판널의 개폐를 감지하기 위한 감지 수단; 을 구비한 에싱 장치에 있어서, 감지 수단에 전기적으로 연결되어 전면 판널에 설치되는 수동 램프 온/오프 스위치를 갖는 것을 특징으로 한다. 에싱 장치의 구조에 따르면, 반응실 내부의 램프를 검사하기 위한 작업이 용이해지고 안전한 작업이 이루어질 수 있는 이점이 있다.
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公开(公告)号:KR1019970072166A
公开(公告)日:1997-11-07
申请号:KR1019960010397
申请日:1996-04-08
Applicant: 삼성전자주식회사
IPC: H01L21/3065
Abstract: 건식 식각 장치용 갭 조정 하우징 링의 조립 장치에 있어서, 상, 하판의 사이에 스프링이 설치되고, 나사형 조정부가 하판과 상판에 나사 체결되어 있어 작업자가 상판의 고정핀을 갭 조정 하우징의 하측부에 접촉한 상태에서 나사형 조정부를 시계 방향으로 회전시키면, 상, 하판 사이의 간격이 좁아져 스프링이 압축하게 될 때, 상판이 고정된 갭 조정 하우징에 의해 전진하지 못하는 대신에 하판이 하판의 고정핀이 갭 조정 하우징 링을 갭 조정 하우징과 플랜지 사이의 공간에 밀어 넣는다. 따라서, 갭 조정 하우징 링이 작업자 한사람에 의해 플랜지에 용이하게 조립될 수 있어 갭 조정 하우징 링의 조립에 소요되는 시간과 인력의 낭비에 따른 생산성의 저하가 방지될 수 있다. 또한 조립 장치가 상판과 하판의 사이에 스프링이 착탈 가능하도록 설치되어 분해/조립 겸용으로 사용될 수 있다. 즉, 스프링이 상판과 하판의 사이에 존재하면, 조립용으로 사용되고, 스프링이 상판과 하판의 사이에 존재하지 않으면, 분해용으로 사용된다.
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公开(公告)号:KR2019960032743U
公开(公告)日:1996-10-24
申请号:KR2019960011238
申请日:1996-05-09
Applicant: 삼성전자주식회사
IPC: H01L21/3065
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公开(公告)号:KR100975703B1
公开(公告)日:2010-08-12
申请号:KR1020070103686
申请日:2007-10-15
Applicant: 삼성전자주식회사
IPC: H04B7/26
CPC classification number: H04L12/1881 , H04L12/189 , H04W4/12 , H04W72/005 , H04W72/121
Abstract: 본 발명은 통신 시스템이 통신 시스템이 동일한 서비스를 제공받는 적어도 1개의 영역을 포함하고, 상기 영역이 적어도 1개의 억세스 서비스 네트워크 게이트웨이 (ASN_GW: Access Service Network GateWay)와, 상기 ASN_GW에 연결되는 적어도 1개의 기지국(BS: Base Station)을 포함할 경우, 상기 ASN_GW가 제1 멀티캐스트/브로드캐스트 신호를 수신하고, 상기 수신한 제1 멀티캐스트/브로드캐스트 신호와 상기 영역에 대한 정보를 사용하여 상응하게 제2 멀티캐스트/브로드캐스트 신호로 생성하고, 시각(ToD: Time of Day)을 사용하여 프레임 번호를 생성하고, 상기 제2 멀티캐스트/브로드캐스트 신호와 상기 프레임 번호를 상기 BS로 송신하고, 상기 프레임 번호는 상기 BS가 상기 제2 멀티캐스트/브로드캐스트 신호를 송신해야만 하는 시점에 대한 정보임을 특징으로 한다.
MBS, 타임 스탬프, ToD 정보, 패킷화 동작-
公开(公告)号:KR100928678B1
公开(公告)日:2009-11-27
申请号:KR1020070097779
申请日:2007-09-28
Applicant: 삼성전자주식회사
CPC classification number: H04W28/24
Abstract: Provided are a Connection Admission Control (CAC) method and apparatus in a Bxoadband Wireless Access (BWA) system. The CAC method includes: checking a class of a requested service; converting the transmission request rate of the service into the number of required air resource blocks by using an average block capacity of the checked class; and determining whether to admit or deny connection by comparing the number of required resource blocks with the number of available resource blocks.
Abstract translation: 提供Bxoadband无线接入(BWA)系统中的连接接纳控制(CAC)方法和设备。 CAC方法包括:检查所请求的服务的类别; 通过使用所检查的类的平均块容量将所述服务的传输请求率转换为所需空气资源块的数量; 以及通过将所需资源块的数量与可用资源块的数量进行比较来确定是否允许或拒绝连接。
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公开(公告)号:KR1020080098320A
公开(公告)日:2008-11-07
申请号:KR1020080040635
申请日:2008-04-30
Applicant: 삼성전자주식회사
Abstract: A communication network architecture for end-to-end dynamic QoS setup is provided to guarantee the end-to-end QoS by delivering QoS parameters to a network entity. A terminal(710) sends an INVITE message of an SIP to an IMS server(750). The IMS server receiving the INVITE message requests an AAA server(780) to send authentication information of the terminal(703). The AAA server transmits the authentication information for the terminal to the IMS server(705). The IMS server obtaining the authentication information confirms the fact that the terminal has the right of receiving a service, and then transmits the INVITE message of the SIP to a service providing server(790)(707).
Abstract translation: 提供用于端到端动态QoS建立的通信网络架构,以通过向网络实体传递QoS参数来保证端到端QoS。 终端(710)将IMS的INVITE消息发送给IMS服务器(750)。 接收到INVITE消息的IMS服务器请求AAA服务器(780)发送终端的认证信息(703)。 AAA服务器向IMS服务器发送终端的认证信息(705)。 获取认证信息的IMS服务器确认终端具有接收服务的权利,然后将SIP的INVITE消息发送到服务提供服务器(790)(707)。
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