公开(公告)号：KR1020150106984A

公开(公告)日：2015-09-23

申请号：KR1020140028815

申请日：2014-03-12

Applicant: 재단법인 나노기반소프트일렉트로닉스연구단

Inventor： 조길원 ,  봉효진

IPC: C01B31/02 ,  C23C16/26 ,  B01J23/42 ,  B01J23/00

CPC classification number: Y02P20/149 ,  C01B32/186 ,  B01J23/00 ,  B01J23/42 ,  C23C16/26

Abstract: 본 발명은 금속 촉매층을 포함하는 박막을 쌓아 중첩시켜 중첩체를 제조하는 단계(단계 a); 및 화학기상증착을 수행하여 금속 촉매층 상에 그래핀을 제조하는 단계(단계 b);를 포함하는 그래핀의 제조방법을 제공한다. 이에 의하면, 화학기상증착 장치 내에서 금속 촉매 분자의 이동을 촉진함과 동시에, 중첩된 기판의 영향으로 금속 촉매의 기상 증발을 방지하여 금속 촉매 표면의 마이크로 단위의 그레인 바운더리(Grain Boundary)의 크기를 줄여 투명성을 향상시킬 수 있다. 또한, 탄소 원천의 가스의 다양한 농도에서 성장하는 그래핀 시트를 합성할 수 있으며, 화학기상증착 장치 내의 한정된 공간 내에서 효율적으로 대량생산을 할 수 있도록 한다.

Abstract translation: 本发明涉及石墨烯制备方法。 该方法包括以下步骤：堆叠和重叠具有金属催化剂层的薄膜以制备重叠体（步骤a）; 并进行化学气相沉积操作以在金属催化剂层上制备石墨烯（步骤b）。 本发明可以促进金属催化剂分子在化学气相沉积装置中的移动，并且通过使用重叠的基底的影响来防止金属催化剂的蒸发。 本发明还减小了作为金属催化剂表面上的微单元的晶界的尺寸，以提高透明度。 本发明还可以合成以各种碳源气体浓度速率生长的石墨烯片。 本发明还能够有效地在化学气相沉积设备的有限空间内批量生产。

公开(公告)号：KR101441062B1

公开(公告)日：2014-09-18

申请号：KR1020120084315

申请日：2012-08-01

Applicant: 재단법인 나노기반소프트일렉트로닉스연구단

Inventor： 조길원 ,  조새벽 ,  김광수 ,  홍병희 ,  박재성

IPC: H01L51/00 ,  B32B9/00 ,  H01L29/786

Abstract: 그래핀을 포함한 적층체 및 그 제조방법이 개시된다. 본 발명의 적층체는 전자주는 기(electron-donating group) 및 전자받는 기(electron-withdrawing group) 중에서 선택된 어느 하나를 갖는 제1분자를 포함하는 자기조립단분자층(SAMs; Self-Assembled Monolayers); 자기조립단분자층 상에 배치되고, 그래핀을 포함하는 그래핀층(graphene layer); 그래핀층 상에 배치되고, 전자주는 기 및 전자받는 기 중에서 선택된 어느 하나를 갖는 제2분자를 포함하는 박막층; 및 자립조립단분자층의 양 측면 중 그래핀층과 대향하는 면의 반대면 상에 배치되거나 또는 상기 박막층의 양 측면 중 그래핀층과 대향하는 면의 반대면 상에 배치되는 기재;를 포함할 수 있다. 이에 의하여, 본 발명의 적층체를 포함하는 전자소자 또는 트랜지스터 소자는 이중겹의 그래핀 상층과 하층을 모두 분자적 방법을 기반으로 개질함으로써 고해상도의 리소그래피 공정과정을 필요로 하지 않고 종래 그래핀 소자에 비하여 점멸비에 따른 성능향상을 도모함은 물론 제조공정을 간단히 하고 비용을 절감할 수 있다.