公开(公告)号：TW200641347A

公开(公告)日：2006-12-01

申请号：TW095117701

申请日：2006-05-18

Applicant: 愛發科股份有限公司 ULVAC, INC.

Inventor： 中島豐昭 NAKAJIMA, TOYOAKI ,  吉澤秀樹 YOSHIZAWA, HIDEKI

IPC: G01N

CPC classification number: G01N27/62 ,  G01M3/202 ,  H01J41/10 ,  H01J49/00

Abstract: 一種質量分析裝置，係安裝於處理室的壁部，分析存在於該處理室內的分析對象氣體之質量分析裝置，其特徵為：具備：於向前述處理室安裝時，被插入前述處理室內，測定每個前述分析對象氣體中的氣體成分的質量電荷比之分壓的測定部、和在向前述處理室的安裝時，位於前述壁部的外側，操作前述測定部之操作部、和在向前述處理室的安裝時，位於前述壁部的外側，顯示前述測定部的測定結果之顯示部；將前述測定部與前述操作部與前述前述顯示部相互接近而配設。

Abstract in simplified Chinese: 一种质量分析设备，系安装于处理室的壁部，分析存在于该处理室内的分析对象气体之质量分析设备，其特征为：具备：于向前述处理室安装时，被插入前述处理室内，测定每个前述分析对象气体中的气体成分的质量电荷比之分压的测定部、和在向前述处理室的安装时，位于前述壁部的外侧，操作前述测定部之操作部、和在向前述处理室的安装时，位于前述壁部的外侧，显示前述测定部的测定结果之显示部；将前述测定部与前述操作部与前述前述显示部相互接近而配设。