公开(公告)号：CN117233899A

公开(公告)日：2023-12-15

申请号：CN202311510092.3

申请日：2023-11-14

Applicant: 清华大学

Inventor： 鲁森 ,  朱翼先 ,  曹耒 ,  杨开明 ,  张鸣 ,  成荣

IPC: G02B6/35 ,  G03F7/20

Abstract: 本发明涉及微纳结构制造技术领域，提供一种光路调节装置及干涉光刻设备。光路调节装置包括第一调节臂、第二调节臂、第一牵引件、第二牵引件和驱动机构；第一调节臂和第二调节臂分别设置有安装机构；第一牵引件的一端与第一调节臂连接，另一端与驱动机构连接；第二牵引件的一端与第二调节臂连接，另一端与驱动机构连接；驱动机构用于通过第一牵引件和第二牵引件驱动第一调节臂和第二调节臂旋转，以调节第一调节臂和第二调节臂与基准面之间的夹角。本发明结构简单，易于控制，能有效降低系统成本与调节用时，提高生产效率。

公开(公告)号：CN106533082B

公开(公告)日：2023-08-25

申请号：CN201611056270.X

申请日：2016-11-25

Applicant: 清华大学 ,  北京华卓精科科技股份有限公司

Inventor： 张鸣 ,  朱煜 ,  张利 ,  杨开明 ,  成荣 ,  胡青平 ,  赵彦坡 ,  张庆艺 ,  田丽 ,  胡海

IPC: H02K15/03

Abstract: 平面电机永磁体阵列拼接中防止永磁体极性错误的装置，该装置包括底板、绕线架、线圈和电动势检测单元；底板上加工有多个通孔，多个通孔在底板上的排布与待拼接的平面电机永磁体阵列中永磁体的排列顺序一致；绕线架固定在底板上的通孔内，线圈绕制在绕线架上，相邻两排线圈绕制旋向相反，多个线圈串联并与电动势检测单元连接。本发明有效满足了永磁体阵列粘结过程中安全可靠性要求，解决了永磁体极性粘结过程中容错率低，不必每个永磁体用人工手持检测法检测极性，只需按照永磁体标识的极性放入待安装区域，显著提高集成效率以及安全性。

公开(公告)号：CN113155003B

公开(公告)日：2023-05-16

申请号：CN202110240313.4

申请日：2021-03-04

Applicant: 清华大学

Inventor： 朱煜 ,  杨开明 ,  雷声 ,  成荣 ,  鲁森 ,  李鑫 ,  刘涛

IPC: G01B7/02

Abstract: 本发明提供一种基于光刻机的传感器标定方法及系统，包括：安装传感器于光刻机的工件台测量工件台的位移，将位移转换为电压，通过模/数转换器转换成数字信号；在传感器测量工件台的位移之前，向模/数转换器输入设定范围的电压，获得多个电压值对应的多个数字值，采用曲线拟合方法拟合电压值和数字值的曲线；传感器测量工件台的位移，通过模/数转换器转换成数字信号，将数字信号进行平移变换；通过所述曲线对所述数字信号进行标定；对标定后的数字信号进行溢出值处理；将溢出值处理后的数字信号进行反平移变换，获得的数字信号作为原始信号。上述方法及系统快速对传感器数据进行标定，并正确处理临界值。

公开(公告)号：CN111948917B

公开(公告)日：2021-06-25

申请号：CN202010870392.2

申请日：2020-08-26

Applicant: 清华大学

Inventor： 杨开明 ,  成荣 ,  朱煜 ,  张鸣 ,  雷声 ,  刘涛 ,  鲁森 ,  李鑫

IPC: G03F7/20

Abstract: 本发明公开一种基于光刻机双工件台运动系统的垂向保护方法及装置。方法包括：在微动台下方设有电涡流传感器，以及水平位移测量机构。根据被测量点与电涡流传感器基准点之间的距离，以及电涡流传感器基准点的坐标，计算得出微动台下表面各个被测量点的坐标。利用所测得的微动台上被测量点坐标计算出微动台当前时刻的点法式方程，然后通过代入平移后微动台被测量点的X、Y坐标，即可确定微动台在当前时刻的最大高度。将最大高度与高度阈值对比，若超出高度阈值，则停机保护，否则所述系统继续运行。本发明能够保护工件台在工作中不与上方设备相撞，精度高，复杂度低，执行速度快，具有较强的安全性与实时性。

公开(公告)号：CN112731797A

公开(公告)日：2021-04-30

申请号：CN202011454646.9

申请日：2020-12-10

Applicant: 清华大学

Inventor： 杨开明 ,  朱煜 ,  鲁森 ,  雷声 ,  成荣 ,  李鑫 ,  刘涛

IPC: G05B11/42

Abstract: 本发明公开一种平面电机运动控制方法、装置及系统，方法包括：发送运动指令给控制模块，控制模块控制平面电机运动；获取动子的位置的测量数据，将运动指令与测量数据比较得到位置误差e，对测量数据差分得到速度v、加速度a、jerk、snap；将位置误差e与加速度a输入到PID控制器，将a、jerk、snap输入到前馈控制器，并判断：若加速度为0，则PID控制器的积分常数Ki不变，若加速度不为0，将积分常数Ki乘以权重系数k，得到新的积分常数Ki，将误差e与新的积分常数Ki代入PID控制器输出控制量；将PID控制器与前馈控制器输出的控制量叠加控制平面电机运动。本发明能在减小稳态误差的同时，保证超调量较小，能够获得比常规PID控制器更好的控制效果。

公开(公告)号：CN112485978A

公开(公告)日：2021-03-12

申请号：CN202011555629.4

申请日：2020-12-24

Applicant: 清华大学

Inventor： 成荣 ,  朱煜 ,  杨开明 ,  张鸣 ,  刘相波

IPC: G03F7/20

Abstract: 本发明提供一种用于光刻设备的真空释气装置，包括：主腔室，用于放置光刻设备的主体，所述主体包括硅片台和传感器；副腔室，用于放置高释气辅助设备，所述高释气辅助设备包括传感器处理器；隔离结构，用于连接主腔室和副腔室，光刻设备的传感器的线缆穿过隔离结构连接到高释气辅助设备；抽真空设备，用于对主腔室和副腔室抽真空。所述真空释气装置降低高释气材料对光刻设备影响。

公开(公告)号：CN109347284B

公开(公告)日：2020-09-22

申请号：CN201811156737.7

申请日：2018-09-30

Applicant: 清华大学

Inventor： 朱煜 ,  张鸣 ,  怀周玉 ,  陈安林 ,  杨开明 ,  成荣 ,  李鑫 ,  王磊杰

IPC: H02K16/04 ,  H02N15/00 ,  B64G1/24

Abstract: 本发明公开了一种电动式磁悬浮双框架动量球装置，用于航天器姿态控制系统执行机构。由电动式磁悬浮驱动电机模块、内调节框架、外调节框架及端部支承锁紧机构组成，电动式磁悬浮驱动电机模块通过轴和支承锁紧机构与内调节框架连接，内调节框架通过轴和支承锁紧机构与外调节框架相连。电动式磁悬浮驱动电机模块由两层并列的定子阵列、球形动子及中心保持架构成。通过对定子线圈施加不同频率、幅值和相位的正弦交流电，形成不同方向的旋转磁场，进而驱动球形动子稳定磁悬浮的同时实现旋转驱动，根据角动量守恒原理，结合支承锁紧机构的锁紧与解锁功能切换，实现航天器姿态三轴稳定可控。

公开(公告)号：CN109639197A

公开(公告)日：2019-04-16

申请号：CN201811574277.X

申请日：2018-12-21

Applicant: 清华大学 ,  北京华卓精科科技股份有限公司

Inventor： 杨开明 ,  朱煜 ,  孙浩博 ,  成荣 ,  张鸣 ,  李鑫 ,  王磊杰 ,  张恒斌 ,  朱振广

IPC: H02P21/00 ,  H02P21/14 ,  H02N15/00

Abstract: 本发明提供了一种基于光刻机磁悬浮平面电机运动系统的线圈电流切换算法，首先建立平面电机动子的六自由度受力与线圈电流之间的耦合方程，然后根据平面电机动子在运动过程中，动子线圈是否会离开磁钢阵列正上方，将动子线圈分为切换组和非切换组，再根据线圈离开磁钢阵列的方式，将切换组又分为突变切换组和渐变切换组；对突变切换组采用S函数作为电流切换权重函数，对渐变切换组采用余弦函数作为电流切换权重函数，以所有线圈电流矢量的二范数最小为目标，对力与电流的耦合方程进行求解得到各线圈电流值。本发明能够尽可能地减小平面电机线圈的发热损耗，同时实现动圈式磁悬浮平面电机动子全运动范围内线圈电流的光滑切换。

公开(公告)号：CN109268500A

公开(公告)日：2019-01-25

申请号：CN201811501951.1

申请日：2018-12-10

Applicant: 清华大学

Inventor： 成荣 ,  朱煜 ,  杨开明 ,  刘相波

IPC: F16J15/08

Abstract: 本发明涉及一种密封技术，特别涉及一种用于平板结构的高真空或超高真空密封圈和密封结构。该密封圈包括密封环，以及从密封环向外延伸的多条金属丝。平板密封结构，包括两个平板，密封圈通过延伸的多条金属丝被固定在一平板上，以将密封环精确定位，无需对平板工件做结构上的改动即可通过外力进行精确定位，从而保证密封圈安装后不会出现错位。

公开(公告)号：CN109104125A

公开(公告)日：2018-12-28

申请号：CN201810707358.6

申请日：2018-07-02

Applicant: 清华大学

Inventor： 朱煜 ,  张鸣 ,  怀周玉 ,  杨开明 ,  成荣 ,  陈安林 ,  胡金春 ,  胡楚雄 ,  徐登峰 ,  穆海华

IPC: H02N15/00 ,  G01M99/00 ,  B64G7/00

Abstract: 一种感应式驱动的气浮动量球系统。包括：气浮动量球模块、传感器测量组件、上位机控制器及驱动模块。气浮动量球模块包括定子阵列、球形动子和气浮组件。球形动子由气浮组件支承悬浮，由定子阵列驱动旋转。传感器测量组件包括力/力矩测量组件和转速测量组件。转速测量组件包括测量框架与鼠标传感器，通过测量框架准确测量传感器空间位置，结合鼠标传感器的线速度测量，解算出球形动子的转速，用于反馈控制。上位机控制器根据解算得到的转速信号，通过驱动器对各定子线圈进行电流分配，从而实现对气浮动量球绕任意轴转动控制。