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公开(公告)号：CN101329186B
公开(公告)日：2010-12-15
申请号：CN200810128533.2
申请日：2008-06-19
Applicant: 三丰株式会社
Inventor： 前田不二雄
CPC classification number: G01D5/38 , G02B5/1857 , G02B5/1861
Abstract: 本发明公开了一种表面反射编码器标尺和使用该标尺的表面反射编码器。该表面反射编码器标尺用于表面反射编码器，用于检测进行相对移动的构件的相对位移量。表面反射编码器标尺包括构件的基板或者设置在构件上的基板，以及设置在基板上的反射相栅，反射相栅的表面上具有用于改变反射衍射光的相位的凹凸。相栅的凹凸由金属硅化物和铬的沉积膜形成。
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公开(公告)号：CN1952596B
公开(公告)日：2010-07-21
申请号：CN200610136261.1
申请日：2006-10-19
Applicant: 三丰株式会社
Inventor： 新井雅典
CPC classification number: G01B11/007 , G01B5/008
Abstract: 本发明涉及探针观察装置、表面特性测定装置。该探针观察装置和表面特性测定装置包括：对探针(210)进行拍摄的摄像机(230)、将由摄像机(230)取得的图像数据进行图像处理的图像处理部(330)、将由图像处理部(330)进行了图像处理的图像数据进行显示的监视器(400)、以及用手动操作将图像处理内容进行指令输入的鼠标(500)。图像处理部(330)具备根据鼠标输入的指令而将图像数据加工处理的图像数据加工处理部(350)。摄像机(230)具有低倍率的透镜系统，其在使探针(210)进入到视野内的状态下被设置成对于探针(210)的相对位置固定的状态。
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公开(公告)号：CN1702435B
公开(公告)日：2010-05-12
申请号：CN200410103742.3
申请日：2004-09-30
Applicant: 三丰株式会社
Inventor： 约瑟夫·D·托比亚森
CPC classification number: G01D5/34723 , G01D5/38
Abstract: 本发明公开了一种用于传感标尺光栅位移的干涉测量光纤编码器读取头。该读取头的检测信道是具有各自的相位光栅掩模的光纤检测信道。该光纤编码器读取头被设置成检测由标尺光栅产生的干涉条纹的位移。在各种示例性实施例中，根据保证紧凑安装和相对理想的正弦信号作为位移函数的各种设计关系来构成并可操作地定位该光纤读取头。因此，可以实现高水平的位移信号的插值，可进行亚微米的位移测量。该光纤编码器读取头可用特别精确和经济的方法组装，且可被设置在1-2毫米数量级尺寸的包装内。
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公开(公告)号：CN100476365C
公开(公告)日：2009-04-08
申请号：CN200410045139.4
申请日：2004-02-12
Applicant: 三丰株式会社
IPC: G01D5/347
CPC classification number: G01D5/34715
Abstract: 一种可在一种接收光部对应不同间距的主尺的位移检测光电式编码器。其用相对上述主尺移动的由指示光栅(31)和接收光元件(32)组成的接收光部(30、33)检测至少由主尺(20、40)上的光栅(21、42)产生的干涉条纹。通过在上述主尺与接收光部之间插入透镜(60)和/或孔阑(62)，调整该透镜或孔阑与主尺和接收光部之间的距离(a，b)或(m，l)，进行放大率设定。
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公开(公告)号：CN101358845A
公开(公告)日：2009-02-04
申请号：CN200810144381.5
申请日：2008-08-04
Applicant: 三丰株式会社
Inventor： 清谷进吾
Abstract: 一种表面形状测定装置，具备：动作推定部(300)，其根据仿形矢量指令部(220)发出的仿形矢量指令来推定驱动机构的动作状态并计算推定动作状态量；校正运算部(400)，其根据动作推定部(300)计算的推定动作状态量来校正运算驱动传感器的检测值。动作推定部(300)具有标称模型设定部(311)，其设定从仿形矢量指令被发出到反映仿形探测器的移动位置之前的信号传递特性即标称模型，校正运算部(400)包括：校正量计算部(420)，其根据推定动作状态量来计算对由驱动中驱动机构变形产生的测定误差进行校正的校正量；测定数据合成部(430)，其把驱动传感器和检测传感器的检测值与由校正量计算部(420)计算的校正量进行合成并作为测定数据。
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Patent Agency Ranking
公开(公告)号：CN100430684C
公开(公告)日：2008-11-05
申请号：CN200410098158.3
申请日：2004-08-09
Applicant: 三丰株式会社
Inventor： 迈克尔·内厄姆
IPC: G01B9/02
CPC classification number: G01B9/02081 , G01B9/02004 , G01B2290/70
Abstract: 一种用于测量距离(例如在微米范围内)的常规相移干涉仪，通常提供两个正交信号。输出信号通常包括偏移，而偏移除非得到补偿或消除，否则会引入相关的测量误差。用于消除偏移的标准方法，是产生和/或处理相移180度或者其他已知量的附加信号。相反，本发明通过在探测器采集或积分偏移确定信号期间，改变干涉仪照明源的辐射波长，提供表示对干涉仪中探测器信号有贡献的偏移的信号。对于多种干涉仪设计而言，该方法可以方便地由干涉仪的各信号检测通道实现。该方法在非常短的时间周期内确定偏移误差，并且无需提供附加调节光路或可控制相移。
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公开(公告)号：CN101251377A
公开(公告)日：2008-08-27
申请号：CN200810095115.8
申请日：2008-02-05
Applicant: 三丰株式会社
CPC classification number: G01B5/012
Abstract: 本发明提供一种坐标测量辅助用具，在采用坐标测量仪测量坐标时使用该坐标测量辅助用具，该坐标测量辅助用具具有：安装于坐标测量用探测器外周的筒状体和用于将该筒状体固定在探测器前端从而定位的夹持机构。这样，通过采用结构简单且廉价的坐标测量辅助用具，能够容易且正确地进行对厚度很薄的板状被测量物的测量。其中，所述筒状体的至少一部分可以是透明的。此外，能调整所述筒状体的相对探测器的前端的位置。
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公开(公告)号：CN100397045C
公开(公告)日：2008-06-25
申请号：CN200510005680.7
申请日：2005-01-24
Applicant: 三丰株式会社
CPC classification number: G01D5/38 , G01D5/34707 , G02B5/1857
Abstract: 一种光电式编码器，在标尺的基板上形成钨材料构成的第一金属层，在该金属层上形成铬材料构成的第二金属层，以抗蚀剂为掩膜，并且以第一金属层为蚀刻停止层，通过选择性地去掉第二金属层而形成光栅。
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公开(公告)号：CN101183016A
公开(公告)日：2008-05-21
申请号：CN200710186975.8
申请日：2007-11-15
Applicant: 三丰株式会社
CPC classification number: G01D5/34792
Abstract: 本发明涉及一种光学式编码器，该光学式编码器(100)包括发光元件(30)和受光部(40)，该发光元件(30)包括具有射出红色光的红色LED(31A)的主信号用发光元件(31)、和具有射出红外光的红外LED(32A)的原点用发光元件(32)；该受光部(40)包括接受红色光而生成规定信号的主信号用受光元件(41)、和接受红外光而生成规定信号的原点用受光元件(42)。由此，即使红外光和红色光射入不对应的受光元件而成为入射光，由这些光也不会造成信号的发生，从而，能够良好地防止串扰，使光学式编码器(100)的测定精度高精度化。
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公开(公告)号：CN100375884C
公开(公告)日：2008-03-19
申请号：CN200410078539.5
申请日：2004-09-09
Applicant: 三丰株式会社
Abstract: 本发明提供一种形状测定装置，包括：测定部(302)，将直规尺(321)和被测定物(305)的边组合并取得测定彼此间隔的测定数据；示数设定部，设定表示从参照直线R至直规尺(321)和被测定物(305)的边的距离的形状示数，以及表示被测定物(305)的内角和直规尺(321)构成的角的角度示数(θ)；方程式组导出部，根据测定数据导出有关直规尺(321)和被测定物(305)的边构成的组的方程式组；以及方程式组运算部，求解导出的方程式组。
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