Abstract:
듀얼 백플레이트를 갖는 MEMS 마이크로폰 및 제조방법이 개시된다. 본 발명의 일 실시예에 따른 MEMS 마이크로폰은 중앙부에 제1 백플레이트가 형성되는 기판; 상기 기판 상부 양측에 형성되는 제1 지지부 상부에 배치되고, 외부 음압에 따라 진동하는 멤브레인판; 상기 멤브레인판 상부 양측에 형성되는 제2 지지부 상부에 배치되는 제2 백플레이트를 포함하는 것을 특징으로 한다.
Abstract:
본 발명은 나노와이어 성장을 이용한 인공와우용 주파수 분리장치 제조방법에 관한 것으로서, 본 발명에 따른 나노와이어 성장을 이용한 인공와우용 주파수 분리장치 제조방법은 상부층과 하부층으로 구성되는 인공와우용 주파수 분리장치 제조방법에 있어서, 상부층 제조단계와 하부층 제조단계와 상기 상부층과 상기 하부층을 결합시키는 결합단계를 포함하되, 상기 하부층 제조단계는, 베이스의 상면과 하면에 실리콘 옥사이드(SiO) 층을 적층하는 단계; 상기 베이스 상면의 실리콘 옥사이드 층 상에 실리콘 나이트라이드(Si 3 N 4 )로 구성되는 기저막을 적층하는 단계; 상기 기저막 상에 하층 전극부를 패터닝 하는 단계; 상기 하층 전극부 상에 나노 와이어를 성장시키는 단계; 상기 기저막의 하면에 마련된 층을 일부 제거함으로써 상기 기저막의 하면을 외부에 노출시키는 단계;로 구성되는 것을 특징으로 한다. 이에 의하여, 나노 와이어 성장을 이용하여 광 대역 주파수의 음향파를 인지하도록 도와줄 수 있는 나노와이어 성장을 이용한 인공와우용 주파수 분리장치 제조방법이 제공된다.
Abstract:
음파를 증폭시키는 음파 메타머티리얼은 일면과 타면을 관통하도록 일정 패턴의 음파 도파로가 다수 형성된 플레이트를 포함하며, 상기 음파 도파로는 중심점, 중심축 또는 중심면을 기준으로 일정간격 이격되어 대향되는 형상으로 상기 플레이트가 구비된 것을 특징으로 한다.
Abstract:
달팽이관의 질환으로 귀에 고도의 감각신경성 난청이 발생한 경우, 유양동에 설치되어 달팽이관 내에 남아 있는 나선신경절세포나 말초 청신경을 전기적으로 자극하여 대뇌 청각중추에서 소리를 인지하도록 하는 인공와우 장치에 관한 것이다. 인공와우 장치는 하우징과, 가진막과, 인공 기저막, 및 전기신호 전송부를 포함한다. 하우징은 내부에 유체를 저장하는 저장부와, 상기 저장부의 상측에 배치되어 저장부의 입구를 덮는 덮개부를 포함한다. 가진막은 상기 저장부의 일측에 배치되며, 외부의 소리에 의해 진동한다. 인공 기저막은 상기 가진막의 진동에 의한 유체의 진동을 감지하여 주파수 대역별로 구별하고 상기 구별된 주파수를 전기신호로 변환한다. 전기신호 전송부는 상기 인공 기저막과 전기적으로 연결되어 주파수 대역별로 구별된 전기신호를 상기 하우징 외부로 전송한다.
Abstract:
본 발명은 미세 하중의 감지를 위한 촉각 센서에 관한 것으로, 더욱 상세하게는 압전소자 및 전도성 소재의 맞물림에 따른 전압, 전류 및 저항의 변화에 따라 수직 하중, 전단 하중 및 비틀림 하중을 감지하는 압전소자의 맞물림을 이용한 촉각 센서에 관한 것이다.
Abstract:
The present invention relates to a 1-chip-type mems microphone and a method for manufacturing the same. The purpose of the present invention is to provide a 1-chip-type mems microphone and a method for manufacturing the same which can achieve performance improvement, sensitivity, cost reduction, rigidity reinforcement through component material replacement and a decrease in the number of components and processes by improving the structure of an existing 1-chip-type mems microphone.