公开(公告)号：KR101326020B1

公开(公告)日：2013-11-07

申请号：KR1020110139518

申请日：2011-12-21

Applicant: 한국기계연구원

Inventor： 허신 ,  정영도 ,  이영화 ,  김완두

IPC: H04R25/00 ,  A61F11/00

CPC classification number: H04R17/02 ,  A61N1/36036 ,  H04R1/083 ,  H04R31/006 ,  H04R2430/03

Abstract: 본 발명은 결합형 인공와우용 주파수 분리장치 제조방법에 관한 것으로서, 본 발명에 따른 인공와우용 주파수 분리장치 제조방법은 기판에 상층 전극부를 코팅하여 상부층을 제조하는 상부층 제조단계; 베이스에 형성되는 기저막 상에 하층 전극부를 패터닝 하는 단계, 상기 하층 전극부 상에 압전 특성을 지니는 나노 와이어를 성장시키는 단계를 포함하여 하부층을 제조하는 하부층 제조단계; 및 상기 상층 전극부와 상기 하층 전극부가 전기적으로 연결되도록 상기 상부층과 상기 하부층을 상호 결합하는 결합단계;를 포함하는 것을 특징으로 한다.
이에 의하여, 나노 와이어가 성장된 하부층과 전극이 형성되는 상부층을 컴팩트하게 결합하여 광 대역 주파수의 음향파를 인지하도록 도와줄 수 있는 결합형 인공와우용 주파수 분리장치 제조방법이 제공된다.