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公开(公告)号：CN105683725B
公开(公告)日：2019-05-14
申请号：CN201480058681.5
申请日：2014-10-31
Applicant: 浜松光子学株式会社
IPC: G01J3/26
Abstract: 分光传感器(1A)具备：法布里‑珀罗干涉滤波器(10)，设置有使对应于第1镜(31)与第2镜(41)之间的距离而透过的光沿着相对方向(D)通过的开口(50a)；光检测器(3)，具有对通过了开口(50a)的光进行受光的受光部(3a)；配线基板(2)，安装有光检测器(3)；多个隔离物(4)，以与开口(50a)内的第1空间(S1)相连续并且在从相对方向(D)看的情况下包含第1空间(S1)的第2空间(S2)被形成于滤波器(10)与配线基板(2)之间的方式在配线基板(2)上支撑滤波器(10)。光检测器(3)被配置于第2空间(S2)内。受光部(3a)在从相对方向(D)看的情况下配置于第2空间(S2)中对应于第1空间(S1)的区域内。
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公开(公告)号：CN109196405A
公开(公告)日：2019-01-11
申请号：CN201780032621.X
申请日：2017-05-26
Applicant: 浜松光子学株式会社
Abstract: 法布里-帕罗干涉滤光器的制造方法具备：形成工序，其在包含与二维状地排列的多个基板对应的部分、且沿着多条线的各个被切断成多个基板的预定的晶圆的第1主面，形成具有多个第1镜部的第1镜层、具有多个去除预定部的牺牲层、及具有多个第2镜部的第2镜层；去除工序，其在形成工序之后，通过蚀刻自牺牲层同时去除二维状地排列的多个去除预定部；切断工序，其在去除工序后，沿着多条线的各个将晶圆切断成多个基板。
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公开(公告)号：CN104520696B
公开(公告)日：2018-01-12
申请号：CN201380042452.X
申请日：2013-08-09
Applicant: 浜松光子学株式会社
CPC classification number: G01N21/658 , B82Y40/00 , G01N21/03 , G01N2021/651
Abstract: 表面增强拉曼散射元件(SERS)2具备：基板21，其具有表面21a；细微结构部24，其形成于表面21a上并具有多个柱脚27；导电体层23，其形成于细微结构部24上并构成产生表面增强拉曼散射的光学功能部20。导电体层23具有以沿着表面21a的形式形成的基底部28、在对应于各个柱脚27的位置上从基底部28突出的多个突出部29。基底部28的厚度大于柱脚27的高度。
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公开(公告)号：CN107532941A
公开(公告)日：2018-01-02
申请号：CN201680024252.5
申请日：2016-04-19
Applicant: 浜松光子学株式会社
CPC classification number: G01J3/26 , G01J3/0286 , G02B5/28 , G02B7/008 , G02B26/00
Abstract: 本发明的光检测装置(1A)包括：法布里‑珀罗干涉滤光器(10)；光检测器(3)；间隔件(4)，其具有供载置干涉滤光器(10)的底面中的光透过区域(11)外侧的部分的载置面；及粘合构件(5)，其对干涉滤光器(10)与间隔件(4)进行粘合。粘合构件(5)的弹性模量小于间隔件(4)的弹性模量。干涉滤光器(10)的侧面的至少一部分以间隔件(4)载置面的一部分配置于该侧面的外侧的方式，位于该载置面上。粘合构件(5)配置于由干涉滤光器(10)的侧面及间隔件(4)的载置面的一部分形成的角落部，且分别与该侧面及该载置面的一部分接触。
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公开(公告)号：CN105992964A
公开(公告)日：2016-10-05
申请号：CN201580007963.7
申请日：2015-02-03
Applicant: 浜松光子学株式会社
CPC classification number: G02B26/001 , G01J3/26 , G02B5/284
Abstract: 本发明提供一种法布里‑珀罗干涉滤光器(10A)包括：固定镜(31)；和可动镜(41)，其经由空隙(S)与固定镜(31)相对而配置，通过静电力来调整光透过区域(11)中的与固定镜(31)的距离。在可动镜(41)中的包围光透过区域(11)的包围部(41a)形成有包围光透过区域(11)的多个第1环状槽(44)以及空隙(S)侧和在其相反侧开口的多个第1贯通孔(45)。
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Patent Agency Ranking
公开(公告)号：CN105683725A
公开(公告)日：2016-06-15
申请号：CN201480058681.5
申请日：2014-10-31
Applicant: 浜松光子学株式会社
IPC: G01J3/26
CPC classification number: G01J3/26 , G01J3/0286 , G01J3/45 , G01J5/04 , G01J5/20 , G02B26/001
Abstract: 分光传感器(1A)具备：法布里-珀罗干涉滤波器(10)，设置有使对应于第1镜(31)与第2镜(41)之间的距离而透过的光沿着相对方向(D)通过的开口(50a)；光检测器(3)，具有对通过了开口(50a)的光进行受光的受光部(3a)；配线基板(2)，安装有光检测器(3)；多个隔离物(4)，以与开口(50a)内的第1空间(S1)相连续并且在从相对方向(D)看的情况下包含第1空间(S1)的第2空间(S2)被形成于滤波器(10)与配线基板(2)之间的方式在配线基板(2)上支撑滤波器(10)。光检测器(3)被配置于第2空间(S2)内。受光部(3a)在从相对方向(D)看的情况下配置于第2空间(S2)中对应于第1空间(S1)的区域内。
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公开(公告)号：CN103842784B
公开(公告)日：2015-09-02
申请号：CN201280049230.6
申请日：2012-09-10
Applicant: 浜松光子学株式会社
CPC classification number: G01J3/0229 , G01J3/26 , G01J3/2803 , G01J3/36 , G01J3/513 , G01J2003/1234 , G01J2003/2806
Abstract: 分光传感器（1）具备：具有空腔层（21）以及经由空腔层（21）而相对的第1以及第2镜层（22,23）并且对应于入射位置选择性地使规定的波长范围的光透过的干涉滤光部（20）、被配置于第1镜层（22）侧并且使入射到干涉滤光部（20）的光透过的光透过基板（3）、被配置于第2镜层（23）侧并且检测透过了干涉滤光部（20）的光的光检测基板（4）。空腔层（21）具有：被第1以及第2镜层（22,23）夹持的滤光区域（24）、从滤光区域（24）取得规定的距离来包围滤光区域（24）的环状的包围区域（25）、连接滤光区域（24）的光检测基板（4）侧的端部（24e）和包围区域（25）的光检测基板（4）侧的端部（25e）的环状的连接区域（26）。
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公开(公告)号：CN104541157A
公开(公告)日：2015-04-22
申请号：CN201380042530.6
申请日：2013-08-09
Applicant: 浜松光子学株式会社
CPC classification number: G01J3/0205 , G01J3/4412 , G01N21/658 , Y10T29/49155
Abstract: 包括基板、包含细微结构部的成形层、及构成产生表面增强拉曼散射的光学功能部的导电体层的表面增强拉曼散射元件的制造方法包括：第1工序，其在包含多个与基板对应的部分的晶圆的主面形成纳米压印层；第2工序，其在第1工序之后，使用具有与细微结构部对应的图案的模具，将图案复制至纳米压印层，由此针对与基板对应的每个部分，形成与包含细微结构部的成形层对应的部分；第3工序，其在第2工序之后，在细微结构部上形成导电体层；及第4工序，其在第2工序之后，按与基板对应的每个部分切断晶圆。
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公开(公告)号：CN102027342B
公开(公告)日：2013-08-07
申请号：CN200980117280.1
申请日：2009-05-07
Applicant: 浜松光子学株式会社
CPC classification number: G01J3/0205 , G01J3/02 , G01J3/0208 , G01J3/0243 , G01J3/0259 , G01J3/0262 , G01J3/04 , G01J3/18 , G01J3/2803 , G02B7/027 , H01L31/18
Abstract: 本发明提供一种高可靠性的分光模块。在本发明所涉及的分光模块(1)中，向分光部(4)行进的光L1在通过光通过孔(50)的时候，穿过朝着基板(2)侧变得越来越窄的光入射侧部(51)，只有入射到以与光入射侧部(51)的底面(51b)相对的形式形成的光出射侧部(52)的光从光出射开口(52a)出射。为此，入射到光入射侧部(51)的侧面(51c)或者底面(51b)的杂散光M被反射到与光出射侧部(52)相反的一侧，所以能够抑制杂散光入射到光出射侧部(52)。因此，能够提高分光模块(1)的可靠性。
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公开(公告)号：CN118103680A
公开(公告)日：2024-05-28
申请号：CN202280068526.6
申请日：2022-06-21
Applicant: 浜松光子学株式会社
Abstract: 光检测系统具备：法布里‑珀罗干涉滤波器，其具有彼此的距离可变的第1镜和第2镜；光检测部，其构成为能够检测λ1以上且λ2以下的波长范围的光；和控制部，其对法布里‑珀罗干涉滤波器施加电压以使得上述距离在d1以上且d2以下的距离范围内变化。关于上述距离为d1的情况下的光的透过光谱T1(λ)，与单一次数对应的λa处的峰值透过率T1(λa)出现在上述波长范围内，λ2处的透过率T1(λ2)为1％以下。关于上述距离为d2的情况下的光的透过光谱T2(λ)，与单一次数对应的λb处的峰值透过率T2(λb)在上述波长范围内出现，λ1处的透过率T2(λ1)为1％以下。
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