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公开(公告)号：JPWO2015098699A1
公开(公告)日：2017-03-23
申请号：JP2015554802
申请日：2014-12-18
Applicant: 並木精密宝石株式会社
Inventor： 奈津子 青田 , 奈津子 青田 , 高橋 祐司 , 祐司 高橋 , 崇広 八木澤 , 崇広 八木澤 , 輝夫 黒岩 , 輝夫 黒岩 , 春治 片倉 , 春治 片倉 , 英雄 会田 , 英雄 会田 , 悠宗 石田 , 悠宗 石田 , 秀太 内海 , 秀太 内海
IPC: H01L21/304 , F26B5/08 , H01L21/683
CPC classification number: F26B5/08 , H01L21/02052 , H01L21/67028 , H01L21/67034 , H01L21/67046 , H01L21/6838
Abstract: 【課題】小型の基板の洗浄と乾燥の両工程を行うことが可能であり、且つ体積の増大を防止し、更に小型の基板であっても乾燥工程時に充分な遠心力を加えて基板の乾燥を行うことが可能であり、高い基板清浄度が達成される洗浄装置を提供する。【解決手段】表面積が25.8064cm2未満の基板を洗浄及び乾燥する1つのチャック装置を備え、更に外形の体積が1.0m3未満であり、乾燥時に151g以上の遠心力を基板に加える洗浄装置である。チャック装置は基板を回転させる回転軸を備え、その回転軸の軸心に対して基板を偏心して配置し基板を乾燥させる。更にチャック装置を回転する回転機構を備え、回転機構によりチャック装置が回転され、基板を偏心によりスピン乾燥する。又は、チャック装置が回転軸を有する円盤台であり、円盤台の中心以外に基板を吸着して保持する真空チャックを備える。【選択図】図3
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公开(公告)号：JPWO2015064321A1
公开(公告)日：2017-03-09
申请号：JP2015544897
申请日：2014-10-08
Applicant: 並木精密宝石株式会社
IPC: H02N2/00
Abstract: 生産性を向上できる上、振動を効率的に可動軸に伝達することができる振動アクチュエータを提供する。ステータ(10)と、該ステータ(10)に接触状態で挿入された可動軸(20)と、ステータ(10)に固定された振動源(30)とを備え、振動源(30)の振動によりステータ(10)を振動させ、このステータ(10)の振動により可動軸(20)を運動させるようにした振動アクチュエータにおいて、ステータ(10)は、可動軸挿入孔(11a)を有する板状部材(11)を、その厚さ方向に複数枚重ね合わせ接合してなる。
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公开(公告)号：JPWO2015046397A1
公开(公告)日：2017-03-09
申请号：JP2015539368
申请日：2014-09-26
CPC classification number: A61M5/1456 , A61M5/1458 , A61M5/16831 , A61M39/281 , A61M2205/14 , A61M2205/3306 , A61M2205/3317 , A61M2205/3334 , A61M2205/6036 , A61M2230/62 , A61M2230/63
Abstract: 【課題】サイフォニング現象を効果的に防ぐ。【解決手段】シリンジ装着部11に装着されるシリンジ注入器1のピストン1aを押動部13により押動して、シリンジ注入器1のシリンジ1b内の液体を、シリンジ1bの先端に接続される可撓性の輸液チューブ2へ送り込むようにしたシリンジポンプにおいて、異常を感知してその感知信号を出力する異常感知部a1〜a3と、輸液チューブ2を外部から押圧変形して閉鎖するバルブ装置a4とを具備し、異常感知部a1〜a3による感知信号があったことを条件に、バルブ装置a4を閉動するようにした。【選択図】図1
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公开(公告)号：JP2017043538A
公开(公告)日：2017-03-02
申请号：JP2016161722
申请日：2016-08-22
Applicant: 並木精密宝石株式会社
IPC: C01B32/18 , C01B32/182 , C30B29/02 , C23C16/01 , C23C16/26 , H01L21/205 , C01B32/15
Abstract: 【課題】シワが少ないグラフェン膜とそのグラフェン膜を得るために最適な下地基板を提供する。下地基板との熱膨張係数差により導入されるグラフェン膜のシワを低減する手法を明らかにする。 【解決手段】厚みが0.1mm以上である基板を用いてグラフェン膜を成膜することにより、シワの少ないグラフェン膜を得ることができ、グラフェン膜を用いたデバイスの収率を向上することができる。シワの密度が0.004本/μm 2 以下であるグラフェン膜とする。また、厚みが0.1mm以上である基板上に、シワの密度が0.004本/μm 2 以下であるグラフェン膜が成膜された複合体の製造方法とする。 【選択図】図1
Abstract translation: 为了提供最佳的基底基板，以获得皱纹是小石墨烯膜和石墨烯层。 它揭示了减少由基底基板之间的热膨胀系数的差异引入的石墨烯膜的褶皱的方法。 通过使用形成在基片A的厚度为0.1mm或更大的石墨烯膜，能够得到较少的皱纹石墨烯膜，可以使用石墨烯膜，以改善器件的成品率 。 皱纹密度和石墨烯膜0.004本/微米@ 2以下。 厚度是在基底为0.1mm以上时，皱纹的石墨烯膜密度为0.004本/微米@ 2或更小，并且形成的复合物的制造方法。 1点域
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公开(公告)号：JP2017043537A
公开(公告)日：2017-03-02
申请号：JP2016161720
申请日：2016-08-22
Applicant: 並木精密宝石株式会社
IPC: C01B32/18 , C01B32/182 , C23C16/26 , C01B32/15
Abstract: 【課題】高品質でかつ層数制御されたグラフェン膜とそのグラフェン膜を得るために最適なサファイア基板を提供する。グラフェン膜を高品質化し、かつ層数制御を可能とするために最適なグラフェン膜成長用サファイア基板の特性を明らかにする。 【解決手段】グラフェン成長用サファイア基板の成長面と反対側の面の表面粗さRaを3μm未満とすることにより、高品質でかつ層数制御されたグラフェン膜を得ることができる。成膜面と反対側の面の表面粗さRaが3μm未満である単結晶サファイア基板と、前記成膜面上に成長した金属膜と、前記金属膜上に成長したグラフェン膜を有する複合体とする。 【選択図】なし
Abstract translation: 到在为了获得高的质量和层号控制石墨烯膜和石墨烯层提供一个最好的蓝宝石衬底。 石墨烯膜高品质和揭示，以便使该层号控制生长蓝宝石衬底的最佳石墨烯膜性能。 通过对相对的表面的石墨烯生长和表面粗糙度Ra在蓝宝石衬底的生长表面A小于3微米，可以得到与控制石墨烯膜与高品质的层的数目。 沉积表面和相反侧的单晶蓝宝石基板表面粗糙度Ra的表面的小于3微米，并生长在沉积表面上的金属膜，具有石墨烯薄膜的复合在金属膜上生长 到。 系统技术领域
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Patent Agency Ranking
公开(公告)号：JP2017040567A
公开(公告)日：2017-02-23
申请号：JP2015162712
申请日：2015-08-20
Applicant: 並木精密宝石株式会社
Abstract: 【課題】光学式距離計および長さ基準器であるブロックゲージを用いることで、ナノメートルオーダーの測定精度で校正する内面測定機の校正装置を提供する。 【解決手段】摺動自在な第2ブロック2を摺動させ突出させた状態で第2ブロック2に光学式距離計4の光線を照射、続いて、第2ブロック2を引き戻して光線を第1ブロック1に照射することで、第2ブロック2の絶対厚さ寸法を求め、これを第1ブロック1と第3ブロック3との間の絶対距離とする。そして、第1ブロック1と第3ブロック3との間に、被検体となる内面測定機5を挿入し、第1ブロック1と第3ブロック3との距離を測定する。そして、内面測定機5の表示値を、絶対厚さ寸法に校正する。 【選択図】図1
Abstract translation: 阿通过使用块规是光学距离计和长度数据，以提供内表面测量机的一个校准装置，以通过纳米级的测量精度进行校准。 在突出的可滑动的第二块2滑动的状态在第二块2的射线的照射光波距离计4，接着通过光拉回第二块2的第一 通过照射块1，第二块2的绝对厚度，向其中第一块和第三块3之间的绝对距离。 然后，第一块1和第三块3之间，插入内表面测量器5作为对象，测量第一块1和第三块3之间的距离。 然后，将内表面测量仪5的显示值，来校准绝对厚度。 点域1
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公开(公告)号：JPWO2014115361A1
公开(公告)日：2017-01-26
申请号：JP2014558427
申请日：2013-08-22
Applicant: 並木精密宝石株式会社
CPC classification number: A61B5/0084 , A61B1/0017 , A61B1/00172 , A61B1/00177 , A61B5/0066 , G02B6/262 , G02B23/2469
Abstract: 動圧軸受により安定した観察画像を得ることができる光イメージング用プローブを提供する。前端側に入射した光を後方へ導く光イメージング用プローブにおいて、回転子11を駆動回転させる回転駆動源10と、回転子11の回転中心側に軸方向へわたって挿通され固定された管状回転軸20と、管状回転軸20に挿通されるとともにその前端側に光を入射可能な光ファイバ30と、管状回転軸20を回転可能に支持する軸受部材41,42とを備え、軸受部材41,42が、周方向の複数箇所で局部的に高い潤滑膜圧力を発生させる動圧軸受を構成している。
Abstract translation: 它提供了可通过动力轴承获得稳定的观察图像的光学成像的探针。 一种用于光学成像的探针，引导光入射到前侧到后侧，和旋转驱动源10旋转地驱动转子11，其被插入在所述轴向固定到转子11的旋转中心侧的旋转筒轴 20，光纤能够将光的，同时通过管状旋转轴20，用于可旋转地支撑所述旋转筒轴20，轴承部件41和42的轴承件41被插入前侧30 但构成动压轴承在所述多个位置中的圆周方向上产生局部高的润滑膜的压力。
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公开(公告)号：JPWO2014077308A1
公开(公告)日：2017-01-05
申请号：JP2014547023
申请日：2013-11-14
CPC classification number: F04B43/1253 , A61M5/14228 , A61M39/281 , F04B43/0072 , F04B43/08 , F04B43/082 , F04B43/12
Abstract: 【課題】ドアの開閉操作性を向上する。【解決手段】着脱可能に装着されるチューブ30内の液体をポンプ機構50により移送するチュービングポンプにおいて、チューブ30を着脱可能な基台11を有するポンプ本体10と、基台11を開閉するようにポンプ本体10に対し回動可能に軸支されるドア20と、ドア20を全開側の第1の回動範囲R1で開放方向へ付勢し全閉側の第2の回動範囲R2では付勢方向を閉鎖方向へ切り替える切替付勢手段Aと、第2の回動範囲R2で切替付勢手段Aによる閉鎖方向の付勢力を抑制する閉動抑制手段Bとを具備する。【選択図】図5
Abstract translation: 本发明的一个目的是改进所述门的打开和关闭操作。 解决方案：在可拆卸地管式泵通过管30泵送的液体的机构50传递到被安装，具有基部11可移除管30，以打开和关闭底座上的泵主体10 11 一个门20，其枢转地相对于所述泵本体10支撑，第二偏压全闭的旋转范围R2敦促门20完全打开侧的第一转动范围R1向打开方向 通电方向包括用于切换的关闭方向的切换偏置装置一个，并且抑制闭抑制装置B通过切换偏置向关闭方向的作用力在所述第二转动范围R2表示。 点域5
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公开(公告)号：JP6025080B1
公开(公告)日：2016-11-16
申请号：JP2015255504
申请日：2015-12-26
Applicant: 並木精密宝石株式会社
Abstract: 【課題】 10枚以上となる多数枚の同時育成に際して各リボン間の育成条件を安定させると共に、サイドスリップ不良の発生を防ぎ、スプレディング時間を短縮すると共に、育成する全てのサファイアリボン幅をダイパック幅にて安定させることが可能なEFG育成炉を提供する。 【解決手段】 ダイパック側面に積層配置した熱反射板のうち、中板の一部を取り除いて積層することで、ダイパック中央と両端に対してヒーターから照射される輻射熱の量を変化させ、ダイパック先端部に於ける温度勾配を揃え、育成する全てのサファイアリボン幅をダイパック幅にて安定させることが可能なEFG育成炉を提供することができる。 【選択図】 図2
Abstract translation: 10个或更多的单张纸的时间成为大量的与稳定，防止侧滑缺陷的发生，以及降低铺展时间，所有蓝宝石色带宽度以福斯特·戴伊包带之间的并发培育生长条件 以提供EFG生长炉内，可以在宽度来稳定。 热反射器之间的层叠设置的染料组侧，通过由中间板的除去部，改变从所述加热器相对于染料包的中心和两端，染料包尖端发出的辐射热的量堆叠 在温度梯度对齐部，能够提供所有能够稳定在染料包宽度蓝宝石色带宽度生长的EFG生长炉。 .The
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