公开(公告)号：JP6430578B2

公开(公告)日：2018-11-28

申请号：JP2017083313

申请日：2017-04-20

Applicant: ケーエルエー−テンカー・コーポレーション ,  KLA−TENCOR CORPORATION

Inventor： メハニアン・コウロシュ ,  ハンセン・ハンス・ジェイ. ,  ワン・インジアン ,  ベン−ドブ・ユバル ,  リー・ツェン−ウー ,  ヒル・アンドリュー・ブイ. ,  バエズ−イラバニ・メヘディ ,  シメルマン・カート

IPC: G02B21/10 ,  G02B21/12 ,  H01L21/66 ,  G01N21/956

CPC classification number: G02B21/18 ,  G01N21/8806 ,  G01N21/9501 ,  G01N2021/8825 ,  G02B21/367

公开(公告)号：JP6363557B2

公开(公告)日：2018-07-25

申请号：JP2015111802

申请日：2015-06-02

Applicant: ケーエルエー−テンカー・コーポレーション ,  KLA−TENCOR CORPORATION

Inventor： カンデル・ダニエル ,  レビンスキ・ブラディミル ,  スヴィツァー・アレクサンダー ,  セリグソン・ジョエル ,  ヒル・アンドリュー ,  バカー・オハド ,  マナッセン・アムノン ,  チャン・ユン−ホ・アレックス ,  セラー・イラン ,  マーコウィッツ・モシェ ,  ネグリ・ダリア ,  ロテム・エフライム

IPC: G01B11/02

CPC classification number: G01N21/47 ,  G01B11/02 ,  G01B11/0641 ,  G01B2210/56 ,  G01N21/211 ,  G01N21/9501 ,  G01N21/956 ,  G01N2021/4792 ,  G01N2201/06113 ,  G01N2201/105 ,  G03F7/70625 ,  G03F7/70633

公开(公告)号：JP6231156B2

公开(公告)日：2017-11-15

申请号：JP2016093971

申请日：2016-05-09

Applicant: ケーエルエー−テンカー・コーポレーション ,  KLA−TENCOR CORPORATION

Inventor： チェン・ルー ,  カークウッド・ジェイソン ,  マハデバン・モハン ,  スミス・ジェームス・エー. ,  ガオ・リシェン ,  ファン・ジュンチン ,  ルオ・タオ ,  ワリングフォード・リチャード

IPC: H01L21/66 ,  G06T1/00 ,  G01N21/956

CPC classification number: G01N21/9501 ,  H01L22/12 ,  G01N2021/887

公开(公告)号：JP6140663B2

公开(公告)日：2017-05-31

申请号：JP2014210549

申请日：2014-10-15

Applicant: ケーエルエー−テンカー・コーポレーション ,  KLA−TENCOR CORPORATION

Inventor： ウォン・ショウ−ウェイ ,  カーク・グレゴリー・エル. ,  ジョン・ファン・ジェイ. ,  シェーファー・デイビッド ,  ハディーマ・ラッセル

IPC: G02B13/14 ,  G02B21/02 ,  G02B21/00 ,  G03F1/84 ,  G02B17/00

CPC classification number: G02B17/0808 ,  G02B17/0652 ,  G02B17/084 ,  G02B21/04

公开(公告)号：JP6042924B2

公开(公告)日：2016-12-14

申请号：JP2015046606

申请日：2015-03-10

Applicant: ケーエルエー−テンカー・コーポレーション ,  KLA−TENCOR CORPORATION

Inventor： バスカー・クリス ,  マコード・マーク ,  バタチャリヤ・サントーシュ ,  リン・アルディス ,  ワリンフォード・リチャード ,  アルテンドーファー・ヒューバート ,  マーヤー・カイス

IPC: H01L21/66 ,  G01N21/956

CPC classification number: G03F7/7065 ,  G01N21/93 ,  G01N21/95607 ,  G03F1/84 ,  G06T7/001 ,  G06T2207/30148

公开(公告)号：JP5868854B2

公开(公告)日：2016-02-24

申请号：JP2012527987

申请日：2010-09-01

Applicant: ケーエルエー−テンカー・コーポレーション ,  KLA−TENCOR CORPORATION

Inventor： ペトレンコ・アレクセイ ,  ウォルタース・クリスチャン ,  カイ・チョンピン ,  ロマノフスキー・アナトリー ,  ホワイトサイド・ブレット

IPC: H01L21/66

CPC classification number: G01N21/9501 ,  G01N21/8806 ,  G02B27/0972 ,  G01N2201/06113 ,  G01N2201/0633

公开(公告)号：JP5865585B2

公开(公告)日：2016-02-17

申请号：JP2010507615

申请日：2008-05-07

Applicant: ケーエルエー−テンカー・コーポレーション ,  KLA−TENCOR CORPORATION

Inventor： フィッシャー・バーリン ,  マーハー・クリス ,  ヒリヤナイア・ハリシュ ,  ウォラ・ユーナス ,  ディン・ピン ,  ヒル・アンドリュー

IPC: G01N21/956

CPC classification number: G01N21/9501 ,  G03F1/84

公开(公告)号：JP2015215349A

公开(公告)日：2015-12-03

申请号：JP2015093842

申请日：2015-05-01

Applicant: ケーエルエー−テンカー・コーポレーション ,  KLA−TENCOR CORPORATION

Inventor： メハニアン・コウロシュ ,  ハンセン・ハンス・ジェイ. ,  ワン・インジアン ,  ベン−ドブ・ユバル ,  リー・ツェン−ウー ,  ヒル・アンドリュー・ブイ. ,  バエズ−イラバニ・メヘディ ,  シメルマン・カート

IPC: H01L21/66 ,  G02B21/06 ,  G02B21/36 ,  G01N21/956

CPC classification number: G02B21/18 ,  G01N21/8806 ,  G01N21/9501 ,  G02B21/367 ,  G01N2021/8825

Abstract: 【課題】試料を検査するためのシステムを提供する。 【解決手段】2重チャンネル顕微鏡と、各々が2重チャンネル顕微鏡の異なるチャンネルを照明するために連結された二つの照明装置と、各々が試料のイメージを得るために2重チャンネル顕微鏡の異なるチャンネルに連結された二つの検出器とを含むことができる。前記二つの検出器が、試料のイメージを実質的に同時に得ることができるように、2重チャンネル顕微鏡のチャンネルを分離するための手段を有する。また、二つの照明装置を、二つの実質的に重なり合わないスペクトルの範囲の光を出力するように構成することにより、2重チャンネル顕微鏡のチャンネルをスペクトル的に分離する。さらに、照明光が重なり合わなく、また、二つの検出器の視野がシステム内に含まれた対物レンズの視野内で重なり合わないように、二つの検出器を配置することにより、2重チャンネル顕微鏡のチャンネルを空間的に分離する。 【選択図】図2

Abstract translation: 要解决的问题：提供一种用于检查样本的系统。解决方案：系统可以包括双通道显微镜，两个照明器，每个照明器被耦合以照亮双通道显微镜的不同通道，以及两个检测器 耦合到双通道显微镜的不同通道以获取样本的图像。 提供了用于分离双通道显微镜的通道的装置，使得两个检测器可以在基本上同时获取样本的图像。 双通道显微镜的通道可以通过配置两个照明器而光谱分离，使得它们产生两个基本上非重叠的光谱范围的光。 双通道显微镜的通道可以通过定位两个检测器在空间上分离，使得照明光不重叠，并且两个检测器的视场在系统内包括的物镜的视场内不重叠。

公开(公告)号：JP5769623B2

公开(公告)日：2015-08-26

申请号：JP2011520112

申请日：2009-07-17

Applicant: ケーエルエー−テンカー・コーポレーション ,  KLA−TENCOR CORPORATION

Inventor： ライヒ・ユルゲン ,  ビントロ・ルイス ,  ディゲ・プラサナ ,  シュタインバッハ・アンドリュー ,  カバルジェブ・ダニエル ,  ビエラク・スティーブン

IPC: H01L21/66

CPC classification number: H01L22/12 ,  G01N21/9501 ,  H01L2924/0002

公开(公告)号：JP5758406B2

公开(公告)日：2015-08-05

申请号：JP2012548098

申请日：2011-01-05

Applicant: ケーエルエー−テンカー・コーポレーション ,  KLA−TENCOR CORPORATION

Inventor： ベーララギャバン・サシシュ ,  シンハ・ジェイディープ・ケー.

IPC: G01B11/24 ,  G01B11/30 ,  G03F7/20

CPC classification number: G06F17/5009 ,  G01N21/9501 ,  G03F7/705 ,  G03F7/70633