-
公开(公告)号：KR100868300B1
公开(公告)日：2008-11-11
申请号：KR1020070027160
申请日：2007-03-20
Applicant: 한국생산기술연구원
IPC: H01L21/027 , H01L21/324 , B82Y40/00
Abstract: 본 발명은 급속 성형이 가능한 임프린트 리소그래피 장치 및 가열 방법에 관한 것으로, 보다 상세하게는 나노임프린트 리소그래피용 금속몰드를 고주파유도가열을 이용해 급속으로 가열하되, 고주파유도가열 코일을 사각스프링형상으로 금속몰드를 감싸도록 형성함으로써 균일한 온도분포를 유지할 수 있고, 급속으로 가열된 금속몰드는 고분자 레지스트(polymer resist)의 표면만 순간적으로 유리전이온도(Tg)이상으로 가열시켜 이미 금속몰드에 각인된 미세패턴을 고분자 레지스트에 가압하여 전사시키는 것을 특징으로 하는 급속 성형이 가능한 미세 임프린트 리소그래피 장치 및 가열 방법에 관한 것이다.
상기한 바와 같은 목적을 달성하고 종래의 결점을 제거하기 위한 과제를 수행하는 본 발명의 목적은 고분자 레지스트의 표면에 미세 패턴을 급속으로 성형할 수 있는 임프린트 리소그래피 장치에 있어서, 내부에 밀폐 공간 형성이 가능한 챔버; 상기 챔버 내부의 압력(진공)을 조절할 수 있는 압력조절 수단; 상기 챔버 내부 하측에 마련되며, 그 상부에 가공대상물이 위치되는 하부 베이스; 상기 챔버 내부 상측에 마련되며 그 하부에 스탬프가 위치되는 상부 베이스; 상기 하부베이스를 기반으로 상부 베이스를 상하 이동을 하며 이를 가이드 해주는 역할을 하는 슬라이드 가이드 바를 포함하는 상부베이스 수직 이동수단; 하부베이스에 일측이 고정되고 상부 베이스와의 상대적인 이동이 가능하도록 설치되는 가압수단; 냉각수가 내부에 순환되는 상부지지판 및 하부 지지판 사이에 설치되는 나노 또는 마이크로 스 케일의 원하는 패턴을 가지는 금속스탬프, 금속스탬프의 패턴이 전사되는 고분자 레지스트 및 고분자 레지스트의 하부에 위치하는 금속스탬프와 동일한 크기 및 재질로 이루어지는 금속지지판; 상기 고분자 레지스트를 금속스탬프와 금속지지판재 사이에 공급하는 이송수단을 포함하는 것을 특징으로 하는 임프린트 리소그래피 장치를 제공함으로서 달성된다.
나노임프린트 리소그래피, 미세 임프린트, 스탬프, 유도가열, 코일-
公开(公告)号：KR1020080085510A
公开(公告)日：2008-09-24
申请号：KR1020070027160
申请日：2007-03-20
Applicant: 한국생산기술연구원
IPC: H01L21/027 , H01L21/324 , B82Y40/00
CPC classification number: G03F7/0002 , B81C1/0046 , B82Y40/00 , H01L21/67248 , Y10S977/887
Abstract: A nanoimprint lithography apparatus for a rapid thermal pressing and a heating method are provided to reduce the heating and cooling time and to improve the productivity by rapidly heating a surface of a metal stamp using a skin effect. A lower base(61) is prepared on an inner lower side of a nanoimprint lithography apparatus and a metal support plate is placed on an upper part of the lower base. An upper base(62) is prepared on an inner upper side of the nanoimprint lithography apparatus and a metal stamp is placed on a lower part of the upper base. A plurality inserting grooves are formed at a lower part of the upper case. An upper base vertical movement unit moves the upper base upwardly and downwardly on the basis of the lower base and includes a slide guide bar(63) functioning as a guide with respect to the movement of the upper base. A rectangular helical coil is fixed on the lower base and installed in an inserting groove formed on the upper base. The metal stamp is installed between upper and lower support plates and has a desired pattern of a nano or micro scale. A polymer resist(20) is interposed between the metal stamp and a supporting plate material.
Abstract translation: 提供了一种用于快速热压和加热方法的纳米压印光刻设备，以通过使用皮肤效应快速加热金属印模的表面来减少加热和冷却时间并提高生产率。 在纳米压印光刻设备的内下侧制备下基板（61），并且金属支撑板放置在下基板的上部。 在纳米压印光刻设备的内侧上准备上基座（62），并且在上基座的下部放置金属印章。 多个插入槽形成在上壳体的下部。 上基座垂直运动单元基于下基座向上和向下移动上基座，并且包括用作相对于上基座的运动的引导件的滑动导杆（63）。 矩形螺旋线圈固定在下基座上，并安装在形成在上基座上的插槽中。 金属印模安装在上支撑板和下支撑板之间，并且具有纳米或微尺度的所需图案。 聚合物抗蚀剂（20）插入在金属印模和支撑板材料之间。
-
Patent Agency Ranking
公开(公告)号：KR100708759B1
公开(公告)日：2007-04-18
申请号：KR1020060065568
申请日：2006-07-12
Applicant: 한국생산기술연구원
Abstract: 본 발명은 열-가압방식의 마이크로 패턴 성형장치에 관한 것으로, 그 목적은 열-가압방식의 마이크로 패턴 성형공정을 수행함에 있어서, 다양한 소재에 적용이 가능하고, 대면적 전사성이 우수하며, 싸이클 타임을 단축할 수 있는 열-가압방식의 마이크로 패턴 성형장치를 제공함에 있다. 이를 위한 본 발명은 사발형상으로 형성되어 내부에 성형물이 장착되고, 장착된 성형물을 가열 및 냉각하는 니켈선 및 냉각채널이 구비된 하부 진공챔버; 상기 하부 진공챔버를 설치되는 프레임; 상기 하부 진공챔버와 결합되어 성형을 위한 챔버를 형성하도록 뒤집어 놓은 사발형상으로, 내부에 몰드가 장착되고, 장착된 몰드를 가열 및 냉각하는 니켈선 및 냉각채널이 구비된 상부 진공챔버; 상기 상부 진공챔버의 상부에 설치되어 상부 진공챔버에 장착된 상기 몰드를 승하강시키는 성형용 실린더; 상기 상부 진공챔버의 상부에 위치하도록 상기 프레임에 설치되며, 상기 상부 진공챔버와 연결되어 상부 진공챔버를 승하강시키는 승하강용 실린더; 상기 하부 진공챔버와 상부 진공챔버의 결합상태를 구속하도록 상기 프레임에 설치된 다수개의 클램프들 및 상기 하부 진공챔버와 상부 진공챔버의 결합에 의해 형성된 챔버를 진공화 시키는 진공수단;을 구비하는 열-가압방식의 마이크로 패턴 성형장치에 관한 것을 그 기술적 요지로 한다.
상부 진공챔버, 하부 진공챔버, 몰드, 성형물Abstract translation: 本发明的开放式涉及的按压方式成型装置的微图案，并且其目的是热和优良的微细图案形成压方法的步骤的性能，它可以适用于各种材料，大面积转印性，循环 能够缩短热压所需时间的压力型微型图案形成设备。 下部真空室设有镍丝和用于加热和冷却成形产品的冷却通道; 提供有下部真空室的框架; 下部碗状作为组合扫过与真空室中以形成用于模制腔室，所述模具安装在内部，设置有镍丝和用于加热和冷却模具安装的冷却通道的上真空室; 安装在上部真空室上部的模塑圆筒，用于上下移动安装在上部真空室上的模具; 垂直升降缸安装在框架上，以定位在上部真空室上方并连接到上部真空室以使上部真空室升降; 真空装置，用于抽真空，下部真空腔室的接合和多个设置在夹具形成的腔室，所述框架以限制上部真空室的连接状态和下部真空室和上部真空室中，具有热 - 压 本发明涉及上述类型的微型图案形成设备。
-
公开(公告)号：KR100707658B1
公开(公告)日：2007-04-13
申请号：KR1020050120650
申请日：2005-12-09
Applicant: 한국생산기술연구원 , 재영솔루텍 주식회사
Abstract: 본 발명은 미세바늘 사출성형용 금형장치에 관한 것으로, 본 발명은 사출기의 노즐로부터 사출되는 용융수지의 유동로를 제공하는 스프루가 구비된 고정측 금형; 상기 고정측 금형과 일면이 대면하여 결합되고, 미세바늘의 성형을 위한 캐비티를 형성하는 다수개의 제1,2 코어설치부들이 구비됨과 더불어 상기 스프루를 통해 공급되는 용융수지를 상기 제1,2 코어설치부들에 의해 형성되는 캐비티로 전달하기 위한 러너와 게이트가 상기 일면으로 노출되게 형성된 가동측 금형; 상기 제1 코어설치부에 대응하여 결합되는 형상을 구비하고, 상기 미세바늘의 챔버 및 채널에 대응하는 돌출부가 그의 일면에 구비되어 각각의 제1 코어설치부에 설치됨으로써 미세바늘의 몸체부와 바늘부의 성형을 위한 캐비티를 형성하는 다수개의 제1 코어금형들; 및 상기 제2 코어설치부에 대응하여 결합되는 형상을 구비하고, 상기 미세바늘의 끝단을 뾰족하게 형성하는 성형부가 구비되어 각각의 제2 코어설치부에 설치됨으로써 바늘부의 끝단 성형을 위한 캐비티를 형성하는 다수개의 제2 코어금형들;을 구비하는 사출성형용 금형장치를 개시한다.
미세바늘, 가동측 금형, 제1 코어금형, 제2 코어금형, 게이트Abstract translation: 本发明涉及一种微针注射成型模具装置，本发明被提供有一个固定的汤路提供熔融树脂的流动从注射机侧模具的喷嘴喷射; 以及多个第一和第二型芯安装部件，所述第一和第二型芯安装部件联接到所述固定侧模具的一侧并形成用于模制所述微型针头的空腔， 移动模具，具有用于转移由所述型芯安装部分形成的型腔的浇道和暴露在所述一个表面上的浇口; 被设置在其一侧上具有一个形状被耦合以响应于所述安装部，和对应于所述腔室和所述微针的通道的突起的第一芯的每个通过是一个主体部分和所述微细针在针安装在第一芯安装部的 多个用于形成用于负成型的腔体的第一芯模具; 并且具有尖锐尖端的成形部分，该成形部分设置在每个第二芯部安装部分中以形成用于形成针部分的端部的空腔 以及多个用于形成多个第二芯模的第二芯模。
-
公开(公告)号：KR100581688B1
公开(公告)日：2006-05-22
申请号：KR1020040029225
申请日：2004-04-27
Applicant: 한국생산기술연구원
IPC: B29D11/00
Abstract: 본 발명은 동심원 패턴을 가진 마스크를 제조한 후 포토 레지스트가 코팅된 기판 상에 상기 마스크를 정렬시켜 노광하고, 상기 노광된 기판을 현상하여 토러스 형태를 가진 포토 레지스트의 동심원 패턴을 얻는다. 그런 다음 상기 현상된 기판에 대해 리플로우 공정을 수행하여 상기 토러스 형태의 포토 레지스트를 만곡시키고, 상기 토러스 형태의 포토 레지스트로 이루어진 동심원 패턴을 음각한 스탬퍼를 제작한 후 상기 스탬퍼를 금형으로 사용하여 상기 동심원 패턴을 가진 렌즈 및 렌즈어레이 패턴을 성형한다.
동심원 패턴, 렌즈, 토러스, 리플로우, 스탬퍼-
公开(公告)号：KR1020050104062A
公开(公告)日：2005-11-02
申请号：KR1020040029226
申请日：2004-04-27
Applicant: 한국생산기술연구원
IPC: G02B3/00
CPC classification number: B29D11/00365 , G02B1/041 , G02B3/0012 , G02B3/08 , G02F1/1336 , G03F7/70241
Abstract: 본 발명은 빛이 통과하지 못하는 형성된 차단영역의 형태가 원형인 제1 마스크를 포토 레지스트가 코팅된 기판 상에 정렬시켜 노광한 후 현상하여 원기둥 형태를 가진 포토 레지스트를 얻고, 상기 현상된 기판에 대해 리플로우 공정을 수행하여 상기 포토 레지스트를 구면 렌즈 형태로 만들며, 상기 구면 렌즈 형태가 음각된 제1 스탬퍼를 제작하고 상기 제1 스탬터를 이용하여 상기 구면 렌즈 형태가 양각된 제2 스탬퍼를 제작하며, 상기 제1 마스크에 형성된 상기 차단영역의 크기 보다 작은 차단 영역을 가진 제2 마스크를 포토 레지스트가 코팅된 제2 스탬퍼 상에 정렬시켜 노광/현상한 후 리플로우 공정 처리하여 상기 구형 렌즈 상에 형성된 포토 레지스트로 이루어진 이중층 형태를 음각으로 하는 제3 스탬퍼를 제작한다. 그리고 상기 제3 스탬퍼를 금형으로 상기 구형 렌즈 상에 형성된 포토 레지스트로 이루어진 이중층 형태를 양각으로 하는 렌즈 제품을 사출한다.
-
公开(公告)号：KR1020050104061A
公开(公告)日：2005-11-02
申请号：KR1020040029225
申请日：2004-04-27
Applicant: 한국생산기술연구원
IPC: B29D11/00
Abstract: 본 발명은 동심원 패턴을 가진 마스크를 제조한 후 포토 레지스트가 코팅된 기판 상에 상기 마스크를 정렬시켜 노광하고, 상기 노광된 기판을 현상하여 토러스 형태를 가진 포토 레지스트의 동심원 패턴을 얻는다. 그런 다음 상기 현상된 기판에 대해 리플로우 공정을 수행하여 상기 토러스 형태의 포토 레지스트를 만곡시키고, 상기 토러스 형태의 포토 레지스트로 이루어진 동심원 패턴을 음각한 스탬퍼를 제작한 후 상기 스탬퍼를 금형으로 사용하여 상기 동심원 패턴을 가진 렌즈 및 렌즈어레이 패턴을 성형한다.
-
-
-
-
-
-
Search Results
57
records
(took 0.022 seconds)
