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公开(公告)号：CN1765037A
公开(公告)日：2006-04-26
申请号：CN200580000140.8
申请日：2005-02-10
Applicant: 安立股份有限公司
CPC classification number: H01S5/12 , G01J3/433 , G01N21/39 , H01S5/02415 , H01S5/0683 , H01S5/1039 , H01S5/227
Abstract: 一种波长可调半导体激光器，其包括：n型半导体衬底；设置在所述n型半导体衬底上且能够发光的有源层；设置在所述有源层上的p型覆层；以及用于使有源层中发出的光的特定波长选择性振荡的波长选择装置。在电流注入到所述有源层中时，所述波长可变半导体激光器以特定波长振荡，所述特定波长可以通过改变所述电流的大小而被改变。表示在产生的光的传播方向上的长度的器件长度在约200μm到500μm的范围。表示在与所述光的传播方向垂直且与所述衬底平行的方向上的长度的有源层的宽度在约1μm到2μm的范围。所述p型覆层包括从有源层一侧顺序形成的具有低杂质浓度的低浓度覆层子层和具有高杂质浓度的高浓度覆层子层。
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公开(公告)号：CN1283789A
公开(公告)日：2001-02-14
申请号：CN00120052.6
申请日：1996-10-09
Applicant: 液体空气乔治洛德方法利用和研究有限公司
CPC classification number: G01N21/3504 , C23C16/4412 , G01J3/433 , G01N21/031 , G01N21/05 , G01N21/15
Abstract: 提供一种新型的多边形平面多路径元件,以及在吸收光谱测定中应用的方法。元件包括被多个薄壁环绕的样品区,每个薄壁有一个面向样品区的光反射表面。每个薄壁至少连接到另一个薄壁,使得在横截面实质上形成一个多边形。多边形的至少一个边具有一个光进/出口,进/出口含有一个光传输窗,窗有一个面向样品区的表面元件可用于测量样品中分子气体杂质,特别适用于半导体加工。
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公开(公告)号：CN1283788A
公开(公告)日：2001-02-14
申请号：CN00120053.4
申请日：1996-10-09
Applicant: 液体空气乔治洛德方法利用和研究有限公司
IPC: G01N21/25
CPC classification number: C23C16/4412 , G01J3/433 , G01J3/4338 , G01N21/031 , G01N21/3504
Abstract: 一种谐波测定光谱的新颖方法和装置,包括装备一确定试样区范围的室,该室具有至少一个光入/出口;一频率和/或幅度调制光源。光源的幅度调整到试样区内被测气相分子种类产生的吸收特征区中心上的谐波信号达到最大时的数值。光源的中心频率被锁定到吸收特征区的中心或在特征频率的区段内反复扫描,产生的光谱被记录或平均。装备有探测器,测量从室出射的光束。在室外面容器内装有光源和探测器。本方法检测试样中的气相分子种类,在半导体工艺中有特定的适用范围。
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公开(公告)号：CN104422658B
公开(公告)日：2019-07-05
申请号：CN201410437506.9
申请日：2014-08-29
Applicant: 通用电气公司
Inventor： N.卡伍里塞图马哈文 , S.迈蒂 , N.乔扈里
IPC: G01N21/17
CPC classification number: G01N21/1702 , G01J3/433 , G01N21/3577 , G01N21/39 , G01N21/85 , G01N29/222 , G01N29/2425 , G01N29/30 , G01N33/2841 , G01N33/2847 , G01N2021/1704 , G01N2201/06113 , G01N2201/067 , G01N2291/02809
Abstract: 本发明提供一种用于检测样本流体中的组分的系统和方法，该系统包括具有样本流体的第一腔室和连接到该第一腔室的第二腔室，其中该第二腔室具有参考流体。该系统包括调制光源，用于向该样本流体和该参考流体发射调制光束，以在该第一腔室中产生第一声学信号并且在该第二腔室中产生第二声学信号。该系统进一步包括设置在该第一腔室与该第二腔室之间的压力传感器，用于检测该第一声学信号与该第二声学信号之间的差异。该系统包括基于处理器的模块，该模块可通信地连接到该压力传感器，并且配置成接收指示该差异的信号且确定该样本流体中的组分和该组分的浓度这两项中的至少一项。
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公开(公告)号：CN104792728B
公开(公告)日：2018-04-24
申请号：CN201510030169.6
申请日：2015-01-21
Applicant: 西门子公司
Inventor： 拉尔夫·比特 , 托马斯·汉凯维奇 , 克里斯托弗·沃尔夫冈·马夸特 , 阿德里安·穆哈 , 扬·奈格伦 , 凯-乌韦·普莱班 , 弗朗茨·施泰因巴赫尔
CPC classification number: G01N21/39 , G01J3/0286 , G01J3/28 , G01J3/433 , G01N33/0062 , G01N2021/399
Abstract: 本发明涉及一种基于波长调制光谱学(WMS)的、用于气体分析的方法，在该方法中，在调制频率的谐波中解调所获得的测量信号(13)并且通过使额定曲线(19)拟合到解调的测量信号(13′)的变化曲线上分析出测量结果(17)。为了减少由于干扰影响(例如：温度变化，干扰气体的浓度变化)所产生的测量结果的变化，无论是解调的测量信号(13′)还是额定曲线(19)均利用相同的过滤函数(滤波器15，20)过滤，其中，过滤函数设计用于，抑制干扰信号部分，其既与解调的测量信号(13′)的有效信号部分发生干涉也与额定曲线(19)发生干涉。
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Patent Agency Ranking
公开(公告)号：CN105372188B
公开(公告)日：2018-04-10
申请号：CN201510498608.6
申请日：2015-08-13
Applicant: 西门子公司
Inventor： 拉尔夫·比特
IPC: G01N21/31
CPC classification number: G01N21/31 , G01J3/433 , G01N21/3504 , G01N21/39 , G01N33/0073 , G01N2201/061
Abstract: 已知为了测量测量气的感兴趣的气体组分的浓度，激光器光线波长被谐调到感兴趣的气体组分的特定吸收谱线上，调制过的光线穿过包含测量气的多反射气体单元引导到探测器上并且由探测器产生的用于测定用于待测量的浓度的测量结果的测量信号被评估。为对由于在吸收光谱仪中的光路长度的变化对测量结果的影响补偿，激光器光线利用在MHz区域中的至少一个导频进行调制。测量信号对于导频相位敏感地评估。在此获得的相位信息与在校准吸收光谱仪时获得的相位信息比较。根据两个相位信息的差校正测量结果。可替换的是，利用两个导频调制激光器光线。分别相位敏感地探测包含在测量信号中的具有导频的信号分量且评估两个信号分量在此获得的相位信息的差。
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公开(公告)号：CN104458650B
公开(公告)日：2018-01-19
申请号：CN201410494303.3
申请日：2014-09-24
Applicant: 西门子公司
Inventor： 弗朗茨·施泰因巴赫尔
IPC: G01N21/39
CPC classification number: G01N21/00 , G01J3/433 , G01J2003/4334 , G01N21/39 , G01N33/0062 , G01N2201/0691
Abstract: 本发明涉及用于测量试样气体中气体成分浓度的方法和气体分析仪。为依波长扫描试样气体中待测气体成分的吸收谱线，能调谐波长的光源的光的波长在周期性依次连续的扫描区间中变化并在此附加利用调制频率来调制。调制光引导穿过试样气体至探测器，其测量信号在调制频率的二次谐波中来解调并分析在此获得的解调的测量信号来得出每个扫描区间的测量结果。为改进测量信号噪音关系，附加利用至少一个其他频率调制光源光的波长，该频率比下一个更低的其他频率或者调制频率大调制频率值的两倍。在至少一个其他频率的二次谐波中附加解调测量信号。此时获得的至少一个其他解调测量信号或与解调测量信号组合，或经分析得出其他测量结果，其与测量结果组合。
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公开(公告)号：CN107003232A
公开(公告)日：2017-08-01
申请号：CN201580064638.4
申请日：2015-12-10
Applicant: 统雷有限公司
IPC: G01N21/17
CPC classification number: G01J3/36 , G01J3/433 , G01J3/4338 , G01N21/1702 , G01N21/39 , G01N2201/06113 , G01N2201/0691 , G01N2201/12
Abstract: 公开了一种能够使用光谱法对样品中的材料浓度值进行高灵敏度测量的系统。该系统利用具有减少的总信道的传感器输出的原始信号进行高速数据采集和高分辨率采样，并使用傅里叶变换方法对信号进行频率分析，以并行处理所有传感器通道。当每个传感器以某些特定频率对某些材料进行检测时，系统能够以高测量灵敏度和高速度同时对样品中感兴趣的多种材料进行检测。
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公开(公告)号：CN104515745B
公开(公告)日：2017-05-17
申请号：CN201410521849.3
申请日：2014-09-30
Applicant: 西克股份公司
IPC: G01N21/3504
CPC classification number: G01J3/0205 , G01J3/0235 , G01J3/12 , G01J3/26 , G01J3/433 , G01J2003/1282 , G01N21/3504 , G01N33/0062
Abstract: 本发明涉及用于气体分析的光谱仪。其中提出了一种用于气体分析的光谱仪(10)，该光谱仪包括：填充有待测气体(30)的测量室(28)；用于在光路(16)上将光(14)发射到测量室(28)的光源(12)；滤波器布置(22)，其具有在光路(16)上的法布里‑珀罗滤波器(24a‑c)以便通过滤波器布置(22)的透射光谱来调节光(14)的频率特性；以及，检测器(36、38)，其通过测量室(28)中的气体(30)来测量光(14)的吸收。同时，滤波器布置(22)具有多个依次布置在光路(14)中的法布里‑珀罗滤波器(24a‑c)，并且还设置了用于滤波器布置(22)的控制器(44)，以便通过调节至少一个法布里‑珀罗滤波器(24a‑c)来改变透射光谱。
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公开(公告)号：CN106595862A
公开(公告)日：2017-04-26
申请号：CN201611236187.0
申请日：2016-12-28
Applicant: 华中科技大学
CPC classification number: G01J3/28 , G01J3/02 , G01J3/0259 , G01J3/0286 , G01J3/42 , G01J3/433 , G01J3/4338 , G01J2003/425 , G01J2003/4332
Abstract: 本发明涉及一种采用光栅对可调FP温度和非线性补偿的光谱分析装置，该装置包括宽谱光源、光学调制模块、环形器、光栅串、温度测量模块、耦合器、可调FP滤波模块、滤波模块、控制模块和探测模块。宽谱光源的光信号经光学调制模块频率调制和光栅串波长选择后为参考光与待测光混为一路光，进入可调FP滤波模块波长扫描，后经滤波模块滤波区分参考光和待测光。通过温度测量模块查询光栅串温度后，控制模块经参考光对待测光进行温度和非线性补偿，最终输出待测光的精确光谱。与现有技术相比，系统体积小，集成度高，可实现性好，可同时去除可调FP滤波模块非线性和温度的影响；补偿过程能自动处理，实现实时动态补偿。
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