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公开(公告)号：CN108364839A
公开(公告)日：2018-08-03
申请号：CN201810139891.7
申请日：2018-02-09
Applicant: 中国科学院近代物理研究所
IPC: H01J3/12
Abstract: 本发明公开了一种束流自适应校正器件及校正电极板。该校正器件包括：两个相对设置的校正电极板，该校正电极板包括：绝缘基板；校正电极阵列，分布于绝缘基板之上，包含多个校正电极，多个校正电极之间通过电阻串互相连接在一起；吹风电极阵列，包含多个吹风电极，每个吹风电极分布于校正电极之间，多个吹风电极上可分别加载正负电压，形成空间上排布的正负电场；以及接地电极阵列，包含多个接地电极，每个接地电极分布于吹风电极与校正电极之间。该校正器件能够使出射的带电粒子束保持恒定的出射方向，而不随入射带电粒子束的轨迹变化而发生改变，达到自适应校正补偿，且不受器件几何结构精度、供电系统稳定度及灵敏度等的局限。
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公开(公告)号：CN108364839B
公开(公告)日：2019-11-15
申请号：CN201810139891.7
申请日：2018-02-09
Applicant: 中国科学院近代物理研究所
IPC: H01J3/12
Abstract: 本发明公开了一种束流自适应校正器件及校正电极板。该校正器件包括：两个相对设置的校正电极板，该校正电极板包括：绝缘基板；校正电极阵列，分布于绝缘基板之上，包含多个校正电极，多个校正电极之间通过电阻串互相连接在一起；吹风电极阵列，包含多个吹风电极，每个吹风电极分布于校正电极之间，多个吹风电极上可分别加载正负电压，形成空间上排布的正负电场；以及接地电极阵列，包含多个接地电极，每个接地电极分布于吹风电极与校正电极之间。该校正器件能够使出射的带电粒子束保持恒定的出射方向，而不随入射带电粒子束的轨迹变化而发生改变，达到自适应校正补偿，且不受器件几何结构精度、供电系统稳定度及灵敏度等的局限。
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公开(公告)号：CN1998059A
公开(公告)日：2007-07-11
申请号：CN200580022931.0
申请日：2005-06-06
Applicant: 马萨诸塞州技术研究院
Abstract: 带电粒子束系统包括形成具有椭圆横截面的非轴对称束的非轴对称二极管。聚焦元件将磁场用于聚焦和传输该非轴对称束，其中该非轴对称束与聚焦元件的通道大致匹配。
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公开(公告)号：CN111403251B
公开(公告)日：2025-02-21
申请号：CN202010286352.3
申请日：2020-04-13
Applicant: 中国兵器科学研究院宁波分院
Abstract: 本发明涉及一种射频离子源离子束束径约束器，其特征在于：所述束径约束器包括具有可供离子束穿过的中空结构的底座、多个叶片及驱动机构；所述多个叶片设于底座一端并环绕中空结构呈圆周排布，多个叶片的尾端伸入中空结构所在区域以围合形成可供离子束穿过的光阑，所述驱动机构可驱动叶片的尾端相对叶片排布形成的圆周中心运动以调节光阑大小。本发明还涉及一种包括束径约束器的控制装置及对应的方法，采用该装置及方法进行离子束束径控制，操作方便，调节精度好，效率高，而且成本节约。
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公开(公告)号：CN107993909B
公开(公告)日：2019-05-14
申请号：CN201711317954.5
申请日：2017-12-12
Applicant: 日新离子机器株式会社
Inventor： 井内裕
Abstract: 本发明提供一种离子源，能够实现位于漂移方向侧的丝极的长寿命化，并且能够从通过由该丝极所放出的电子生成的等离子体高效地引出离子束。该离子源具备：长条状的等离子体生成容器(10)；多个磁铁(30)，在等离子体生成容器(10)的内部形成会切磁场(B)；及多个第一丝极(40A)，沿着等离子体生成容器(10)的长度方向设置成列状，并插入到等离子体生成容器(10)的内部。由第一丝极(40A)放出的电子从长度方向的一侧朝着另一侧进行ExB漂移，从等离子体生成容器(10)的长度方向中央至在长度方向上最靠上述另一侧的第一丝极(40A)的距离(L2b)，比从等离子体生成容器(10)的长度方向中央至在长度方向上最靠上述一侧的第一丝极(40A)的距离(L1a)短。
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Patent Agency Ranking
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公开(公告)号：CN111403251A
公开(公告)日：2020-07-10
申请号：CN202010286352.3
申请日：2020-04-13
Applicant: 中国兵器科学研究院宁波分院
Abstract: 本发明涉及一种射频离子源离子束束径约束器，其特征在于：所述束径约束器包括具有可供离子束穿过的中空结构的底座、多个叶片及驱动机构；所述多个叶片设于底座一端并环绕中空结构呈圆周排布，多个叶片的尾端伸入中空结构所在区域以围合形成可供离子束穿过的光阑，所述驱动机构可驱动叶片的尾端相对叶片排布形成的圆周中心运动以调节光阑大小。本发明还涉及一种包括束径约束器的控制装置及对应的方法，采用该装置及方法进行离子束束径控制，操作方便，调节精度好，效率高，而且成本节约。
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公开(公告)号：CN102097265A
公开(公告)日：2011-06-15
申请号：CN201010617898.9
申请日：2010-12-31
Applicant: 中国航天科技集团公司第五研究院第五一○研究所
Abstract: 本发明涉及一种增强电子束流均匀性的装置，属于空间应用技术领域。本发明所述的一种增强电子束流均匀性的装置为电子散射网，所述电子散射网设置在距离产生散射型低能电子流的设备的发射口30～70mm处，电子散射网中孔隙的直径为0.1～0.5mm，电子散射网采用金属材料制成；散射型低能电子流的设备为电子枪时，将电子枪中的灯丝通过固定架固定在石棉座上。使用本发明的电子散射网，可使散射型低能电子流的设备发射出的电子束流散射面积增大大，电子束流均匀性增强，使用本发明的石棉座固定后的电子枪的灯丝不易发生形变。
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公开(公告)号：CN120048705A
公开(公告)日：2025-05-27
申请号：CN202510201741.4
申请日：2025-02-24
Applicant: 广州赛隆增材制造有限责任公司
IPC: H01J3/02 , H01J3/06 , H01J3/08 , H01J3/12 , B33Y10/00 , B22F12/41 , B22F12/45 , B22F10/28 , B33Y30/00 , B22F12/13
Abstract: 本发明属于增材制造技术领域，公开了一种多电子枪、多电子发射装置及增材制造装备。此多电子枪包括依次呈同轴对中自上而下间隔布设的阴极组件和阳极组件，阴极组件包括第一阴极和围绕第一阴极设置的若干第二阴极，第一阴极能够发射第一电子，若干第二阴极能够发射若干第二电子；阳极组件包括阳极板、多栅极结构和出口，阳极板用于吸引第一电子和若干第二电子，多栅极结构包括第一栅极和第二栅极，第一栅极用于调控第一电子形成第一电子束，第二栅极用于调控若干第二电子以形成若干第二电子束，第一电子束和若干第二电子束从出口射出以形成总电子束。第一电子束和若干第二电子束能量可调制，使得熔池的温度更加稳定。
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公开(公告)号：CN107993909A
公开(公告)日：2018-05-04
申请号：CN201711317954.5
申请日：2017-12-12
Applicant: 日新离子机器株式会社
Inventor： 井内裕
Abstract: 本发明提供一种离子源，能够实现位于漂移方向侧的丝极的长寿命化，并且能够从通过由该丝极所放出的电子生成的等离子体高效地引出离子束。该离子源具备：长条状的等离子体生成容器(10)；多个磁铁(30)，在等离子体生成容器(10)的内部形成会切磁场(B)；及多个第一丝极(40A)，沿着等离子体生成容器(10)的长度方向设置成列状，并插入到等离子体生成容器(10)的内部。由第一丝极(40A)放出的电子从长度方向的一侧朝着另一侧进行ExB漂移，从等离子体生成容器(10)的长度方向中央至在长度方向上最靠上述另一侧的第一丝极(40A)的距离(L2b)，比从等离子体生成容器(10)的长度方向中央至在长度方向上最靠上述一侧的第一丝极(40A)的距离(L1a)短。
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