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公开(公告)号:CN102001525B
公开(公告)日:2012-07-04
申请号:CN201010502629.8
申请日:2010-09-30
Applicant: 东莞宏威数码机械有限公司
IPC: H01L21/677 , B65G49/06
Abstract: 本发明提供了一种锁定式升降平移传输设备,包括机架、垂直升降装置、两级水平移动装置及抱紧机构。垂直升降装置包括导向件、垂直驱动机构、垂直传动机构、推动杆及相互平行的上升降板和下升降板,两级水平移动装置包括滑板、水平驱动机构、水平传动机构、推动块及承载板,承载板随下升降板在垂直驱动机构驱动下做竖直的上下移动,水平驱动机构带动滑板水平滑动,承载板受水平方向的力时在滑板上水平滑动延伸,两抱紧机构分别安装在垂直驱动机构与水平驱动机构上并分别对其输出轴进行锁定控制。本发明的锁定式升降平移设备能够同时实现垂直高度调节及平移调节并且具有锁定功能,定位准确且安全可靠,操作灵活方便,能有效提高基片传输质量。
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公开(公告)号:CN101898683B
公开(公告)日:2012-07-04
申请号:CN201010121755.9
申请日:2010-03-05
Applicant: 东莞宏威数码机械有限公司
IPC: B65G47/22
CPC classification number: H01L21/67715 , H01L21/67736
Abstract: 本发明公开一种移动式旋转装载机构,包括机架、滚动传动装置、丝杆传动装置及旋转装置,所述机架包括两侧板、两导杆及固定板,两所述导杆分别平行地安装于两所述侧板之间,所述固定板通过所述滚动传动装置活动连接于两所述导杆之间;所述丝杠传动装置包括手轮、丝杠、丝杠座及固定块,所述手轮固定于所述丝杠的一端,所述丝杠安装于所述丝杠座上,所述丝杠座固定于所述固定板上,所述固定块一端固定于所述导杆上,另一端与所述丝杠螺纹连接;所述旋转装置包括旋转轴及承载座,所述旋转轴枢接于所述固定板中部并穿过所述固定板固定于所述承载座的中心处。本发明结构简单,操作方便,可广泛应用于有机电致发光显示器件自动化生产线上。
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公开(公告)号:CN101825841B
公开(公告)日:2012-07-04
申请号:CN201010139315.6
申请日:2010-03-30
Applicant: 东莞宏威数码机械有限公司
IPC: G03F1/82
Abstract: 本发明提供了一种掩膜存储清洗系统,包括腔体、输送装置、装载盒、升降装置、控制装置、抽真空装置及离子清洗器。腔体开设有工作腔、第一通口和第二通口。输送装置的输送件收容于工作腔内,且其后端与第二通口对接。装载盒的装载框体内设置有至少两个呈等间距并平行分布的支撑组,相邻支撑组之间形成呈水平的存储槽,且装载框体的后端开设有传输口。升降装置驱动装载盒沿竖直方向移动并使传输口形成传输对接区,传输对接区与输送件对接。控制装置控制升降装置驱动装载盒的存储槽逐一与输送件的前端对接。抽真空装置为腔体的工作腔提供真空环境。离子清洗器对装载盒内的掩膜进行清洗。本发明能集掩膜存储和清洗于一体以减少工序数并提高生产效率。
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公开(公告)号:CN101792893B
公开(公告)日:2012-07-04
申请号:CN200910215334.X
申请日:2009-12-23
Applicant: 东莞宏威数码机械有限公司
Abstract: 本发明公开了一种蒸镀装置,其上的压紧件抵压于蒸发舟的末端之上并与支撑座可拆卸地连接;其中,由支撑座的支撑表面纵向延伸出两护板,两护板之间形成支撑区域,蒸发舟的末端承载于支撑区域中,压紧件与蒸发舟配合时,压紧件被收容于支撑区域中;护板与压紧件沿同一直线均开设有通孔,一铰轴枢接地穿过通孔使压紧件与支撑座枢接;压紧件包括抵触部和紧固部,抵触部抵触于蒸发舟的末端之上,紧固部与蒸发舟的末端相分离,当拆卸蒸发舟时,压紧件绕铰轴向紧固部的方向旋转。本发明蒸镀装置结构简单、更换便捷,而且电连接性能良好,从而使得工作效率高、稳定性好,且使用寿命长久。
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公开(公告)号:CN102510687A
公开(公告)日:2012-06-20
申请号:CN201110318284.5
申请日:2011-10-19
Applicant: 东莞宏威数码机械有限公司
IPC: H05K5/00
Abstract: 本发明公开一种移动控制操作平台,用于控制生产线上的控制设备,移动控制操作平台包括操作平台、操作平台支架以及操作平台底盘,操作平台的正面设有触摸显示屏,触摸显示屏内置控制生产线上的控制设备的处理器,操作平台的背部以及操作平台底盘的顶部分别连接于操作平台支架的上端以及下端,操作平台支架呈中空结构,中空结构形成导线通道,操作平台支架的下端开设有与导线通道连通的接线孔,导线的一端穿入接线孔并穿过导线通道与触摸显示屏内的处理器电连接,导线的另一端与生产线上的控制设备电连接,操作平台底盘的底部设有万向脚轮。操作平台底盘的底部设有万向脚轮,使操作平台可移动到每台设备前,操作方便。
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公开(公告)号:CN102054499B
公开(公告)日:2012-06-20
申请号:CN201010614553.8
申请日:2010-12-30
Applicant: 东莞宏威数码机械有限公司
IPC: G11B7/26
Abstract: 本发明公开了一种蓝光光盘母盘制造系统,包括清洗装置、旋涂装置、硬烘烤装置、冷却装置、软烘烤装置、激光刻录装置、显影装置、电镀装置、水平直线传输装置、机械手及两水平平行设置的直线导轨,水平直线传输装置与两导轨滑接,电镀装置、显影装置、清洗装置及旋涂装置沿直线导轨依次排列设置在直线导轨的一侧,硬烘烤装置、软烘烤装置及冷却装置沿直线导轨依次设置排列在直线导轨的另一侧,激光刻录装置排列设置于直线导轨远离硬烘烤装置的一端,机械手抓取母盘,水平直线传输装置带动机械手沿直线导轨传送母盘至相应装置中,本发明的蓝光光盘母盘制造系统布局合理、能提高成品质量、优化生产线,本发明同时公开了一种蓝光光盘母盘的制造方法。
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公开(公告)号:CN101988191B
公开(公告)日:2012-05-16
申请号:CN201010568448.5
申请日:2010-12-01
Applicant: 东莞宏威数码机械有限公司
IPC: C23C14/58
Abstract: 本发明公开了一种基板卸载装置,其具有腔内传输机构及腔外传输机构,在腔内传输机构的两端分别安装有腔内感应系统,腔外传输机构的两端分别安装有腔外感应系统,且真空腔体及腔内传输机构上均设置有冷却水管,因此,在镀膜生产线上的高温基板经过腔内传输机构传输的同时,真空腔体及腔内传输机构上的冷却水管对基板进行有效冷却,避免现有技术中基板与冷却板直接接触的方式,不易损坏基板,提高生产的良品率,冷却后的基板经腔外传输机构进行卸载,实现在真空环境下对高温基板进行卸载的同时对其有效冷却,使操作精度高。另,本发明还公开了使用基板卸载装置卸载基板的方法。
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公开(公告)号:CN102394226A
公开(公告)日:2012-03-28
申请号:CN201110318253.X
申请日:2011-10-19
Applicant: 东莞宏威数码机械有限公司
IPC: H01L21/677 , H01L31/18
Abstract: 本发明提供了一种太阳能电池板传送缓存设备,包括机架、托架升降装置及太阳能电池板传输装置。机架开设有具有太阳能电池板输入口和太阳能电池板输出口的升降腔;托架升降装置包括托架驱动组件及若干托架,托架容于升降腔内并沿竖直方向呈相互平行的设置,相邻的托架固定连接,每一托架具有输送区和位于输送区正上方的承载区,托架驱动组件驱使托架升降;太阳能电池板传输装置包括太阳能电池板传送组件及太阳能电池板驱动器,太阳能电池板传送组件位于输送区内且伸出承载区并与外界输送太阳能电池板的设备传输对接,太阳能电池板驱动器的输出端与太阳能电池板传送组件相连接。本发明对安装有接线盒的太阳能电池板进行传送和缓存以提高经济效率。
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公开(公告)号:CN102117756B
公开(公告)日:2012-02-29
申请号:CN201010568417.X
申请日:2010-12-01
Applicant: 东莞宏威数码机械有限公司
IPC: H01L21/67 , H01L21/677
Abstract: 本发明公开一种直线往复传动装置,包括:主体结构及直线往返机构,主体结构包括固定板、电机安装板及电机安装支撑轴,直线往返机构包括电机、偏心轮、旋转轴、移动座及移动轴,移动座的下表面与固定板呈直线滑动连接,移动座的上表面开设有滚动槽,所述移动轴安装于所述移动座上并与所述固定板平行,且所述移动轴凸伸出所述移动座,电机安装在电机安装板上,电机的输出轴与偏心轮连接,旋转轴的上端与偏心轮连接,旋转轴的下端伸入滚动槽内,电机驱动偏心轮转动,偏心轮的转动通过旋转轴带动移动座在固定板上作直线往复运动,移动座带动移动轴作直线往复运动。本发明直线往复传动装置结构简单、维护方便及成本低廉能够广泛应用于半导体行业内。
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公开(公告)号:CN101876063B
公开(公告)日:2012-02-29
申请号:CN201010131967.5
申请日:2010-03-23
Applicant: 东莞宏威数码机械有限公司
Abstract: 本发明实施例公开了一种遮光板机构,用于遮挡提供真空环境的真空腔体上的观察窗,包括转轴、挡板、把手及两轴座,所述轴座固定于所述腔体上且位于所述观察窗的两侧,所述轴座上开有轴孔,所述转轴旋转地插设于所述轴孔内,并且所述转轴至少一端开设有把手孔并伸出至相应轴孔外,所述把手滑动地插设于所述把手孔内,所述挡板位于两所述轴座之间并固定于所述转轴上,转动所述把手使所述挡板对所述观察窗呈遮挡或敞开状。遮光板机构安装于真空腔体的观察窗位置上,挡板在关闭状态时遮盖住整个观察窗,防止观察窗内的强光或带辐射光线射出,保证了真空腔体工作人员的安全和健康;另,本发明还公开了一种具有该遮光板机构的真空腔体。
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