광 주사 장치 및 화상 형성 장치
    2.
    发明公开
    광 주사 장치 및 화상 형성 장치 有权
    光扫描系统和图像形成装置

    公开(公告)号:KR1020100031856A

    公开(公告)日:2010-03-25

    申请号:KR1020080090687

    申请日:2008-09-16

    Inventor: 박기성

    CPC classification number: G02B26/125 G03G15/0409 G03G15/0435 G03G15/326

    Abstract: PURPOSE: An optical scanning apparatus and image formation apparatus are provided to improve distribution and formation of refraction power of optical lens. CONSTITUTION: A deflector(50) which makes irradiated light from light source bias an imaging optical system having a first and second image optical lenses(60,70). The sub-scanning power of a first image optical lens is zero.

    Abstract translation: 目的:提供光学扫描装置和图像形成装置,以改善光学透镜的折射能力的分布和形成。 构成:使来自光源的照射光偏转成具有第一和第二图像光学透镜(60,70)的成像光学系统的偏转器(50)。 第一图像光学透镜的副扫描功率为零。

    광 주사 장치 및 화상 형성 장치
    3.
    发明公开
    광 주사 장치 및 화상 형성 장치 有权
    光扫描系统和图像形成装置

    公开(公告)号:KR1020080114348A

    公开(公告)日:2008-12-31

    申请号:KR1020070063814

    申请日:2007-06-27

    Inventor: 박기성

    CPC classification number: G02B26/125 B41J2/473 G02B13/0005

    Abstract: An optical scanning apparatus and an image forming apparatus are provided to improve assembly and mass production by minimizing influence by a reflective mirror in movement for assembly of a f-theta lens. An optical scanning apparatus comprises light sources(110,120), a deflector and f-theta lenses. The deflector(115) deflects the light irradiated from a light source. The f-theta lenses(116,126) images the light deflected by the deflector on sensitization media. The light irradiated from the light source is income to be inclined toward the vertical of the rotational axis of the deflector. The f-theta lens satisfies a conditional expression(-0.5

    Abstract translation: 提供了一种光学扫描装置和图像形成装置,以通过最小化用于组装f-θ透镜的运动中的反射镜的影响来改善装配和批量生产。 光学扫描装置包括光源(110,120),偏转器和f-theta透镜。 偏转器(115)偏转从光源照射的光。 f-theta透镜(116,126)将由偏转器偏转的光成像在致敏介质上。 从光源照射的光的收入倾向于偏转器的旋转轴线的垂直方向。 f-θ透镜满足条件表达式(-0.5

    건식 식각장치
    4.
    实用新型
    건식 식각장치 失效
    干蚀设备

    公开(公告)号:KR200129802Y1

    公开(公告)日:1999-02-01

    申请号:KR2019950050850

    申请日:1995-12-28

    Abstract: 건식 식각장치에 대해 기재되어 있다. 이는, 공급라인과 회수라인을 통해 냉매를 흘려주어 양극을 냉각시키기 위한 췰러와, 양극의 하부에 위치하는 하부전극과, 공급라인과 회수라인의 냉매를 단속하기 위해 췰러에 부착하여 설치된 공급밸브와 회수밸브와, 양극의 교체 작업시에 냉매를 배출하기 위한 드레인 밸브를 구비하는 건식 식각장치에 있어서, 양극의 교체 작업시 공급라인의 냉매를 단속하기 위해 하부전극에 부착하여 설치된 냉매배출용 공급밸브와, 양극의 교체 작업시 회수라인의 냉매를 단속하기 위해 하부전극에 부착하여 설치된 냉매배출용 회수밸브와, 냉매의 배출시에 압력을 공급하여 냉매가 원활히 배출되도록 하부전극에 부착하여 설치된 압력밸브와, 냉매의 배출시에 외부로의 배출을 단속하기 위해 상기 하부전극에 부착하여 설치된 냉매배출밸브를 더 구비하는 � �을 특징으로 한다. 따라서, 양극의 교체 작업시에 수반되는 냉매의 배출 및 재충전에 소요되는 시간을 줄일 수 있게 되며,이에 따라 종래의 건식 식각장치에서 양극의 교체 작업시에 작업성이 떨어지고 설비의 PM율이 중가하여 설비의 가동율이 저하되는 등의 문제를 해소할 수 있게 된다.

    광주사 유닛
    5.
    发明公开
    광주사 유닛 无效
    激光扫描单元

    公开(公告)号:KR1020070010364A

    公开(公告)日:2007-01-24

    申请号:KR1020050064877

    申请日:2005-07-18

    Inventor: 박기성

    CPC classification number: G03G15/04036 G03G2215/0404

    Abstract: A laser scanning unit is provided to easily control the reflecting angle and the reflecting position of a reflecting mirror by rotating the reflecting mirror only with a simple operation. A laser scanning unit(100) includes a housing(110) in which a laser scanning optical system is located, a reflecting mirror(180), and a reflecting mirror supporting device(200). The reflecting mirror changes the path of a laser beam emitted from the laser scanning optical system. The reflecting mirror supporting device is arranged in the housing so as to support the reflecting mirror and adjusts the reflecting angle and reflecting position of the reflecting mirror according to an operation performed outside the housing. The reflecting mirror supporting device includes a reflecting mirror holder, a rotary frame, a slide frame, and a guide frame. The reflecting mirror holder is combined with the reflecting mirror. The rotary frame is located outside the housing and combined with the reflecting mirror holder. The slide frame is rotatably combined with the rotary frame and rotates the rotary frame. The guide frame is movably combined with the slide frame and moves the slide frame.

    Abstract translation: 激光扫描单元仅通过简单的操作旋转反射镜来容易地控制反射镜的反射角度和反射位置。 激光扫描单元(100)包括其中位于激光扫描光学系统的壳体(110),反射镜(180)和反射镜支撑装置(200)。 反射镜改变从激光扫描光学系统发射的激光束的路径。 反射镜支撑装置布置在壳体中以支撑反射镜,并根据在壳体外部执行的操作来调节反射镜的反射角度和反射位置。 反射镜支撑装置包括反射镜支架,旋转框架,滑动框架和引导框架。 反射镜保持器与反射镜组合。 旋转框架位于外壳外部并与反射镜支架结合。 滑动框架与旋转框架可旋转地组合并旋转旋转框架。 引导框架与滑动框架可移动地组合并移动滑动框架。

    아이솔레이션 밸브
    6.
    发明公开
    아이솔레이션 밸브 无效
    隔离阀

    公开(公告)号:KR1020000074610A

    公开(公告)日:2000-12-15

    申请号:KR1019990018660

    申请日:1999-05-24

    Inventor: 한용환 박기성

    Abstract: PURPOSE: An isolation valve, used at a vacuum chamber, regulates the driving of a slow pumping line and a main pumping line by stages. The slow pumping line and the main pumping line are a monolithic structure. CONSTITUTION: An isolation valve has an upper portion piston(12), a lower portion piston(18a) and a main pumping line(24). At the upper end of the main pumping line(24) is positioned a separate slow pumping line(22). One end of the slow pumping line(22) separates from the main pumping line(24) in an isolation valve body(10) and the other end of the slow pumping line(22) comes in contact with the main pumping line(24). The isolation valve regulates the quantity of air injected into the upper portion of the lower portion piston(18a). The lower portion piston(18a) is actuated by the regulated space pressure. The upper portion piston(12) is connected with the lower portion piston(18a) by an identical piston shaft(16). Therefore, the upper portion piston(12) is actuated. The upper portion piston(12) opens the slow pumping line(22) and opens the main pumping line(24) after a while, thereby pumping the inside of a vacuum chamber.

    Abstract translation: 目的:在真空室使用的隔离阀可以分阶段地调节缓慢泵送管线和主泵送管线的驱动。 缓泵系统和主泵管线是一体式结构。 构成:隔离阀具有上部活塞(12),下部活塞(18a)和主泵送管线(24)。 在主泵送管线(24)的上端位于单独的缓慢泵送管线(22)。 缓慢泵送管线(22)的一端在隔离阀体(10)中与主泵送管线(24)分离,并且缓慢泵送管线(22)的另一端与主泵送管线(24)接触, 。 隔离阀调节喷射到下部活塞(18a)上部的空气量。 下部活塞(18a)由调节的空间压力致动。 上部活塞(12)通过相同的活塞轴(16)与下部活塞(18a)连接。 因此,上部活塞(12)被致动。 上部活塞(12)打开缓慢的泵送管线(22)并在一段时间之后打开主泵送管线(24),从而泵送真空室的内部。

    광주사장치 및 이를 채용한 화상형성장치
    8.
    发明公开
    광주사장치 및 이를 채용한 화상형성장치 无效
    光扫描单元和使用其的图像形成装置

    公开(公告)号:KR1020080062381A

    公开(公告)日:2008-07-03

    申请号:KR1020060138126

    申请日:2006-12-29

    Inventor: 박기성

    CPC classification number: G02B26/123 H04N1/29 H04N1/506

    Abstract: A light scanning device and an image forming device using the same are provided to reduce the number of assembly processes and components by reducing the number of reflective mirrors and beam deflectors. A light scanning device includes a light source, a beam deflector(40), a plurality of reflective mirrors(50) and an image forming optical system(60). The light source generates and illuminates a plurality of beams. The beam deflector deflects and scans the beam illuminated from the light source in the direction of each photosensitive body. The reflective mirrors reflect the beam which is deflected in the beam deflector in the direction of each photosensitive body. The image forming optical system is arranged between the reflective mirrors and the photosensitive bodies. The image forming optical system forms an image for the beams which are deflected and scanned in the beam deflector to each of the photosensitive bodies.

    Abstract translation: 提供了一种光扫描装置和使用其的图像形成装置,通过减少反射镜和光束偏转器的数量来减少组装过程和部件的数量。 光扫描装置包括光源,光束偏转器(40),多个反射镜(50)和成像光学系统(60)。 光源产生并照亮多个光束。 光束偏转器沿着每个感光体的方向偏转并扫描从光源照射的光束。 反射镜反射在每个感光体的方向上在光束偏转器中偏转的光束。 图像形成光学系统布置在反射镜和感光体之间。 图像形成光学系统形成用于在光束偏转器中被偏转和扫描到每个感光体的光束的图像。

    광주사장치
    9.
    发明授权

    公开(公告)号:KR100631220B1

    公开(公告)日:2006-10-04

    申请号:KR1020050084471

    申请日:2005-09-12

    Abstract: A laser scanning unit is provided to improve injection molding of a lens by making the edge of the lens become relatively thick in the range of the central thickness of the lens and correct a curvature of image field of a main scanning direction within an error range to improve picture quality of an image forming apparatus. A laser scanning unit includes a light source(110), a collimating unit(112), a rotatory polygon mirror(120), and a lens(130). The collimating unit collimates light emitted from the light source. The rotatory polygon mirror deflects light projected from the collimating unit. The lens forms an image corresponding to the light deflected by the rotatory polygon mirror on a to-be-scanned plane at an equal speed and corrects a curvature of image field of a main scanning direction. The lens has a convex meniscus shape. The curvature of the main scanning direction and the curvature of the sub-scanning direction of the lens are different from each other. The lens has an aspherical shape in which the curvature of the sub-scanning direction is continuously changed. The ratio of the radius of curvature of a first plane of the lens to the radius of curvature of a second plane on an optical axis is greater than 1.7.

    Abstract translation: 提供激光扫描单元以通过使透镜的边缘在透镜的中心厚度的范围内变得相对较厚并且将误差范围内的主扫描方向的像场的曲率校正为 提高图像形成装置的图像质量。 激光扫描单元包括光源(110),准直单元(112),旋转多角镜(120)和透镜(130)。 准直单元校准从光源发射的光。 旋转多角镜偏转准直单元投射的光线。 透镜在待扫描平面上以相等速度形成与由旋转多面镜偏转的光对应的图像,并且校正主扫描方向的像场的曲率。 镜片具有凸形弯月形状。 主扫描方向的曲率和透镜的副扫描方向的曲率彼此不同。 透镜具有其中副扫描方向的曲率连续改变的非球面形状。 透镜的第一平面的曲率半径与第二平面在光轴上的曲率半径之比大于1.7。

    건식 식각 장치용 갭 조정 하우징 링의 조립 장치
    10.
    发明公开
    건식 식각 장치용 갭 조정 하우징 링의 조립 장치 失效
    用于干法蚀刻系统的间隙调整壳环的组装装置

    公开(公告)号:KR1019970072166A

    公开(公告)日:1997-11-07

    申请号:KR1019960010397

    申请日:1996-04-08

    Abstract: 건식 식각 장치용 갭 조정 하우징 링의 조립 장치에 있어서, 상, 하판의 사이에 스프링이 설치되고, 나사형 조정부가 하판과 상판에 나사 체결되어 있어 작업자가 상판의 고정핀을 갭 조정 하우징의 하측부에 접촉한 상태에서 나사형 조정부를 시계 방향으로 회전시키면, 상, 하판 사이의 간격이 좁아져 스프링이 압축하게 될 때, 상판이 고정된 갭 조정 하우징에 의해 전진하지 못하는 대신에 하판이 하판의 고정핀이 갭 조정 하우징 링을 갭 조정 하우징과 플랜지 사이의 공간에 밀어 넣는다. 따라서, 갭 조정 하우징 링이 작업자 한사람에 의해 플랜지에 용이하게 조립될 수 있어 갭 조정 하우징 링의 조립에 소요되는 시간과 인력의 낭비에 따른 생산성의 저하가 방지될 수 있다. 또한 조립 장치가 상판과 하판의 사이에 스프링이 착탈 가능하도록 설치되어 분해/조립 겸용으로 사용될 수 있다. 즉, 스프링이 상판과 하판의 사이에 존재하면, 조립용으로 사용되고, 스프링이 상판과 하판의 사이에 존재하지 않으면, 분해용으로 사용된다.

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