一种用于热阴极弧放电离子源的可更换灯丝组件

    公开(公告)号:CN212967597U

    公开(公告)日:2021-04-13

    申请号:CN202021423071.X

    申请日:2020-07-17

    Abstract: 本实用新型涉及热阴极弧放电离子源技术领域,具体涉及一种用于热阴极弧放电离子源的可更换灯丝组件。本实用新型包括馈电连接铜杆、陶瓷管、安装法兰、金属保护管、屏蔽陶瓷管、灯丝安装端子、灯丝;安装法兰上设有两个馈穿孔,每个馈穿孔的两侧分别固定连接有陶瓷管和金属保护管,馈电连接铜杆的前端穿过陶瓷管和金属保护管中心进入真空环境,馈电连接铜杆穿出馈穿孔的部分上套有屏蔽陶瓷管,馈电连接铜杆前端连接有灯丝安装端子,灯丝连接在两个灯丝安装端子上。本实用新型能够保证离子源能够快速更换灯丝,便于维护和维修。

    一种长杆状可伸缩旋转型离子源

    公开(公告)号:CN205508760U

    公开(公告)日:2016-08-24

    申请号:CN201620237927.1

    申请日:2016-03-23

    Abstract: 本实用新型公开了一种长杆状可伸缩旋转型离子源,包括有离子源外部长杆、离子源头部外壳和位于离子源外部长杆、离子源头部外壳之间头部连接座,以及位于离子源头部外壳内部的离子源灯丝、进气管,离子源外部长杆上套设有压块座,压块座通过压紧螺栓向上固定在连接法兰上,压块座与连接法兰之间设有氟橡胶密封圈;离子源灯丝的两极安装在两个灯丝支撑座上,灯丝支撑座上内钎焊有灯丝冷却水管,离子源头部外壳固定在头部连接座上,头部连接座内设有头部外壳冷却水管。本实用新型装置可以满足需要离子源自由伸缩长度、可旋转、方便拆卸且具有自冷却功能的要求,且结构简单安装方便。

    离子枪消音装置
    53.
    实用新型

    公开(公告)号:CN2896509Y

    公开(公告)日:2007-05-02

    申请号:CN200620115129.8

    申请日:2006-05-16

    Inventor: 魏国忠

    Abstract: 一种离子枪消音装置,离子枪包括一喷嘴,消音装置包含一中空管体、一第一、一第二定位件、一中空网管及一消音元件,中空管体包括一与喷嘴接合的进气口,及一设于进气口相对端的出气口,第一定位件设于中空管体内邻近进气口处,并包括一与进气口相连通的第一穿孔,第一穿孔具有一由邻近进气口的一端朝另一相反端孔径渐缩的第一孔部,第二定位件设于中空管体内邻近出气口处,并包括一与出气口相连通的第二穿孔,中空网管两端分别接合于第一、第二定位件之间,消音元件包覆于中空壳体外表面,借此以降低气体排出时的噪音。

    一种射频离子源装置
    54.
    实用新型

    公开(公告)号:CN221747151U

    公开(公告)日:2024-09-20

    申请号:CN202420269259.5

    申请日:2024-02-04

    Inventor: 董所涛 陈靖玉

    Abstract: 本实用新型公开了一种射频离子源装置,包括:底座,设置在所述底座顶部的射频离子源本体和移动框,以及设置在所述移动框内部的夹持组件;在对使用设备进行夹持安装时,通过气缸、三角块、推杆、弧形杆、第一滚筒和第二滚筒的配合,若干弧形杆和推杆的顶部会形成夹持空间,三角块和推杆上升时,弧形杆位于移动框内部的一端,会沿着三角块的倾斜面向下移动,使得对称分布在推杆两侧的弧形杆,位于移动框顶部的一端相互靠近,进而逐渐缩小夹持空间,使得夹持空间可以根据所需进行有效的调节,对于不同体积使用设备的夹持较为灵活,并且夹持空间形成三点接触夹持,使得对使用设备形成有效的固定,从而提高了装置的实用性和稳定进行射频的效果。

    一种改进的多功能离子枪离子源结构

    公开(公告)号:CN219393323U

    公开(公告)日:2023-07-21

    申请号:CN202320399241.2

    申请日:2023-03-06

    Applicant: 兰州大学

    Abstract: 本实用新型公开了一种改进的多功能离子枪离子源结构,涉及表面科学应用技术、超高真空技术以及离子束技术领域,所述离子源结构包括法兰、第一连接杆、陶瓷管、第二连接杆、绝缘陶瓷、电离室,所述第一连接杆与第二连接杆位于法兰和绝缘陶瓷之间,所述陶瓷管位于法兰和绝缘陶瓷之间,所述电离室与绝缘陶瓷外侧安装;通过设置连接杆将法兰和电离室隔开一定的距离,如此设计保证在接高压时不发生打火现象,保证引出高压的稳定的目的;通过陶瓷管道将气体通入电离室,为保证陶瓷管道与法兰和绝缘陶瓷之间接触密封性,采用真空密封胶进行密封,保证输入电离室的气体量以及其气压的稳定性。

    一种离子源
    56.
    实用新型

    公开(公告)号:CN215008131U

    公开(公告)日:2021-12-03

    申请号:CN202121598251.6

    申请日:2021-07-14

    Inventor: 张继朋 魏国军

    Abstract: 本实用新型提供一种离子源,在放电室内可拆卸设置第二栅网,通过第二栅网上规律分布的开孔改变气体密度,从而调节电离后产生的离子数量,无需加工与所需离子分布相应的多层栅网,只需单独加工和更换第二栅网即可实现。

    一种等离子枪阳极冷却结构

    公开(公告)号:CN214797319U

    公开(公告)日:2021-11-19

    申请号:CN202120438941.9

    申请日:2021-03-01

    Abstract: 本实用新型公开了一种等离子枪阳极冷却结构,涉及等离子枪技术领域,其技术方案要点包括至少一个位于等离子枪阳极一端的冷却介质进口和冷却介质出口,所述等离子枪阳极的外周侧壁上设置有间隔排列的冷却介质进入通道和冷却介质排出通道,所述等离子枪阳极的另一端设置有循环回流腔,所述循环回流腔与冷却介质进入通道和冷却介质排出通道连通,所述冷却介质进口和所述冷却介质进入通道连通,所述冷却介质出口和所述冷却介质排出通道连通。本申请通过令冷却介质通过冷却介质进口进入到冷却介质进入通道,再通过冷却介质排出通道与冷却介质出口流出,形成闭合回路的冷却结构,使得该等离子枪阳极冷却结构具有冷却结构紧凑以及换热效率高的效果。

    钛钢齿状低温等离子正极发射片

    公开(公告)号:CN214753629U

    公开(公告)日:2021-11-16

    申请号:CN202120483395.0

    申请日:2021-03-05

    Inventor: 常贵新

    Abstract: 本实用新型涉及等离子体技术领域,具体为钛钢齿状低温等离子正极发射片,包括安装架,安装架上连接有多个固定板,多个固定板上卡设有多个齿状发射片,齿状发射片上连接有多个滑块,滑块与固定板滑动连接,固定板上安装有多个触点,滑块上安装有触板,滑块上连接有固定机构,固定机构包括U型板,U型板与滑块连接,U型板上通过弹簧连接有连接板,连接板上安装有连接杆,连接杆的底端贯穿U型板固定连接有定位柱,固定板上开设有多个与定位柱相匹配的定位槽,定位柱伸至定位槽的内部,定位槽的数量为触点的数量的两倍,其与其他介质的接触面积较大,发射的效率较高,实用性较高,并且其便于进行安装,使用局限性较低。

    一种射频线圈位置可调整的射频离子源

    公开(公告)号:CN210223933U

    公开(公告)日:2020-03-31

    申请号:CN201921361128.5

    申请日:2019-08-21

    Inventor: 陈晓东

    Abstract: 本实用新型涉及一种射频线圈位置可调整的射频离子源,具有绝缘底座、上盖以及保护壳,保护壳上端固定在上盖上,保护壳下端固定在绝缘底座上,绝缘底座上设有进气通道,上盖上设有栅极组件,保护壳内安装有电离腔,电离腔外周套设有射频线圈,射频线圈上固定有高度调节装置,用来调整射频线圈在电离腔外的位置,高度调节装置包括固定组件、支撑柱以及固定螺母,固定组件通过支撑柱,穿过绝缘底座,最后与固定螺母旋紧固定。本实用新型的目的是克服现有技术存在的缺陷,提供一种射频线圈位置可调整的射频离子源。

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