激光光线的光点形状检测方法

    公开(公告)号:CN102901461A

    公开(公告)日:2013-01-30

    申请号:CN201210253416.5

    申请日:2012-07-20

    Inventor: 能丸圭司

    Abstract: 本发明提供光点形状检测方法,包括:检测基板保持步骤,在工作台的保持面上保持检测基板;激光光线照射步骤,通过聚光器对由激光光线振荡构件振荡出且不能对检测基板和进行加工的输出的激光光线进行会聚,并将其照射到检测基板的发光体所处的区域;光强度检测步骤,在对检测基板的发光体所处的区域照射激光光线的状态下,使工作台在X轴方向和Y轴方向上移动,并且通过光检测器检测由发光体发出的光的光强度;光强度映射图生成步骤,生成在光强度检测步骤中检测到的发光体的x、y坐标值处的光强度映射图;以及光点形状图像形成步骤,使聚光器定位于与工作台保持面垂直的Z轴方向上的多个检测位置,生成激光光线的光点形状图像。

    堆叠型光电感测装置
    54.
    发明公开

    公开(公告)号:CN102447002A

    公开(公告)日:2012-05-09

    申请号:CN201110060012.X

    申请日:2011-03-10

    Applicant: 苏炎坤

    Abstract: 本发明公开了一种堆叠型光电感测装置,包括:一基板、一光感测层及一发光层。该光感测层磊晶形成于该基板上。该发光层磊晶形成于该光感测层相对位置上。本发明的堆叠型光电感测装置利用磊晶堆叠形成该光感测层及该发光层,单一磊晶程序,大幅度降低磊晶制作成本,同时降低组装成本,省去现有技术需要校对该光感测层及该发光层的程序。另外,本发明的堆叠型光电感测装置可整合成单一芯片,以大幅度微小化,可缩短与待测物质的距离,使得精准度与灵敏度可大幅提升;增加可待测物质的种类,并且减少待测物质所需的用量与感测所需时间。此外,本发明的堆叠型光电感测装置为可携式装置,以提升家庭预防医学的可行性。

    使用标签剂材料进行物品验证的装置及方法

    公开(公告)号:CN101865842A

    公开(公告)日:2010-10-20

    申请号:CN200910252376.0

    申请日:2009-11-27

    Inventor: 邓树端

    CPC classification number: G01J1/58 G01J3/02 G01J3/0218 G01J3/51 G01J3/513 G07D7/12

    Abstract: 本发明涉及一种用于验证物品的物品验证系统,其包括:标签剂材料,其施用于物品上;数据库,用于存储与标签剂材料的激励-放射特性和所述物品的身份相关的数据;及验证读取器,该验证读取器包括:激励源,用于放射激励所述标签剂材料的光;放射检测设备,用于检测所述经激励的标签剂材料的放射光;处理单元,用于分析所述经检测的放射光,将所述经检测的放射光的物理特性与所述数据库中存储的数据进行比较,以验证所述物品的身份;其中,所述标签剂材料包括荧光材料;所述标签剂材料通过与所述物品的原材料相混合、通过与所述物品的一部分相集成或通过粘性材料附着于所述物品,从而施用于所述物品。同时提供一种用于验证物品的方法。

    光刻装置、器件制造方法,及由此制成的器件

    公开(公告)号:CN100520580C

    公开(公告)日:2009-07-29

    申请号:CN200310119736.2

    申请日:2003-12-03

    CPC classification number: G03F7/70558 G01J1/429 G01J1/58 G03F7/7085

    Abstract: 一种光刻投影装置包括:辐射系统,用来提供一次辐射的投影束;用于支撑作图装置的支撑结构,该作图装置用来按照所需图形对投影束作图;用于夹持衬底的衬底台;投影系统,用来将作图的束投射至衬底的目标部分上;辐射感测器,它可以在投影束经过的路径上移动,用来接收来自投影束的一次辐射,该感测器包括:一种辐射敏感材料,它将入射的一次辐射转变为二次辐射;能感测从该材料发出的二次辐射的感测装置;及一种滤波材料,它防止二次辐射在背离辐射感测装置的方向传播。

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