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公开(公告)号：CN102080206B
公开(公告)日：2012-11-14
申请号：CN201010594730.0
申请日：2010-12-20
Applicant: 东莞宏威数码机械有限公司
Abstract: 本发明公开了一种掩膜板承载装置，包括承载机构和限位机构，所述承载机构包括承载板、固定板、连接轴、第一螺钉和弹性元件，承载板位于固定板正上方，连接轴安装在固定板上，承载板通过第一螺钉安装在连接轴上端，所述弹性元件套于连接轴外并抵触在承载板与所述固定板之间；所述限位机构包括第二螺钉、通孔螺柱和锁紧螺母，固定板上设有与通孔螺柱相配合的螺纹孔，所述通孔螺柱安装在螺纹孔内并将锁紧螺母固定在螺纹孔的底部，所述第二螺钉依次穿过承载板和通孔螺柱的通孔并与锁紧螺母螺纹连接。与现有技术相比，本发明增加了限位机构，该限位机构锁定了固定板和承载板之间的相对位置，保证了掩膜板承载装置的结构的稳定性和生产的精度。
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公开(公告)号：CN102092584B
公开(公告)日：2012-10-17
申请号：CN201010502321.3
申请日：2010-09-30
Applicant: 东莞宏威数码机械有限公司
Abstract: 本发明提供了一种对基片承载盒传输和变向的旋转式平台传输装置，包括机架、垂直升降机构及承载平台。机架具有移动腔，垂直升降机构包括导向件、垂直驱动组件、推动件、下升降板和上升降板。垂直驱动组件设于机架上，其输出端与下升降板连接，下升降板收于移动腔内。导向件上端与机架上端固定，下端滑动穿过下升降板。推动件下端与下升降板固定，上端滑动穿过机架并与上升降板固定，导向件与推动件均与下升降板垂直。承载平台包括承载基片承载盒的底板，底板与上升降板平行且呈转动的连接。垂直驱动组件通过下升降板和推动件带动底板上下移动，底板受水平力时可在上升降板上转动实现变向。本发明能提高基片的传输质量及精度并降低传输成本。
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公开(公告)号：CN101880019B
公开(公告)日：2012-10-10
申请号：CN201010131872.3
申请日：2010-03-23
Applicant: 东莞宏威数码机械有限公司
Abstract: 本发明公开了一种升降平台，包括支撑架、传动机构、滑动机构及升降支架，传动机构包括第一传动组件、第二传动组件、设于支撑架上的固定座、及穿过固定座且两端分别固定连接第一传动组件和第二传动组件的传动轴，第一传动组件包括穿过支撑架并与支撑架枢接的手柄、固定连接手柄的一端的蜗杆及固定连接于传动轴的一端并与蜗杆啮合的蜗轮，第二传动组件包括垂直设于升降支架上的齿条及固定连接于传动轴的另一端并与齿条啮合的齿轮；滑动机构包括设于支撑架上并与齿条平行的导轨及设于升降支架上并与导轨滑动卡接的滑块。本发明的升降平台升降平稳、安全可靠、升降精度高且行程大，在使用的过程中没有噪音且不会污染环境，同时结构简单、体积轻巧。
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公开(公告)号：CN101826477B
公开(公告)日：2012-09-26
申请号：CN201010139312.2
申请日：2010-03-30
Applicant: 东莞宏威数码机械有限公司
IPC: H01L21/677 , H01L21/673
CPC classification number: H01L21/67706 , H01L21/67721 , H01L21/67769
Abstract: 本发明提供了一种掩膜传输系统，包括腔体、传输机构、承载篮子、升降机构、控制机构及抽真空机构。腔体开设有工作腔、第一输送口和第二输送口。传输机构的传输件收容于工作腔内，且其后端与第二输送口对接。承载篮子包括呈中空结构的承载框体，承载框体内设置有至少两个呈等间距并平行分布的支撑组，相邻支撑组之间形成呈水平的存储槽，且承载框体的后端开设有传输口。升降机构驱动承载篮子沿竖直方向移动并使传输口形成传输对接区，传输对接区与传输件对接。控制机构控制升降机构驱动承载篮子的存储槽逐一与传输件的前端对接。抽真空机构为腔体的工作腔提供真空环境。本发明掩膜传输系统能提高掩膜传输和存储的连贯性以提高生产效率。
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公开(公告)号：CN101761635B
公开(公告)日：2012-09-05
申请号：CN200910215563.1
申请日：2009-12-23
Applicant: 东莞宏威数码机械有限公司
CPC classification number: F16J15/324 , F04C27/009 , F04C29/005 , F16J15/006
Abstract: 本发明提供了一种真空传动装置，其包括轴承座、轴承、旋转轴、密封圈、真空管路以及注油管路，密封圈包括装配部和抵触部，装配部与抵触部之间形成容纳空间，通油孔开设于装配部上，通油孔与容纳空间相连通，注油管路的一端与通油孔对接连通，通油孔的另一端与容纳空间内的通槽连通，注油管路、通油孔及容纳空间内的通槽形成输油通路，真空管路包括第一管路与第二管路，第一管路穿设于旋转轴中，并与两端密封圈限定的通槽内部除容纳空间外的部分相连通，第二管路穿设于轴承座体中，并与两端密封圈限定的通槽内部除容纳空间外的部分相连通，第一管路、两端密封圈限定的通槽内部除容纳空间外的部分、第二管路及真空腔体形成真空通道。
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Patent Agency Ranking
公开(公告)号：CN101958634B
公开(公告)日：2012-07-25
申请号：CN201010171132.2
申请日：2010-05-06
Applicant: 东莞宏威数码机械有限公司
CPC classification number: F16J9/14
Abstract: 本发明公开了一种真空动密封精确传动装置，所述真空动密封精确传动装置还包括测速组件，该测速组件包括光电传感器、感应片及传感器固定座，光电传感器固定在传感器固定座上，光电传感器的一侧的两端水平凸伸形成两检测臂，感应片同轴固定在向真空腔体内传输动力的齿轮轴上并位于两检测臂之间，结构紧凑，感应片上开设有通槽，光电传感器从一检测臂的一端发送光信号至另一检测臂，当通槽随感应片转动到与两检测臂位于同一平面时，光信号能有效被另一检测臂所接收。本发明的真空动密封精确传动装置通过光电传感器与感应片的配合可记录电机启动的起始位置，并可同步检测电机传给齿轮轴的实际转速，能在保证真空洁净度的同时实现精确、平稳的传动。
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公开(公告)号：CN101814451B
公开(公告)日：2012-07-25
申请号：CN200910246915.X
申请日：2009-12-01
Applicant: 东莞宏威数码机械有限公司
IPC: H01L21/677 , H01L51/56 , H01L31/18 , G05B19/05
CPC classification number: B65G35/06
Abstract: 本发明公开了一种直线传输系统的同步传输装置，包括用于承载器件的承载体、定位导向轨道、基座、滑动机构及若干相互对应的驱动机构和传动机构，驱动机构与所述传动机构连接，所述传动机构与基座枢接，所述传动机构分布于承载体的一侧且与承载体啮合，所述定位导向轨道平行地铺设于基座两侧并位于承载体下方，所述滑动机构呈滚轮结构，所述滑动机构设置在承载体上并与所述定位导向轨道滑动地卡合连接。所述同步传输装置整体结构紧凑、维修与维护方便、具有较高清洁度，且整个传输过程平稳、准直度高。本发明还公开了一种能够保证器件的平稳、高准直度地传输且具有较高稳定性的直线传输系统及其控制方法。
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公开(公告)号：CN101876058B
公开(公告)日：2012-07-11
申请号：CN201010131993.8
申请日：2010-03-23
Applicant: 东莞宏威数码机械有限公司
IPC: C23C14/24
CPC classification number: C23C14/24
Abstract: 本发明提供一种真空蒸镀装置，其包括传输机构、蒸镀机构、传感控制装置及真空机构，传输机构包括主腔体、闸门，传输组件及驱动器，主腔体两侧开设有闸口，闸门安装于所述闸口处，主腔体底部开设有连接口，驱动器与闸门及传输组件连接，驱动器驱动基板在传输组件上移动；蒸镀机构包括副腔体、挡板、动力组件、蒸发舟及蒸发源，蒸发舟安装于副腔体内，蒸发源放置于蒸发舟内，副腔体正对主腔体的连接口处开设有对接口，挡板安装于连接口与对接口之间；传感控制装置包括传感器及与控制器，控制器与传输组件及蒸发舟电连接；真空机构包括粗抽管道、真空泵以及闸阀，粗抽管道与副腔体连通，粗抽管道与真空泵相连接。
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公开(公告)号：CN101954358B
公开(公告)日：2012-07-04
申请号：CN201010171124.8
申请日：2010-05-06
Applicant: 东莞宏威数码机械有限公司
CPC classification number: B08B3/024 , B05B13/0473
Abstract: 本发明公开了一种平移式基板清洗装置，其驱动机构包括固定座、电机、偏心轮及往复座，固定座的上底板与下底板之间形成安装区，往复座滑动地安装于下底板上，电机安装于上底板上并位于安装区内，偏心轮连接于电机与往复座之间并平行于上底板及下底板；清洗机构包括固定架、输入总管及等间距安装于固定架上的若干管道组，管道组分别与输入总管连通且设置有朝向基板的喷嘴，固定架与往复座固定连接且悬置于基板上方。清洗时，电机通过偏心轮带动往复座往复运动，往复座带动固定架往复运动，清洗液通过喷嘴均匀充分地喷洒在基板上，可对直线运动中的基板进行不间断地清洗，提高清洗效率，具有较高的清洁度及自动化程度，且结构简单，成本低廉。
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公开(公告)号：CN101737391B
公开(公告)日：2012-07-04
申请号：CN200910266712.7
申请日：2009-12-30
Applicant: 东莞宏威数码机械有限公司
IPC: B23Q3/18
Abstract: 本发明公开了一种组合式销钉，所述组合式销钉包括销杆、销体、销尾及弹性体，所述销体开设有空腔，所述空腔贯穿所述销体，所述销杆的下端滑动地卡设于所述空腔内，所述销杆的上端穿过所述空腔外并凸伸出所述销体的上端，所述销尾的上端可拆卸地固定于所述空腔内，所述销尾的下端穿过所述空腔外并凸伸出所述销体的下端，所述弹性体容设于所述空腔内并抵触于所述销杆的下端和所述销尾的上端之间。所述组合式销钉同时具有导向、定位和缓冲等功能，因此在受到载体抵压的时候不会弯折变形、且不会损坏与其连接的载体或使载体变形。
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