热式空气流量计
    62.
    发明公开

    公开(公告)号:CN105408727A

    公开(公告)日:2016-03-16

    申请号:CN201480041230.0

    申请日:2014-02-03

    CPC classification number: G01F1/684 G01F1/6842 G01F1/692 G01F5/00 G01F15/14

    Abstract: 本发明的目的在于提供一种测量精度高的热式空气流量计,该热式空气流量计确保流量检测部的高的定位精度、并降低产生于LSI内的电阻的热应力的影响。因此,在具备通过将具备电阻(7)的LSI3与流量检测部(4a)以流量检测部(4a)的至少一部分露出的方式嵌入模制而构成的传感器部件(100)、具有副通路(305i、305o、305s)将流量检测部(4a)配置于副通路(305s)内并收纳传感器部件(100)的箱体(301),传感器部件(100)由第一树脂模制成形,箱体(301)由第二树脂模制成形的热式空气流量计中,传感器部件(100)利用形成第二树脂固定于箱体(301),具备相对于传感器部件(100)产生与流量检测部(4a)的露出面平行的方向的拉伸应力的树脂结构(20、21)。

    流量传感器及树脂制构造体的制造方法

    公开(公告)号:CN105164504A

    公开(公告)日:2015-12-16

    申请号:CN201480021388.1

    申请日:2014-02-07

    Abstract: 本发明提供一种流量传感器,其能够从外观的罩材料感知高温环境下的对流量传感器的异常温度和时间履历,使用了即使在产品交付时或异常状态下使用时,也能够通过外观检查来保证激光熔接质量的罩材料。上述流量传感器具有:壳体;罩:被密封在两者之间的内置配线部的电路室:和成为检测对象的流体所通过的副通路,其中,将形成于壳体的接合部和形成于罩的内表面的接合部通过激光熔接接合,罩的主要材料为结晶性树脂,且含有非晶性共混材料,将罩形成为本色。

    热式流量计
    65.
    发明公开

    公开(公告)号:CN103988056A

    公开(公告)日:2014-08-13

    申请号:CN201280060482.9

    申请日:2012-11-19

    Abstract: 本发明提供高精度、高可靠性、且结构简单、更廉价的热式流量计,其包括:取入被测量流体的副通路;测量上述副通路内的被测量流体的流量的传感元件;检测被测量流体的温度的温度检测元件;控制上述传感元件的加热温度的驱动电路;保护上述驱动电路不受噪声影响的保护电路,在上述传感元件的基板,形成有空洞部,在上述空洞部上的薄膜部隔着电绝缘膜形成有发热电阻体,该热式流量计根据上述薄膜部的温度分布检测流量,上述传感元件和上述驱动电路安装于金属的引线框,上述传感元件、上述驱动电路和上述引线框通过将全周用热固化性树脂密封而被实施芯片封装,至少保护驱动电路的芯片部件和空气温度检测元件之任一者混装在上述芯片封装的内部。

    热式流量计
    66.
    发明授权

    公开(公告)号:CN109416270B

    公开(公告)日:2020-12-01

    申请号:CN201780039253.1

    申请日:2017-06-14

    Abstract: 本发明获得一种附着于第1通道的壁面上的水滴在被拉入到第3通道部时有效地去往排出口的热式流量计。本发明的热式流量计(300)具备副通道和流量检测部(602),所述副通道导入在主通道(124)中流动的被测量气体(30),所述流量检测部(602)通过与在副通道中流动的被测量气体(30)之间进行传热来测量被测量气体(30)的流量。并且,副通道具有第1通道部(701)、第2通道部(702)及第3通道部(703),所述第2通道部(702)在第1通道部的中途分支而去往流量检测部(602),所述第3通道部(703)在第2通道部的中途分支而去往第3出口(703b),在第3通道部(703)的第3入口(703a)与第3出口(703b)之间设置有压力损失产生机构(704a)。

    热式流量计
    67.
    发明授权

    公开(公告)号:CN108444559B

    公开(公告)日:2020-06-16

    申请号:CN201810245607.4

    申请日:2013-05-15

    Abstract: 本发明提供一种热式流量计,能够提高设置于热式流量计的温度检测器的测量精度,该热式流量计的特征在于,包括:用于使在主通路流动的被测量气体(30)流动的副通路;和具有测量在上述副通路流动的被测量气体(30)的流量的流量测量电路和检测上述被测量气体的温度的温度检测部(452)的电路封装(400),并且,上述电路封装(400)在其内部具有以包覆上述流量测量电路的方式由树脂模塑而成形的电路封装主体和由树脂模塑而成形的突出部(424),在上述突出部(424)的前端部设置上述温度检测部(452),上述突出部的至少上述前端部从上述壳体(302)向外突出。

    热式流量计
    68.
    发明授权

    公开(公告)号:CN108139248B

    公开(公告)日:2019-12-24

    申请号:CN201680058323.3

    申请日:2016-10-19

    Abstract: 提供一种热式流量计,能够抑制从灰尘排出口流出的流体被因热式流量计的下游侧的尾涡流而产生的逆流阻碍。相对于因空气的流动而在形成有灰尘排出口(355)的下端面产生的尾涡流的空气的逆流方向,至少灰尘排出口(355)的开口面在错开的位置开口。在吸气管内的主流从上游侧向下游侧顺向地流动的条件下,避免了从灰尘排出口(355)流出的流体从正面与由计测部主体的下端面侧的尾涡流产生的逆流相对,能够抑制灰尘的排出效果的降低、质量流量的计测误差的恶化。

    热式流体流量传感器
    69.
    发明授权

    公开(公告)号:CN107110685B

    公开(公告)日:2019-11-19

    申请号:CN201580062106.7

    申请日:2015-11-26

    Abstract: 本发明提供一种在同一基片上形成有检测部和电路部的热式流体流量传感器,在检测部的层间绝缘膜形成较深的凹部、在其上形成具有拉伸应力的绝缘膜而进行应力调整时,能够防止因该绝缘膜产生裂缝等而导致热式流体流量传感器的可靠性降低的情况。其方案是在薄膜部上在形成于层间绝缘膜的凹部的侧壁设置阶梯状的台阶。由此减少构成凹部的第一凹部和第二凹部各自的深度,使覆盖凹部的侧壁和底面的调整应力用的绝缘膜的包覆性提高。

    流量传感器及树脂制构造体的制造方法

    公开(公告)号:CN105164504B

    公开(公告)日:2019-10-18

    申请号:CN201480021388.1

    申请日:2014-02-07

    Abstract: 本发明提供一种流量传感器,其能够从外观的罩材料感知高温环境下的对流量传感器的异常温度和时间履历,使用了即使在产品交付时或异常状态下使用时,也能够通过外观检查来保证激光熔接质量的罩材料。上述流量传感器具有:壳体;罩:被密封在两者之间的内置配线部的电路室:和成为检测对象的流体所通过的副通路,其中,将形成于壳体的接合部和形成于罩的内表面的接合部通过激光熔接接合,罩的主要材料为结晶性树脂,且含有非晶性共混材料,将罩形成为本色。

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