신규한 옥심에스테르 화합물, 이를 포함하는 광중합 개시제 및 포토레지스트 조성물
    57.
    发明公开
    신규한 옥심에스테르 화합물, 이를 포함하는 광중합 개시제 및 포토레지스트 조성물 审中-实审
    新型氧化酯化合物,光聚合引发剂和含有它们的光催化组合物

    公开(公告)号:KR1020160096960A

    公开(公告)日:2016-08-17

    申请号:KR1020150018698

    申请日:2015-02-06

    CPC classification number: C07C251/68 C07C251/62 G03F7/004

    Abstract: 본발명은신규한옥심에스테르화합물및 이를포함하는광중합개시제및 포토레지스트조성물에관한것으로, 상세하게는본 발명에따른옥심에스테르화합물은하기화학식 1로표시되는것을특징으로한다. [화학식 1]상기화학식 1에서 A와 R내지 R및 n은각각발명의상세한설명에서정의한바와같다.

    Abstract translation: 本发明涉及一种新的肟酯化合物,包含肟酯化合物的光聚合引发剂和包含肟酯化合物的光致抗蚀剂组合物。 更具体地,肟酯化合物由化学式1表示。在化学式1中,A,R 1至R 4和n与说明书中所定义相同。 当用作光致抗蚀剂组合物的光聚合引发剂时,肟酯化合物即使少量也显示出优异的灵敏度,并且具有优异的物理性能,例如剩余膜的比例,图案稳定性,耐化学性,延展性等。 因此,肟酯化合物最小化从聚合引发剂产生的除气,并减少由此引起的污染和缺陷。

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